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failed to cleanとは 意味・読み方・使い方
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When the system is used in clean environment, even if one transfer robot 4 gets out of order, the failed transfer robot 4 can be replaced while the other transfer robot 4 continues to perform transfer processing on the pieces of work W by separating the inside of the transfer chamber 2.例文帳に追加
クリーン環境下で使用する場合、一方の搬送用ロボット４が故障しても、搬送室２内を分離することにより、他方の搬送用ロボット４によるクリーン環境下でのワークＷの搬送処理を継続しつつ、故障した搬送用ロボット４の交換等を行うことができる。 - 特許庁
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