mask misalignmentとは 意味・読み方・使い方

To provide a method for inspecting a gray tone mask for quantitatively inspecting misalignment that can be produced in a manufacturing process of the gray tone mask that uses a light-semitransmissive film in a light-semitransmission portion.例文帳に追加

半透光部に半透光膜を用いたグレートーンマスクの製造段階で生じ得るアライメントずれを定量的に検査できるグレートーンマスクの検査方法を提供する。 - 特許庁

The method includes a first judging step to calculate the misalignment quantity based on the distance between positioning marks of a substrate and of an exposure mask and to judge whether the calculated misalignment quantity is within the allowance or not.例文帳に追加

基板と露光マスクとの双方の位置合わせ用マーク間の距離に基づき位置ずれ量を算出し、算出された位置ずれ量が許容範囲内であるか否かを判定する第１の判定工程を備える。 - 特許庁

To reduce deformation of a resist film forming a superposition measurement mark when processing is carried out so as to accurately measure misalignment of a resist mask.例文帳に追加

重ね合わせ計測マークを構成するレジスト膜の現像処理時の変形を低減させて、レジストマスクの位置ずれの計測を正しく行う。 - 特許庁

In a photomask having a light shielding zone formed around a mask pattern region where a mask pattern is drawn by scanning by each of a specified drawing width, an inspection pattern for inspecting the misalignment of the drawn images in the mask pattern region is formed outside the light shielding zone.例文帳に追加

マスクパターンを所定の描画幅ずつ走査することによって描画したマスクパターン領域の外周に遮光帯を形成したフォトマスクにおいて、遮光帯の外側に、マスクパターン領域の描画ズレを検査するための検査パターンを形成した。 - 特許庁

To prevent misalignment of an exposure position due to the change of a mask position while preventing decrease in the accuracy of gap control in exposure by a proximity XY-step system.例文帳に追加

プロキシミティＸＹステップ方式の露光において、ギャップ制御の精度低下を防止しながら、マスクの位置の変化による焼付け位置のずれを防止する。 - 特許庁

To provide an exposure apparatus in which exposure of a mask pattern can be performed with high accuracy while preventing misalignment on exposing a substrate to be exposed.例文帳に追加

被露光基板に露光を行う際、アライメントにおけるズレの発生を防止してマスクパターンの露光を高精度に行うことができる露光装置を提供すること。 - 特許庁

Even if misalignment of a metal mask occurs when forming the light emitting layer by vapor evaporation, mixing of different colors is unlikely to occur because distances in the horizontal direction are secured.例文帳に追加

発光層を蒸着する際のメタルマスクの合わせずれが生じても、水平方向の距離が確保されているので異なる色同士が混ざりにくい。 - 特許庁

Even though a misalignment of a metal mask occurs at the time of vapor-depositing the light-emitting layer, different colors are hard to be mixed with each other because the horizontal distance is secured.例文帳に追加

発光層を蒸着する際のメタルマスクの合わせずれが生じても、水平方向の距離が確保されているので異なる色同士が混ざりにくい。 - 特許庁