plasma extractとは 意味・読み方・使い方

An ion gun 2 has a plasma source 21 to generate plasma and an extraction electrode 22 to extract ion beams I from the plasma source 21.例文帳に追加

イオン銃２は、プラズマを生成するプラズマ源２１と、プラズマ源２１からイオンビームＩを引き出す引き出し電極２２を有する。 - 特許庁

To extract ions effectively from plasma formed by a plasma generating structure and to direct the ions toward an processed object in a plasma process device having a separated plasma generation chamber from a plasma process chamber.例文帳に追加

本発明は，プラズマ発生室とプラズマ処理室とが分離されたプラズマ処理装置において，プラズマ発生機構で形成されたプラズマから，イオンを効果的に引き出し，該イオンを被処理物に向けることを目的とする。 - 特許庁

The plasma processing apparatus includes: a reaction chamber for generating plasma and applying plasma processing to an object to be processed; an extract section for extracting an emission amount from the plasma; and a control section for variably controlling one of groups of parameters used for controlling the plasma on the basis of the emission amount within a predetermined range of processing conditions to control the state of the plasma.例文帳に追加

プラズマを発生し、被処理物をプラズマ処理する反応チャンバと、前記プラズマからの発光量を抽出する抽出部と、予め定められた処理条件の範囲内で、前記発光量に基づいて前記プラズマ密度をするパラメータ群の一つを可変制御してプラズマ状態を制御する。 - 特許庁

The plasma processing device includes: a processing chamber 1 for processing a processing object 2; a plasma generation chamber 11 for generating plasma by a process gas to extract a radical component; and a transport chamber 21 for transporting the radical component to the processing chamber 1.例文帳に追加

被処理体２を処理するための処理室１と、プロセスガスによりプラズマを生成しラジカル成分を抽出するためのプラズマ生成室１１と、そのラジカル成分を処理室１に輸送する輸送室２１を備える。 - 特許庁

To provide a plasma source that enables to extract a low-energy high-current plasma flow suitable for manufacturing induction fullerenes, and a manufacturing method that allows large-quantity synthesis of induction fullerenes.例文帳に追加

誘導フラーレンの製造に適した低エネルギー大電流のプラズマ流を取り出すことが可能なプラズマ源と、誘導フラーレンの大量合成が可能な製造方法を提供する。 - 特許庁

The resist trimming method includes: a plasma generation step of generating plasma of a reaction gas; a removing step of removing ions and electrons from the generated plasma to selectively extract a radical; and a trimming step of trimming a resist pattern by irradiating the plasma, from which the ions and the electrons have been removed, to the resist pattern.例文帳に追加

反応ガスのプラズマを生成するプラズマ生成工程と、生成したプラズマからイオン及び電子を除去し、ラジカルを選択的に取り出す除去工程と、イオン及び電子が除去されたプラズマをレジストパターンに照射することで、レジストパターンをトリミングするトリミング工程と、を含む。 - 特許庁

A process for diffusing the plasma generated in the plasma generation chamber 202 between the two electrodes 206, 208, and ion extraction process for returning electrons in the diffused plasma toward the direction of the plasma generation chamber 202 and extract ions in the plasma in a direction opposite to the direction thereof, an ion flow forming process to direct the ions to the processed object are performed sequentially.例文帳に追加

該プラズマ発生室内で発生されたプラズマを上記二つの電極間に拡散させる工程と，拡散された該プラズマ中の電子はプラズマ発生室の方向に戻し，該プラズマ中のイオンはその逆の方向に引き出すイオン引き出し工程と，及び該イオンを被処理物に向けるイオン流形成工程とが順次実施される。 - 特許庁