plasma ionsとは 意味・読み方・使い方

Plasma containing ions is generated from an ion source 3, and the positive ions in the plasma are accelerated to pass through the electrode body 10 and injected into the disk 9.例文帳に追加

イオン源３によりイオンを含むプラズマが発生し、プラズマ中の正イオンが加速され、電極体１０を通過してディスク９に注入される。 - 特許庁

To provide a target for a laser plasma ion source capable of accelerating heavy ions to discharge the heavy ions at a further accelerated speed, and to provide a laser plasma ion generating apparatus.例文帳に追加

重イオンを加速して更に高速に放出することができるレーザプラズマイオン源用ターゲットおよびレーザプラズマイオン発生装置を提供する。 - 特許庁

To enhance the etching uniformity over a wafer surface by preventing drifting of plasma ions through utilization of magnetic coil blocks in a magnetron plasma etching apparatus.例文帳に追加

マグネチックコイルブロックを利用してプラズマイオンのドリフティングを防止してウエハー面内均一性を向上する。 - 特許庁

To optimize the plasma processing where radicals and ions act simultaneously.例文帳に追加

ラジカルとイオンとを同時に作用させるプラズマ処理の最適化を可能とすること。 - 特許庁

The substrate undergoes a plasma annealing, during which the substrate is bombarded with ions (process 300).例文帳に追加

基板はプラズマアニールを受け、その間に基板はイオンでボンバードされる（工程３００）。 - 特許庁

The manufacturing method comprises introducing the plasma stream consisting of the occlusion atomic ions and the plasma stream consisting of the fullerene ions into a reaction room from the opposite direction to form the occlusion fullerene.例文帳に追加

内包原子イオンからなるプラズマ流とフラーレンイオンからなるプラズマ流を反対方向から反応室に導入し、内包フラーレンを形成することにした。 - 特許庁

The bias voltage V accelerates ions in the plasma toward the inner surface of the work W.例文帳に追加

バイアス電圧Ｖは、プラズマ中のイオンをワークＷの内面に向けて加速する。 - 特許庁

To provide a plasma generator which is capable of efficiently generating both molecular ions and atomic ions by using a single ion source.例文帳に追加

一つのイオン源を用いて、分子イオンも、原子イオンも効率よく発生させることのできるプラズマ発生装置を提供する。 - 特許庁