plasma interactionとは 意味・読み方・使い方

An interaction between an ultra-high density plasma (10^14/cm^3) generated by laser ablation and a plasma (10^14/cm^3) generated using SiH_4, H_2 gas, etc., using RF, VHF, UHF, etc., is utilized.例文帳に追加

レーザーアブレーションによる超高密度プラズマ（１０^１４／ｃｍ^３）とＲＦ、ＶＨＦ、ＵＨＦ等を用いたＳｉＨ_４、Ｈ_２ガス等を用いて生成されるプラズマ（１０^１４／ｃｍ^３）との相互作用を利用する。 - 特許庁

The high frequency power source 5 applies the high frequency voltage to the attraction electrode 42, the self bias voltage is given to the substrate 9 by the interaction between the plasma and the high frequency, and the ions in the plasma are made incident in the substrate 9.例文帳に追加

高周波電源５が吸着電極４２に高周波電圧を印加し、プラズマと高周波との相互作用により基板９に自己バイアス電圧が与えられ、プラズマ中のイオンが基板９に入射する。 - 特許庁

The plasma medium battery generates electric power between a plurality of electrodes 4 and 5 using difference of the amount of charge generated between a plurality of electrodes 4 and 5 owing to interaction between plasma 2 and the electrodes 4 and 5.例文帳に追加

プラズマ2と複数の電極4,5との相互作用により該複数の電極4,5間に生じる電荷発生量の差を利用して該複数の電極4,5間から電力を取り出すことを特徴とするプラズマ媒質電池である。 - 特許庁

To provide a method for at least partially compensating an undesired effect of the interaction between ions to be implanted and a substrate in a plasma ion implanter.例文帳に追加

プラズマイオン注入装置において、注入されているイオンと基板との間の相互作用の不所望な効果を少なくとも部分的に補償する方法を提供する。 - 特許庁

A source configured to generate EUV radiation includes: a fuel droplet generator configured to deliver a droplet of fuel to an interaction point, optics configured to deliver fuel vaporizing and exciting radiation to the interaction point to generate a plasma; and a collector arranged to collect EUV radiation emitted by the plasma.例文帳に追加

燃料の小滴を相互作用点に送出するように構成された燃料小滴ジェネレータと、プラズマを生成するために燃料蒸発および励起放射を相互作用点に送出するように構成された光学系と、プラズマによって放たれるＥＵＶ放射を集光するように構成されたコレクタとを含むＥＵＶ放射を生成するように構成された放射源。 - 特許庁

A hydroxyl group is introduced into the surface of the resin molding by an oxygen plasma treatment which performs a plasma treatment using oxygen, and water is given to the surface of the resin molding by interaction of the introduced hydroxyl group and water molecules in the air, thereby reforming the surface of the resin moldings.例文帳に追加

樹脂成形品の表面を、酸素を用いてプラズマ処理する酸素プラズマ処理によって前記樹脂成型品表面に水酸基を導入し、導入された水酸基、及び該水酸基と空気中の水分子との相互作用により前記樹脂成形品の表面に付与される水によって、該樹脂成形品の表面を改質することを特徴とする。 - 特許庁

The target material is supplied which makes it possible to supply a reproducible successive flow of mass-limited targets in an interaction chamber 4 in such a way that only the amount of the target material needed for the efficient generation of radiation achieves plasma generation.例文帳に追加

放射線の効率的な生成のために必要なターゲット材料の量のみがプラズマ生成を実現するように、相互作用チャンバ４に質量制限ターゲットの再生可能な連続流を供給することを可能にするターゲット材料を供給する。 - 特許庁

A thin film on a semiconductor substrate is dry-etched by selectively generating desired dissociated species through interaction between an inert gas that is excited to a quasi-stable state in plasma and a fron-family gas, to accurately control the composition of the dissociated species from the reaction gas.例文帳に追加

半導体基板上の薄膜をドライエッチングするに際し、プラズマ中で準安定状態に励起させた不活性ガスと、フロン系ガスとを相互作用させて所望の解離種を選択的に得ることにより、反応ガスの解離種の組成制御を精密に行う。 - 特許庁