process window indexとは 意味・読み方・使い方

This method for monitoring a plasma chamber includes steps of: measuring an optical characteristic of plasma generated in the plasma chamber including a window in a predetermined measurement wavelength band (S10); extracting a process status index from the measured optical characteristic (S30); and thereafter determining a state of the plasma chamber by analyzing the extracted process status index (S50).例文帳に追加

ウィンドウを有するプラズマチャンバ内に生成されるプラズマの光学的特性を所定の測定波長帯域で測定（Ｓ１０）し、前記測定された光学的特性から工程状態指数を抽出（Ｓ３０）した後、前記抽出された工程状態指数を分析（Ｓ５０）して、前記プラズマチャンバの状態を判断するステップを含む。 - 特許庁