radiation trappingとは 意味・読み方・使い方

A debris trapping system for trapping debris particles released with the generation of radiation by a radiation source in a lithography apparatus includes first and second sets of channels.例文帳に追加

リソグラフィ装置において放射ソースにより放射発生時に放たれるデブリ粒子を捕捉するデブリ捕捉システムは、第１組のチャネルと第２組のチャネルとを含む。 - 特許庁

The radiation system is provided with an EUV source for providing EUV radiation and a contamination barrier that includes a plurality of silver film plates for trapping contaminant material coming from the EUV source.例文帳に追加

放射システムは、ＥＵＶ放射を提供するためのＥＵＶ源と、ＥＵＶ源から放出される汚染物質を捕捉するための複数の銀膜プレートを備えた汚染障壁とを備えている。 - 特許庁

To provide a debris reducing system, used for trapping pollutant materials emitted from a radiation source which generates debris, and can make debris reduction effect improved by a rotation foil trap.例文帳に追加

デブリを生成する放射源から出た汚染材料をトラップするための回転フォイルトラップによるデブリ低減効果を向上させることができるデブリ低減システムを提供する。 - 特許庁

To improve a foreign matter-removing ratio by trapping the foreign matters as sure as possible, and to improve heat radiation effect by efficiently feeding air supplied from an axial flow blower into a casing.例文帳に追加

異物を可及的確実に捕捉することによって異物除去率を向上させ、かつ軸流送風機から供給される空気を筺体内に効率よく給送することによって放熱効果を向上させる。 - 特許庁

To provide a debris trapping system that allows for a high pressure of a buffer gas in relation to a source gas to enhance the probability that the debris particles are trapped by the system while simultaneously allowing for high transmission of radiation through the system.例文帳に追加

ソース・ガスに対する高圧のバッファ・ガスによるデブリ粒子捕捉確率の向上及び放射の高伝送を可能にするデブリ捕捉システムを提供すること。 - 特許庁

The collector 10 for cells in a block comprises mesh-like receivers 12 and 14 receiving a block 30 containing cells, a bottomed cylinder part 16 housing the receivers 12 and 14 and having a cell trapping region 24, and an elastic protector part 18 protecting the cell trapping region 24 of the bottomed cylinder part 16 from ultrasonic radiation.例文帳に追加

細胞を含む塊状物３０を収納するメッシュ状収納部１２，１４と、 前記収納部１２，１４を収容し、該収納部１４下部に細胞トラップ領域２４を有する有底筒状部１６と、 前記有底筒状部１６の細胞トラップ領域２４を超音波照射より保護する柔軟性保護部１８と、を備えた塊状物内細胞採取装置１０。 - 特許庁

To manufacture a semiconductor radiation detector that uses a barrier type, or a InSb single crystal of a p-n junction type that is reduced in leakage current, suppressed in trapping for electrons or holes, and having a large amount of charge generation even at a temperature of 10K or higher.例文帳に追加

１０Ｋ以上の温度でも漏洩電流が小さく、電子あるいは正孔のトラッピングが少なく電荷生成量の多い表面障壁型あるいはｐｎ接合型のＩｎＳｂ単結晶を用いた半導体放射線検出器を製作する。 - 特許庁