silicon shieldとは 意味・読み方・使い方

The thermal shield 26 that surrounds the outer peripheral surface of the silicon single crystal 24 to be pulled up from the silicon melt 12 is positioned at its lowermost edge above the silicon melt 12 with a certain interval and the radiant heat from the heater is blocked by this thermal shield 26.例文帳に追加

シリコン融液１２から引上げられるシリコン単結晶棒２４の外周面を包囲する熱遮蔽部材２６の下端がシリコン融液表面から間隔をあけて上方に位置し、この熱遮蔽部材によりヒータ１８からの輻射熱が遮られる。 - 特許庁

To provide a silicon single crystal pulling apparatus capable of efficiently obtaining a constant-quality silicon single crystal ingot by exactly setting the distance between a shield tube and the liquid level of a silicon melt.例文帳に追加

遮蔽筒とシリコン融液の液面との距離を正確に設定することで、品質が一定のシリコン単結晶インゴットを効率的に得ることが可能なシリコン単結晶引上装置を提供する。 - 特許庁

A shield wiring layer 10 is then formed so as to cover the outer side wall of the insulation film 9 and the top of the polycrystalline silicon layer 6b, and the shield wiring layer 10 covering the top of the polycrystalline silicon layer 6b is removed to allow the shield wiring layer 10 to cover the outer side wall of the insulation film 9 to remain there.例文帳に追加

次に、絶縁膜９の外側壁および多結晶シリコン層６ｂ上を覆うようにシールド配線層１０を形成し、多結晶シリコン層６ｂ上を覆うシールド配線層１０を除去することで絶縁膜９の外側壁を覆うシールド配線層１０を残留させる。 - 特許庁

The base substrate is provided with a shield so as to close the opening of the recess of the silicon shielding substrate.例文帳に追加

ベース基板には、シリコン遮蔽基板の凹部の開口部を塞ぐように設けられたシールド部が設けられている。 - 特許庁

A detection tool 33 extending toward a silicon melt 7 is provided on the bottom 31a of a shield tube 31.例文帳に追加

遮蔽筒３１の底部３１ａには、シリコン融液７に向けて延びる検出冶具３３が備えられている。 - 特許庁

Then, at least a part of the shield electrode 25 is constituted of a silicide layer consisting of metal and silicon.例文帳に追加

そして、このシールド電極２５は、少なくとも一部が金属とシリコンからなるシリサイド層で構成されている。 - 特許庁

A thick polyimide resin film 31 is provided on the shield electrode 16 with a silicon oxide film in between.例文帳に追加

シールド電極１６の上に薄膜のシリコン酸化膜３０を介して、厚膜のポリイミド系樹脂膜３１を設ける。 - 特許庁

To provide a silicon ring for use of a plasma etcher such as a shield ring, a support ring or a focus ring with little particle generation.例文帳に追加

パーティクル発生の少ないシールドリング、支持リングまたはフォーカスリングなどのプラズマエッチング装置用シリコンスリングを提供する。 - 特許庁