vibration‐freeの英語

VIBRATION-FREE DEVICE, ITS CONTROL METHOD, EXPOSURE DEVICE HAVING VIBRATION-FREE DEVICE, ITS MAINTENANCE METHOD, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD AND FACTORY例文帳に追加

除振装置及びその制御方法、並びに該除振装置を有する露光装置、及びその保守方法、半導体デバイス製造方法、並びに半導体製造工場 - 特許庁

To surely fix a frame to a vibration-free base without backwardly reclining the frame or without removing rubber feet when installing the frame of the microscope on the vibration-free base.例文帳に追加

顕微鏡のフレームを除振台に設置する際に、フレームを後ろ向きに倒したりゴム足を取り外すことなく、フレームを除振台に確実に固定可能にする。 - 特許庁

To provide an active vibration-free device for precise vibration control by a state feedback control that considers dynamic characteristics of equipment mounted on a vibration-free stage and the effect of disturbance vibration.例文帳に追加

除振台への搭載機器の動特性や外乱振動の影響を考慮した状態フィードバック制御により高精度な制振が可能なアクティブ除振装置を実現する。 - 特許庁

To provide a suitable installation structure of vibration-free equipment capable of having the excellence in fine vibration controlling performance, at the same time, having high flexibility of the installation of the vibration-free equipment and specially applying to a clean room in a one-storied structure.例文帳に追加

微振動制御性能に優れるとともに、嫌振設備の設置の自由度が高く、よって特に平屋構造のクリーンルームに適用して好適な嫌振設備の据付構造を提供する。 - 特許庁

A magnet 51 is mounted on the vibration free end of a vibration member 42 via a fulcrum 41, and excited by a solenoid 52.例文帳に追加

支点４１を介した振動部材４２の振動自由端には、マグネット５１が取り付けられておりソレノイド５２により励振される。 - 特許庁

The damping force generated by the air spring SU acts to hold a position constant to the vibration-free table 13 and to apply the rigidity of the skyhook.例文帳に追加

空気ばねＳＵが発生する制振力は除振台１３に対して位置を一定に保持することとスカイフックの剛性を付与するように作用する。 - 特許庁

Thereafter, the motor 10 to drive the blowing fan is supported with a plate type supporting member 30 via the vibration-free members 24.例文帳に追加

その後、防振部材２４を介して板状支持部材３０で、その送風ファン駆動用モータ１０を支持する。 - 特許庁

Upon inspection, it is not required to move the work piece 10 between the cart 20 and the vibration-free platform 40.例文帳に追加

このため、検査を行う際、ワーク１０を台車２０と除振台４０との間で移載する必要がない。 - 特許庁