| 例文 (260件) |
Fan Filter Unitの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 260件
The pressure adjusting unit 130 comprises a base panel 132 having a plurality of first exhaust holes 132a for discharging clean air supplied from a fan filter unit 116 of the substrate transfer module 104, a movement panel 134 arranged in parallel to the base panel 132 and having a plurality of second exhaust holes 134a, and a drive portion 136 for moving the movement panel 134.例文帳に追加
圧力調節ユニット１３０は基板移送モジュール１０４のファンフィルターユニット１１６から供給された清浄な空気を排出するための複数の第１排気孔１３２ａを有するベースパネル１３２、ベースパネル１３２と平行に配置され複数の第２排気孔１３４ａを有する移動パネル１３４と、移動パネル１３４を移動させるための駆動部１３６を含む。 - 特許庁
The flow rate of the clean air blown out from the position right over the stocker body is set larger than that of the air blown out from the position right over the stacker crane, and the fan filter unit 15 installed on the ceiling surface is arranged in integration tightly in the position right over the stocker body 2, and sparsely in the position right over the stacker crane 3.例文帳に追加
ストッカー本体の直上位置から吹き出す清浄空気流量を、スタッカークレーンの直上位置から吹き出す清浄空気流量よりも大きく設定して、天井面に設けるファンフィルターユニット１５をストッカー本体２の直上位置には密に集約配置し、スタッカークレーン３の直上位置には疎に配置する。 - 特許庁
To provide a maintenance-free fan filter unit capable of adjusting a flow rate without causing the failure of expensive inverter and electric damper which need much labor-hour for maintenance as they are products being comparatively often failed, and the probability of failure is high as a number of products are used.例文帳に追加
クリーンルーム内において層流状態の垂直下降空気流を形成するためにファンフィルタユニットの吹出し風量を調整する方法として、ファンをインバータ制御する構成が知られているが、インバータは比較的故障の多い製品であることから、多数を使用することにより故障の確率が高くなって、メンテナンスに労力を要すると共に、コストも高い。 - 特許庁
A local exhaust unit 10 adaptable to a free access floor 43 composed of a duct 11, an air suction port 12, a rough dust filter 13, and a sirocco fan 14 is installed at an arbitrary position on the freely accessable floor 43 to utilize an under-floor space 44 of the free access floor 43 as an exhaust chamber.例文帳に追加
ダクト１１と、エアー吸込口１２と、粗塵フィルタ１３と、シロッコ型ファン１４とから構成されるフリーアクセスフロア４３に適合可能な局所排気ユニット１０を、フリーアクセスフロア４３の任意の位置に設置し、 フリーアクセスフロア４３の床下空間４４を排気チャンバーとして利用する。 - 特許庁
The local air cleaner comprises a supporting member 31 suspended from the ceiling of a clean room and having suspension wall 30 on the periphery thereof, and a fan filter unit 32 fixed movably to the supporting member 31 through a gap with respect to the ceiling of the clean room.例文帳に追加
本発明は、クリーンルームの天井に吊り下げられ周囲に垂れ壁３０が設けられた支持部材３１と、この支持部材３１に移動可能に且つクリーンルームの天井との間に間隙を設けて取り付けられた送風装置３５及びフィルター３４よりなるファンフィルターユニット３２とを具備することを特徴とするものである。 - 特許庁
Heat storage capsules 7 and aromatic capsules 8 are put in a container 1, and an air blowing unit 2 having a fan 9, a filter 4, and air blowing guide vanes 5 specifying an air blowing directional angle is detachably fitted to the container 1 to disconnectedly form the main flow of air in the air-conditioned and air-cleaned local space 10.例文帳に追加
容器１に蓄熱カプセル７及び芳香カプセル８を入れ、ファン９とフィルタ４と吹出し風向角度を規定する送風誘導翼５を具備した送風ユニット２を容器１に対して着脱可能に取り付け、空調・空気清浄したい対象である局所空間１０に主たる風の流れを短絡的に形成する。 - 特許庁
An outlet 25 with an air back flow preventing means 37 is mounted downward on a conveying robot 10 in a casing 2a with a fan filter unit 3 of this thin plate-shaped electronic component conveying device 2, and a floor 13 for circulating the air is mounted on a casing bottom frame 2b to limit its opening.例文帳に追加
薄板状電子部品搬送装置２のファンフィルタユニット３付き筐体２ａ内の搬送ロボット１０に、空気逆流防止手段３７付き排気口２５を下向きに設け、筐体底部フレーム２ｂ上に空気の流通する床１３を設けてその開口度を制限すると、ロボット移動用Ｘ軸機構を設けても、クラス１に保てることが分かった。 - 特許庁
An air cooling route in an intermediate transfer belt is set to only one by: substantially eliminating a gap between front and rear frames constituting an intermediate transfer belt unit and an end part of the cylindrical intermediate transfer belt; providing the front and rear frames with an inlet having an air filter and an outlet; and connecting the outlet to airflow including a cooling fan of a fixing device.例文帳に追加
中間転写ベルトユニットを構成する前後のフレームと、円筒状の中間転写ベルト端部との間の隙間を実質的に無くし、前後のフレームにエアフィルタを備える吸気口と、排気口とを設け、排気口を定着装置の冷却ファンを含むエアフローと接続することで中間転写ベルト内の空気冷却経路を一つだけとする。 - 特許庁
Conditioned-air adjusted to predetermined temperature and humidity and sent into a ceiling plenum chamber 17 is sucked into a chamber 7 covering the entire of a clean region fan filter unit 6 from ceiling suction inlets 8a, 8b, and internal air in an ordinary region 2 is sucked from ordinary region suction inlets 10a, 10b.例文帳に追加
清浄領域ファンフィルターユニット６の全体を覆うチャンバー７に、天井プレナムチャンバー１７に送り込まれた所定の温度および湿度に調整された調整空気が天井吸気口８ａ，８ｂから吸引され、通常領域２の内部空気が通常領域吸気口１０ａ，１０ｂから吸引されるように構成にした。 - 特許庁
The air stream of a clean air 34 blown out from an upper fan filter unit 30 is supplied onto a square substrate 40, in a manner that its sectional shape is a circle 41 whose diameter is nearly equivalent to a short side of the square substrate to be applied by a coating liquid, and its center is positioned at the center of the square substrate to be placed on the rotary coating equipment.例文帳に追加
上方のファンフィルタユニット３０から吹き出された清浄な空気３４の気流を、その断面形状が塗布液を塗布する矩形基板の短辺の長さを略直径とする円形４１であって、その中心が回転塗布装置に載置した矩形基板の中心に位置する気流として矩形基板４０上に供給すること。 - 特許庁
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