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Shaping Apertureの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 23件
The passed electron beam 2 through the shaping aperture 4 forms an image of the shaping aperture 4 on a reticle 5 by operation of a second irradiation lens 32 and a third irradiation lens 33.例文帳に追加
成形開口4を出た電子線2は第2照射レンズ32、第3照射レンズ33によってレチクル5上に成形開口像を結像する。 - 特許庁
The electron beam passed through the shaping aperture 4 focuses the image of the shaping aperture 4 on a reticle 6 through a third illumination lens and a fourth illumination lens.例文帳に追加
成形開口4を通過した電子線は第3照明レンズ、第4照明レンズによりレチクル6上に成形開口4の像を結像する。 - 特許庁
The electron beam 6 passing through the trimming aperture 2 is converged by a second lens 5 so as to be nearly perpendicular to a shaping aperture 3.例文帳に追加
トリムアパーチャ2を透過したビームは、第2のレンズ5によりシェーピングアパーチャ3にほぼ垂直になるよう集光される。 - 特許庁
A shaping aperture 4 is irradiated with an emitted electron beam 2 from an electron source 1 by operation of a first irradiation lens 31.例文帳に追加
電子源1を出た電子線2は、第1照射レンズ31によって成形開口4を照明する。 - 特許庁
Furthermore, a shielding aperture 15 formed of thick-walled conductor is provided at a position which is located below the shaping aperture 9 and at which a shaped charged particle beam flux forms a crossover.例文帳に追加
さらに、シェーピングアパーチャ9より下流側の、成形された荷電粒子線束がクロスオーバーを形成する位置に、厚肉導体からなる遮蔽アパーチャ15を有する。 - 特許庁
Charged particles scattered downward from the shaping aperture 9 are blocked by the shielding aperture 15, so that the scattered charged particles are prevented from reaching to the wafer 27.例文帳に追加
シェーピングアパーチャ9から下方に向かって散乱された荷電粒子は、遮蔽アパーチャ15で遮蔽され、散乱された荷電粒子がウエハ27に達することを防ぐ。 - 特許庁
Accordingly, an image on a cathode surface on a shaping aperture is enlarged, thereby improving the illumination uniformity.例文帳に追加
従って、シェーピングアパーチャ上におけるカソード面の像を拡大することでき、それに予より、照明一様性が向上する。 - 特許庁
The bending roller (13) mounted to a radially movable slider (11) is movable from a position defining a maximum working aperture for the shaping tool into a position defining a minimum working aperture for the shaping tool, by means of a spring-load lever (9) having an axial configuration.例文帳に追加
曲げローラ(13)は、半径方向に動くことができるスライダ(11)に取り付けられ、曲げローラ(13)は、軸方向形態を備えたばね押しレバー(9)によって、付形ツールのための最大作業アパーチャを定める位置から付形ツールのための最小作業アパーチャを定める位置に動くことができる。 - 特許庁
The shaping aperture 4 is composed of a BAA and only an electron beam passed through the unit aperture of the BAA illuminates a specified sub-field of view on the reticle 6 through deflectors 51 and 52.例文帳に追加
成型開口4はBAAから構成されており、開となっているBAAの単位開口を通過した電子線のみが、偏向器51、52によりレチクル6上の所定の副視野を照明する。 - 特許庁
An aperture 51, shaping the outer shape of the laser beam LB by making the beam pass through a prescribed opening 51a, is installed in the laser light source 20.例文帳に追加
レーザ光源20には、レーザ光LBの外形形状を所定の開口部51aを通過させることによって整形するアパーチャ51を設ける。 - 特許庁
An electron beam 2 emitted from an electron beam source 1 illuminates a shaping aperture 4 uniformly through a first illumination lens 31 and a second illumination lens 32.例文帳に追加
電子線源1から放出された電子線2は、第1照明レンズ31、第2照明レンズ32によって成形開口4を一様に照明する。 - 特許庁
The bending roller (13) mounted on a radially movable slider (11) is movable from a position defining a maximum working aperture for the shaping tool into a position defining a minimum working aperture for the shaping tool, by means of a spring-loaded lever (9) having an axial configuration.例文帳に追加
曲げローラ(13)は、半径方向に動くことができるスライダ(11)に取り付けられており、曲げローラ(13)は、軸方向形態を備えたばね押しレバー(9)によって、付形ツールのための最大作業アパーチャを定める位置から付形ツールのための最小作業アパーチャを定める位置に動くことができる。 - 特許庁
A shaping aperture 9 provided to a charged particle beam is formed of a conductor thin film which transmits a charged particle beam effectively scattered without absorbing most of it.例文帳に追加
本発明の荷電粒子線光学系のシェーピングアパーチャ9は、荷電粒子線がほとんど吸収されることなく散乱されて通過する導体薄膜からなる。 - 特許庁
The optical element for shaping a beam spot gives a prescribed deflection angle difference between the first deflection angle of first luminous flux emitted from the central part of an effective aperture and the second deflection angle of second luminous flux emitted from the outer peripheral part of the effective aperture.例文帳に追加
有効開口の中心部から出射する第1の光束の第1の偏角と有効開口の外縁部から出射する第2の光束の第2の偏角とに所定の偏角差を与えるビームスポット整形用光学素子である。 - 特許庁
At this time, the nonuniform temperature distribution of the emitter, and effect in which the crossover position 7 deviates from the position of the aperture 3, operate so that the current distribution of a shaping aperture 5 projects, and the strong geometrical aberration of the lens 4 operates so that the illumination distribution is recessed.例文帳に追加
この時、エミッタ上の非一様な温度分布と、クロスオーバ位置7とトリムアパーチャ3の位置がずれている効果はシャーピングアパーチャ5の電流分布を凸にするように働き、レンズ4の強い幾何収差は照明分布を凹にするように働く。 - 特許庁
The electron beam EB is projected through an electron optical system 12 comprising a converging electron lens, various deflectors and a shaping aperture (not shown), and through a mask 13 to a substrate 17 supported on an exposure stage 16.例文帳に追加
電子ビームEBは、収束用の電子レンズや各種の偏向器や成形アパーチャ等(図示せず)を介する電子光学系12、さらにマスク13を介して露光ステージ16に支持された基材17に照射される。 - 特許庁
This charged particle beam drawing device 1 includes: an electron gun 2 for emitting an electron beam; and an aligner 14, a blanking electrode 6, a deflector 7 and a first shaping aperture 11 which are sequentially arranged in the downstream direction of the beam axis of the electron beam 15.例文帳に追加
電子ビーム描画装置1は、電子ビームを照射する電子銃2と、電子ビーム15のビーム軸の下流方向に順次配置されたアライナ14と、ブランキング電極6と、偏向器7と、第1成形アパーチャ11とを有する。 - 特許庁
The optical scanner 23 includes the light source 61 for emitting the beam LB, an aperture 63 with an opening 63a for shaping the beam LB emitted from the light source 61, a reduction optical part 64 for reducing the beam LB shaped by the aperture 63, and a collimator 62 arranged between the light source 61 and the reduction optical part 64 for collimating the beam LB.例文帳に追加
光走査装置23は、ビームLBを出射する光源61と、光源61から出射されたビームLBを整形する開口部63aが設けられたアパーチャ63と、アパーチャ63で成形されたビームLBを縮小する縮小光学部64と、光源61から縮小光学部64までの間に配置され、ビームLBを平行化するコリメータ62とを備える。 - 特許庁
To provide a shielded connector provided with a shield shell manufacturable by a method of shaping, by bending a material obtained by punching a metal plate of an expanded shape, a shield shell of a shape having a step between a housing storage part and a tube connection part by the difference of aperture size.例文帳に追加
口径の大きさ違いによりハウジング収容部とチューブ接続部との間に段差を有した形状のシールドシェルを、金属板を打ち抜いた展開形状のものに曲げ加工を施すことにより成形する方法で製作することが可能なシールドシェルを備えたシールドコネクタを提供すること。 - 特許庁
In the electron beam lithography apparatus 1, electron beam drawing is performed by irradiating a specimen with the electron beam 6 shaped by the shaping aperture, abnormalities of the electron beam 6 are detected based on a change in the amount of a current detected by the detector, and electron beam drawing of the specimen is stopped by determining occurrence of abnormalities.例文帳に追加
電子ビーム描画装置1では、成形アパーチャで成形された電子ビーム6を照射して試料上に電子ビーム描画をするとともに、検出器で検出される電流量の変化に基づいて、電子ビーム6の異常を感知し、異常発生を判断して試料への電子ビーム描画を停止するようにする。 - 特許庁
In addition, the coating machine is provided with a speed distribution-adjusting means (13) which adjusts the distribution of shaping air jetting speeds, in accordance with a coating pattern to be formed, by changing the aperture shape of the outer lip (11) to partially change the aperture width of the circular slit (7).例文帳に追加
回転霧化頭(5)が取り付けられた塗装機本体(2)の先端側に、回転霧化頭(5)の背面側からシェーピングエアを吹き出す環状スリット(7)が形成されて成り、その環状スリット(7)が環状のインナーリップ(10)及びアウターリップ(11)で形成され、アウターリップ(11)の開口形状を変化させて環状スリット(7)の開口幅を部分的に変化させることにより、形成しようとする塗装パターンの形状に応じてシェーピングエアの吹出速度の分布を調整する速度分布調整手段(13)を備えた。 - 特許庁
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