異常回折の英語

繰り返し露光で生じる回折光の異常ピークの発生を抑制し、急峻で異常ピークの少ない分光が可能な回折格子を実現し、この回折格子を用いることで高精度な分光分析装置を提供する。例文帳に追加

To provide a diffraction grating reducing the occurrence of abnormal peaks of diffraction light occurring by repeated exposure to allow sharp spectroscopy with few abnormal peaks, and to provide a highly precise spectral analysis device by using the diffraction grating. - 特許庁

Ｘ線のサイズを、本発明で指定した範囲内に設定することにより、各種の、通常のＸ線回折用、及び、Ｘ線異常散乱回折用等の、Ｘ線回折装置の測定精度を高めること。例文帳に追加

To enhance measurement precision for various X-ray diffractometers for usual X-ray diffraction, X-ray abnormal scattering diffraction and the like, by setting an X-ray size within a range assigned by the present invention. - 特許庁

スリットサイズを、本発明で指定した範囲内に設定することにより、原子動径分布関数測定用、及び、異常散乱Ｘ線回折用の、Ｘ線回折装置の測定精度を高めること。例文帳に追加

To enhance measurement accuracy of an X-ray diffractometer for measuring an atomic radial distribution function and anomalous diffraction scattering X-rays, by setting the size of a slit within the range specified by this invention. - 特許庁

偏光回折格子アレイは、常光屈折率がｎoであり異常光屈折率がｎeである複屈折を有する光学媒質１２と、屈折率がｎoあるいはｎeである等方性媒質１３とが周期的に交互に配列され、常光偏光及び異常光偏光のいずれか一方のみを回折させる複数の偏光回折格子１１を備える。例文帳に追加

A polarization diffraction grating array includes a plurality of polarization diffraction gratings 11 in each of which an optical medium 12 having birefringence of an ordinary ray refractive index no and an extraordinary ray refractive index ne and an isotropic medium 13 having the refractive index no or ne are periodically and alternately arrayed and diffracts only one of ordinary ray polarized light and extraordinary ray polarized light. - 特許庁

これにより、レジスト膜の上には、脱気部４０により脱気された液体２５が配されるため、液体２５に含まれる泡や、露光時に生じる泡を除去することができるので、回折異常等の露光異常を防止することができ、その結果、良好な形状を有するレジストパターンを得ることができる。例文帳に追加

Since the liquid 25, degassed at the degassing section 40, is arranged and bubbles contained in the liquid 25 or produced during exposure can be removed, abnormal exposures such as abnormal diffraction can be prevented, resulting in a resist pattern having a proper profile. - 特許庁

対物光学素子ＯＢＪ１に異常光偏光が入射すると複屈折媒質層と均質屈折率透明材料の屈折率が異なるので、異常光偏光は鋸歯状の凹凸部で回折され、それに応じて透過波面が変化し発散角もしくは収束角が変化する。例文帳に追加

Since the refractive indexes of the double refraction medium layer and of the homogeneous refractive index transparent material are different when the abnormal ray polarization is incident to the objective optical element OBJ1, the abnormal ray polarization is diffracted at a saw-tooth uneven section, and the transmission wave surface is changed in accordance with this diffraction, then a divergent angle or convergent angle is changed. - 特許庁

異常部分分散特性を有する屈折光学部の厚さを適切に規定し、回折光学部によるフレアの発生も極力低減しながら、色収差の補正が十分になされ良好な光学性能が得られる光学素子及びそれを有する光学系を得ること。例文帳に追加

To provide an optical element wherein thickness of a refraction optical unit having extraordinary partial dispersion properties is properly regulated and chromatic aberration is sufficiently corrected while minimizing occurrence of flare by a diffraction optical unit to obtain good optical performance, and to provide an optical system having the same. - 特許庁