クロス汚染の英語

キャパシタ電極などに用いられるＲｕ膜を形成する際に生じるＲｕ汚染を除いて他のウェハへのクロスコンタミネーションを効果的に抑制することができる。例文帳に追加

By removing Ru contamination, that is generated when forming the Ru film used for a capacitor electrode or the like, cross contamination to other wafers can be restrained effectively. - 特許庁

他の設備へのクロスコンタミネーションを抑制しつつ、半導体基板のエッジ部及びベベル部に付着した汚染及び異物等を効果的に除去し、それによって製品歩留りの向上を実現する。例文帳に追加

To effectively remove smears and foreign materials or the like stuck to edge portions and bevel portions of a semiconductor substrate, while suppressing cross contaminations to other equipment, thereby to achieve an improvement in a product yield. - 特許庁

試料容器の蓋を開閉するときの蓋やその近傍に付着した試料容器内の試料が装置内へ飛散することを防止し、他の試料へのクロス・コンタミネーションや装置内の汚染を低減する。例文帳に追加

To prevent fly of a sample inside a sample vessel that adheres to a lid of the sample vessel or its proximity when the lid is opened and closed, and to reduce the cross contamination to another sample and contamination inside the device. - 特許庁

装置の省スペースを実現しつつ、基板の端面の汚染に起因した問題（欠陥の発生、トラックや露光装置へのクロスコンタミネーション等）を回避できる基板処理装置を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a substrate processing equipment which can realize space-saving of the equipment and can avoid problems caused by the contamination of end surfaces of a substrate (including occurrence of failure, cross contamination to track, exposure devices or the like). - 特許庁

今後ウェハに多用されるＲｕ膜によりウェハに生じるＲｕ汚染を除いて他のウェハへのクロスコンタミネーションを抑制するウェハ洗浄方法及びウェハ洗浄装置を提供する。例文帳に追加

To provide a wafer-cleaning method and a wafer-cleaning device for inhibiting cross contamination to other wafers, excluding Ru contamination that is generated in a water, due to an Ru film that is to be used in many ways for the wafer hereafter. - 特許庁

塩酸ガス等の有毒ガス発生による環境の汚染がなく、オレフィン系樹脂シートとガラスクロスとの接着性に極めて優れ、かつ、耐水性、耐候性、難燃性及び強靱性を有するオレフィン系樹脂シート−ガラスクロス積層体を提供する。例文帳に追加

To provide an olefin-based resin sheet-glass cloth laminate which does not pollute the environment due to generation of a toxic gas such as hydrogen chloride or the like, shows excellent adhesion between an olefin-based resin sheet and a glass cloth, and has water resistance, weather resistance, flame retardancy and toughness. - 特許庁

高感度分析用試薬の温調が可能で、試薬のクロスコンタミネーションがなく、外気中の雑菌やその他の汚染物質の影響を受けることなく、迅速かつ高精度に分注可能な液体容器およびそれを用いた自動分注装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a liquid container, capable of controlling the temperature of a reagent for analysis of high sensitivity, which does not cause cross contamination of the reagent and enabling rapid dispensation with high precision, without being affected by various bacteria in the open air or another contaminant, and to provide an automatic dispenser which uses the container. - 特許庁

サンプル間のクロスコンタミネーションやサンプルの汚染、使用者へのバイオハザード、高価なフローセルとオリフィス部品、フローセルとオリフィスの微調整作業を排除して、高速な解析、安全で高速で安価な分取を行うことができる微小粒子分取装置の提供。例文帳に追加

To provide a sorting device capable of high-speed analysis and sorting with safety, high speed, and low cost, by precluding cross-contamination between samples, contamination of samples, biohazard to the users, an expensive flow cell and an expensive orifice part, and fine adjustment work for the flow cell and the orifice. - 特許庁