二次電子収率の英語

本発明に係る基板検査方法では、電子ビームを照射することにより検査対象領域Ｓ内の所定材料から出射される二次電子の収率が１より大きくなる第１の加速電圧と、二次電子の収率が１より小さくなる第２の加速電圧とを用いる。例文帳に追加

This substrate inspection method uses a first acceleration voltage in which the yield of secondary electrons emitted from the specified material inside an inspection object region S by irradiating electron beams is larger than 1, and a second acceleration voltage in which the yield of the secondary electrons is smaller than 1. - 特許庁

収集電極電源８は、電子線走査領域２２内において電子線の走査位置に応じて収集電極１０に印加する収集電極電圧を変化させ、これによって、走査領域内における二次電子の収集効率を均一化する。例文帳に追加

The collecting electrode power supply 8 changes the collecting electrode voltage to be applied to the collecting electrode 10 according to the scanning position of the electron beam within an electron beam scanning region 22 and thereby makes uniform the collection efficiency of secondary electrons within the scanning region. - 特許庁

イオン注入中において、チャージアップ防止用電子銃１２が生成した二次電子はファラデーカップ１０に形成された絶縁膜ＺＭにより吸収されにくくなり、生成された二次電子が半導体ウエハＷに効率よく供給され、チャージアップを防止する。例文帳に追加

During ion implantation, secondary electrons generated from an electron gun 12 for preventing charge-up are efficiently supplied to a semiconductor wafer W and prevent charge-up, because the electrons are hardly absorbed into the insulating film ZM formed on the internal wall surface of the cup 10. - 特許庁

一次電子ビームの照射領域を確保しつつ、二次電子ビームの倍率色収差を抑制することができる基板検査装置およびこれを備えた検査システム並びに基板検査装置の制御方法を提供する。例文帳に追加

To provide a board inspection apparatus by which the magnification chromatic aberration of a secondary electron beam can be suppressed, while the irradiation region of a primary electron beam is being ensured, to provide an inspection system provided with the board inspection apparatus, and to provide a control method for the board inspection apparatus. - 特許庁

充電可能な二次電池を電源とし、少なくとも操作部と表示部と内部回路部を備えた携帯電子機器において、前記二次電池を収納する機器本体を内部の熱を外部に放射させる第一高放射率層で構成する。例文帳に追加

In the portable electronic equipment provided at least with an operation part, a display part and an internal circuit part, having an electrifiable secondary battery as a power source, the equipment body housing the secondary battery is structured of a first high-emissivity layer making internal heat emitted outside. - 特許庁

一方、イオン注入時に半導体ウエハＷから飛び出した二次電子は、ファラデーカップ１０の絶縁膜ＺＭにおける導体領域が効率よく吸収する。例文帳に追加

The secondary electrons flying out of the wafer W during ion implantation are efficiently absorbed into the conductor areas of the insulating film ZM. - 特許庁

さらに、接地電位キャップ部材とシンチレーション検出器との間に空隙を設け、これによって上記二次電子収集高効率を維持するとともにシステムの信頼性を改善することを可能にする。例文帳に追加

Further, a gap is provided between the grounding potential cap member and the scintillation detector, thereby the above high efficiency of secondary electron collection is maintained and improvement in reliability of the system is realized. - 特許庁

一次電子線の収差を増やさずに二次信号を効率よく検出することにより高分解能でかつ高コントラストな観察像を取得し、観察像により欠陥を検出することにより検査速度を高速・高感度にする荷電粒子ビーム装置を得る。例文帳に追加

To obtain a charged particle beam device which conducts an inspection at high speed with high sensitivity by acquiring an observation image of high resolution and high contrast through efficiently detecting a secondary signal without increasing aberration of a primary electron beam, and by detecting defects from the observation image. - 特許庁