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等時アニールの英語

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英訳・英語 isochronal annealing


JST科学技術用語日英対訳辞書での「等時アニール」の英訳

等時アニール


「等時アニール」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 14



例文

次に、第2の熱処理として、ポリシリコン層中の各グレイン内への不純物の拡散が生じるような高温短間の熱処理、スパイクアニール,フラッシュアニールを行なう。例文帳に追加

In the second heat treatment, a high-temperature short-time heat treatment is performed such as spike annealing or flash annealing, so that the impurity is diffused into each of the crystal grains in the polysilicon layer. - 特許庁

液晶表示装置に使用するガラスの透明板にポリシリコン又はアモルファスシリコンの薄膜を形成させた液晶基板、又は半導体製造に使用するシリコンのウェハ(以下、「基板」という)を密閉可能な容器内に収納し、高温ガスによりアニール処理するアニール装置において、後段のウェット処理による問題を回避しながら、アニール処理に、基板の表面に付着するパーティクル量を容易に減少させることにより、高性能の液晶・半導体素子を製造できるアニール方法を提供する。例文帳に追加

To provide an annealing method which allows the manufacture of a high-performance liquid crystal or semiconductor element by easily reducing an amount of particles attaching to the surface of a substrate at the time of annealing while preventing problems due to a wet process. - 特許庁

前者はMOS集積回路の場合は全ての熱処理工程の最初にP型基板を150℃16間以上、160℃8間以上の条件でアニールしておく。例文帳に追加

In the former, the P-type substrate is annealed under conditions of 150°C for ≥16 hours, 160°C for ≥8 hours, etc., firstly among all heat-treatment processes for an MOS integrated circuit. - 特許庁

降温には窒素の熱伝導率が高い第二のアニールガスを供給し、シリコンウェハを迅速に降温して不純物の無用な拡散を防止する。例文帳に追加

At the time of a cooling down the wafer, second annealing gas of high heat conductivity, such as nitrogen gas, is fed to the wafer and the wafer is rapidly cooled down to prevent useless diffusion of impurities in the wafer. - 特許庁

昇温にはシリコンウェハと反応しないアルゴンに微量な酸素を添加した第一のアニールガスを供給し、昇温されるシリコンウェハに窒化などの無用な反応を発生させない。例文帳に追加

At the time of increasing the temperature of a silicon wafer, first annealing gas produced by adding a trace of oxygen to argon or the like, which does not react to the silicon wafer, is fed to the wafer and a useless reaction such as a nitriding is not generated in the wafer which is heated. - 特許庁

酸素イオン注入の前後いずれかで、所定ドーズ量の水素イオンを注入することにより、低温短間でアニール処理したとしても、SOI表面のラフネスを同以上に改善できるSIMOXウェーハの製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a SIMOX wafer by which roughness of the SOI surface or the like stays equal or is improved even when annealing treatment is performed at low temperature in a short time, by implanting predetermined doses of hydrogen ions either before or after oxygen ion implantation. - 特許庁

例文

基板温度を400℃以上800℃以下にしてイオン注入を行うことで、イオン注入の炭化珪素層の結晶性悪化が抑制され、不純物の炭化珪素層内での凝集の問題なく、活性化アニールでのベースコンタクト部15のエッチングが抑制される。例文帳に追加

When ions are implanted while holding the substrate temperature between 400-800°C, crystallinity aggravation of a silicon carbide layer is suppressed when ions are implanted, problems of aggregation of impurities, and the like, are eliminated in a silicon carbide layer and etching of the base contact portion 15 is suppressed in activated annealing, or the like. - 特許庁

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「等時アニール」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 14



例文

機械的強度及び誘電率ともに製作目標を達成しつつ、エッチングやアニールにおける直交二方向の寸法変化率を略均に減少させて、所定性能を安定よく確保することができる回路基板を提供する。例文帳に追加

To provide a circuit board in which a specified performance can be ensured stably by reducing the dimensional variation rate substantially uniformly in two orthogonal directions at the time of etching or annealing while achieving a production target as well as the mechanical strength and permittivity. - 特許庁

成形間が短く、即ち生産性が良好で、熱処理(アニール処理)を行うことなしに既存の熱可塑性樹脂と同以上の耐熱性、機械的特性を有する樹脂組成物成型品を製造することができる方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a resin composition molding which can be molded in a short time, namely, with favorable productivity, and has heat resistance and mechanical characteristics equivalent or superior to those of a conventional thermoplastic resin without being subjected to heat treatment (annealing). - 特許庁

電子線照射の後に行う水素アニールに水素が十分にデバイスを構成する半導体のダメージ部分まで到達し、ダメージ回復が行えるようにすると共に、表面電極の劣化を抑制することができるようにする。例文帳に追加

To provide techniques in which hydrogen can sufficiently penetrate to a damaged portion of a semiconductor constituting a device during hydrogen annealing, after electron beam irradiation or the like to lead to damage recovery, and to suppress deterioration of a surface electrode. - 特許庁

アニール処理における温度及びの条件を変化させることにより、初期工程での流路形成基板用ウエハ110の変形を調整し、圧電素子を形成する工程での流路形成基板用ウエハ110の変形を所望の範囲に誘導(抑制)する。例文帳に追加

Deformation of a wafer 110 for a channel formation substrate is regulated in the initial process by changing the conditions in annealing such as the temperature, time period, or the like, thus guiding or minimizing deformation of the wafer 110 for a channel formation substrate to a desired range in a process for forming a piezoelectric element. - 特許庁

半導体基板側から熱酸化膜、CVD酸化膜の2層を積層したゲート絶縁膜を有する半導体装置において、アニール処理にCVD酸化膜の内部応力が圧縮応力に変化することによる半導体基板の歪みを低減する。例文帳に追加

To reduce a distortion of a semiconductor substrate due to the change in the internal stress of a CVD oxide film into a compressive stress, during an annealing process in a semiconductor device that has a gate insulating film, made by laminating a thermally oxidated film and the CVD oxide film from the semiconductor substrate side. - 特許庁

本Bi_2Sr_2Ca_2Cu_3O_X系超伝導薄膜は、Bi−2212を0〜約11mol%の範囲で結晶格子毎に混合したものとすることで、経変化が生じるアニール処理を行うことなくキャリア濃度を適切なものとし、臨界電流密度J_cを大きくし、表面抵抗R_sを低くすることができる。例文帳に追加

In the superconductive thin film of Bi2Sr2Ca2Cu3Ox, the carrier concentration is made suitable without annealing treatment which causes the change with the lapse of time, the critical current density Jc is increased and the surface resistance Rs is lowered by mixing Bi-2212 in an concentration of 0 to about 11 mol.% every crystal lattice. - 特許庁

例文

圧力容器12と反応容器20とヒーター手段32とを有している高圧アニール装置10において、ヒーター手段32の不作動により反応容器20内部の温度が降下し、反応容器20内部圧力が減圧状態になったときに、反応容器20内部の圧力変動に応答する圧力センサー54を用意し、空域30内部の圧力変動に応答する圧力センサー56を用意し、これらの圧力センサーをヒーター手段不作動に直ちに起動する無停電電源58に接続し、両圧力センサー54、56を同期させながら反応容器20の外側の圧力を下げることにより反応容器内外の圧力をしい値に保持し破損を防止する。例文帳に追加

These pressure sensors are connected to a power non-failure power supply 58 immediately started when the heater means 32 is not operated and the outside pressure of the reaction container 20 is lowered while synchronizing both pressure sensors 54 and 56 to hold the internal and external pressures of the reaction container 20 to an equal value to prevent the damage of the reaction container 20. - 特許庁

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