酸素不純物の英語

そして上記不純物濃度を達成するために本発明は、酸素を燃焼して排気する可燃性ガスを用いてチャンバー内の不純物である酸素を低減させることを特徴とする。例文帳に追加

In order to attain the impurity concentration, combustible gas is used and oxygen, which is an impurity in a chamber is burned and exhausted, and reduced. - 特許庁

不純物を含む希ガスを、第２のゲッタ材よりも不純物に対する反応性が低く空隙率が高い第１のゲッタ材と接触させて該希ガスから酸素を除去した後、第１のゲッタ材よりも不純物に対する反応性が高く空隙率が低い第２のゲッタ材と接触させて該希ガスから酸素以外の不純物を除去する。例文帳に追加

The rare gas containing impurities is brought into contact with a first getter material having lower reactivity with the impurities and higher porosity than a second getter material to remove oxygen from the rare gas, and then is brought into the second getter material having higher reactivity with the impurities and lower porosity than the first getter material to remove impurities other than oxygen from the rare gas. - 特許庁

不純物元素による汚染を生ずることなく、極低酸素金属チタンおよび極低酸素チタン合金を安価に製造することができる。例文帳に追加

To produce an extra-low oxygen metallic titanium and an extra-low oxygen titanium alloy without generating the contamination due to impurity elements. - 特許庁

さらに、少なくともＮ^-ドリフト層１の不純物濃度が極大となる箇所には、酸素原子と酸素よりも軽い元素が含まれている。例文帳に追加

Further, oxygen atom and elements lighter than oxygen are contained at least a location where the impurity concentration of the N^- drift layer 1 is maximum. - 特許庁

また、同時に有機発光素子を形成する有機化合物中に含まれる水分や酸素など、酸素を含む不純物も同時に低減させる。例文帳に追加

At the same time, impurities containing oxygen such as moisture or and oxygen contained in an organic compound composing the organic light-emitting element are reduced. - 特許庁

酸素生成器２Ａにより生成される酸素は高濃度であり、不純物を含まないので燃料電池の劣化という問題も生じない。例文帳に追加

Since the oxygen formed by the oxygen generator 2A has the high concentration and contains no impurities, no problem of deterioration of the fuel cell does not occur. - 特許庁

金属プラグ上に配線をパターニングする工程において、フォトレジストを除去する時に、酸素プラズマ中に不純物を添加し、かつ酸素と不純物との比率を約１：１または酸素含有量が不純物含有量よりも小さくしてから、酸素プラズマによりフォトレジストを除去し、アルカリ性溶液で基板に対する湿式洗浄を行う。例文帳に追加

In a process of patterning a wiring 210 on a metal plug 206, when a photoresist 218 is removed, impurity is added to oxygen plasma 220 with a ratio of oxygen to impurity at about 1:1 or with the amount of oxygen decreased with respect to that of impurity, and then the photoresist 218 is removed by an oxygen plasma and then a substrate 200 is wet-cleaned with an alkaline solution. - 特許庁

薄膜トランジスタのソース領域及びドレイン領域とチャネル形成領域との間に不純物濃度の低い高抵抗不純物領域を設け、かつ高抵抗不純物領域に窒素、酸素又は炭素の少なくとも１つの元素添加することにより、抵抗を高くする。例文帳に追加

A high-resistance impurity area with low concentration of impurity is formed between the source and drain areas and a channel forming area of a thin-film transistor, and a high-resistance impurity area is added with at least one of nitrogen, oxygen and carbon to increase resistance. - 特許庁