MICRO BEAM IRRADIATIONとは 意味・読み方・使い方

The irradiation parts 40 are each provided with a DMD having a group of micro-mirrors for modulating a reflected light beam and a micro moving mechanism for moving the DMD relatively to the exposure unit 4 in an X direction, whereby a position of irradiation from the irradiation part 40 is microscopically moved in the X direction by the micro moving mechanism.例文帳に追加

光照射部４０には、反射光を変調する微小ミラー群を有するＤＭＤ、および、ＤＭＤを露光ユニット４に対してＸ方向に移動する微小移動機構が設けられ、光照射部４０による光照射位置が微小移動機構によりＸ方向に微小移動する。 - 特許庁

To provide an electron beam irradiation device which generates an electron beam of a large current and a micro beam diameter with a simple and inexpensive configuration and is able to perform drawing speedily, and to provide a drawing device using the same.例文帳に追加

簡単な構成で安価に、大電流かつ微小ビーム径の電子ビームを発生し、高速に描画を行うことができる電子ビーム照射装置およびこれを用いた描画装置を提供する。 - 特許庁

A sample machining method includes a process for machining one portion of a sample 14 into a micro sample 6 by irradiating it with a first ion beam radiated from a first ion source for scanning; a process for separating the micro sample machined by the first ion beam from the sample; and a process for machining the micro sample 6 by using the second ion beam through irradiation with an ion beam from a second ion beam machining apparatus 17.例文帳に追加

第１のイオン源から放出される第１のイオンビームを照射し走査して試料１４の一部をマイクロサンプル６に加工する手段と、前記第１のイオンビームにより加工された前記マイクロサンプルを前記試料から分離するプローブと、第２のイオンビーム加工装置１７から照射し、前記マイクロサンプル６を前記第２のイオンビームを用いて加工する方法。 - 特許庁

When the supporting of the probe 6 is detected by the micro-switch 25, the therapy equipment body 2 is released from an arbitrary irradiation mode, and transferred to a safety irradiation mode to limitedly apply the beam.例文帳に追加

マイクロスイッチ２５によりプローブ６が支持されていることを検出したとき、治療器本体２は任意照射モードを解除して安全照射モードに移行して光線を制限して照射する。 - 特許庁

To efficiently separate a signal from a pattern from a signal from a defect, in a technique for inspecting a micro circuit pattern using an image formed by irradiation with a white light, a laser beam or an electron beam.例文帳に追加

白色光・レーザ光・あるいは電子線を照射して形成された画像を用いて微細な回路パターンを検査する技術において、パターンからの信号と欠陥からの信号を効率的に分離する。 - 特許庁

The reflected light received by the CCD receiver is analyzed to determine a micro-crystallized threshold value, and on the basis of the determined micro-crystallized threshold value, the energy density of the pulse laser beam for production time irradiation is determined.例文帳に追加

ＣＣＤ受光素子が受光した反射光を解析して、微結晶化しきい値を判定し、その判定した微結晶化しきい値に基づいて、本照射を行う際のパルスレーザ光のエネルギー密度を決定する。 - 特許庁

In this manufacturing method for the micro space structure bio-nano tool, a beam irradiation position and an irradiation time are determined based on three-dimensional model data designed by using a computer and the front end of a glass capillary is cut by a focused ion beam.例文帳に追加

微小立体構造バイオナノツールの製造方法において、電子計算機を利用して設計した微小立体構造物の三次元モデルデータに基づき、ビームの照射位置、照射時間を決定し、集束イオンビームによりガラスキャピラリーの先端部の切断加工を行う。 - 特許庁

To provide a micro-portion X-ray irradiation device and its method of an X-ray diffraction device having an unchanged irradiation field even when a sample is tilted at a tilt angle of 15-30 degrees with respect to an incident beam and subjected to in-plane rotation.例文帳に追加

試料を入射ビームに対し１５〜３０度の傾斜角度で傾けて面内回転しても照射野の変化のないＸ線回折装置の微小部Ｘ線照射装置とその方法を提供する。 - 特許庁