Solid Vaporizerとは 意味・読み方・使い方

To provide a vaporizer which is capable of preventing a solid CVD material from separating out at or attaching to a CVD material feed unit, the CVD material exhaust nozzle of a vaporizing chamber, and its vicinity and vaporizing and supplying the solid CVD material very efficiently with desired concentration at a desired flow rate when a solid CVD material is vaporized and supplied for a long term.例文帳に追加

長時間の固体ＣＶＤ原料の気化供給を行なう場合であっても、ＣＶＤ原料供給部内、気化室のＣＶＤ原料噴出口、及びその近辺における固体ＣＶＤ原料の析出、付着を防止することができ、所望の濃度及び流量で極めて効率よく気化供給が可能な気化器を提供する。 - 特許庁

To provide a chemical vapor deposition use copper complex solution of a bivalent copper complex with β-diketonato having a silyl ether linkage as a ligand, which is present as a solid at room temperature or present as a melt having high viscosity even in a liquid, can be fed into a vaporizer by a liquid transport pump and reduces a load on the vaporizer.例文帳に追加

本発明は、室温で固体で存在するか、或いは液体であっても粘性の高い融液として存在する、シリルエーテル結合を持つβ−ジケトナトを配位子とする２価の銅錯体の液体搬送ポンプによる気化器への送入が可能で、気化器への負荷が低減された化学気相蒸着用銅錯体溶液の提供を課題とする。 - 特許庁

A vapor delivery system for delivering a steady flow of sublimated vapor 50 to a vacuum chamber 130 includes a vaporizer 28 of solid material 29, a mechanical throttle valve 100, and a pressure gauge 60, and a vapor conduit 32 communicating with the vacuum chamber.例文帳に追加

昇華された蒸気５０の定常流れを真空チャンバ１３０へ送達する蒸気送達システムは、固体物質２９の気化器２８、機械式スロットルバルブ１００および圧力ゲージ６０、真空チャンバへの蒸気導管３２を備える。 - 特許庁

To provide technology of preventing deposition of a solid source material on an inner wall of a vaporization chamber upon vaporizing a source solution by use of an extremely simple heater structure in a vaporizer that vaporizes the source solution and supplies the vapor to the reaction chamber.例文帳に追加

原料溶液を気化して反応室に供給する気化器において、原料溶液を気化させるときに固体原料が気化室内壁に付着するのを、極めて簡単なヒータ構造により防止する技術を提供する。 - 特許庁

A vapor delivery system for delivering a steady flow of sublimated vapor 50 to a vacuum chamber 130 comprises a vaporizer 28 of a solid material 29, a mechanical throttle valve 100, a pressure gauge 60, and a vapor conduit 32 to the vacuum chamber.例文帳に追加

昇華された蒸気５０の定常流れを真空チャンバ１３０へ送達する蒸気送達システムは、固体物質２９の気化器２８、機械式スロットルバルブ１００および圧力ゲージ６０、真空チャンバへの蒸気導管３２を備える。 - 特許庁

In the film deposition apparatus for forming a solid film on a substrate using a vaporized gas formed by jetting a material solution, and using this vaporized gas, the raw material solution temperatures of two or more material solution jetting nozzles connected to a raw material solution vaporizer can be controlled independently.例文帳に追加

原料溶液を噴出して気化ガスとし、この気化ガスを使用して基板上に固体膜を形成する成膜装置において、原料溶液気化器に接続された２以上の原料溶液噴出ノズルの原料溶液温度を、それぞれ独立に制御することができるようにする。 - 特許庁

The generation device includes: a vaporizer 60 heating water with a heat source to generate water vapor; a reformer 40 reforming mixed gas of fuel gas and water vapor into reformed gas; and a solid oxide type cell of fuel cell generating power by reacting the reformed gas with an oxygen-containing gas.例文帳に追加

発電装置は、水を熱源により加熱して水蒸気を発生させる気化器６０と、燃料ガスと水蒸気との混合ガスを改質ガスに改質する改質器４０と、改質ガスを有酸素ガスと反応させて発電する固体酸化物型の燃料電池セルとを備える。 - 特許庁

To provide a vaporizer and a device for feeding a gaseous CVD raw material into a chemical vapor deposition(CVD) apparatus used for manufacturing semiconductor and the like, which efficiently vaporize and feed the material at a desired concentration and flow rate, without causing precipitation and deposition of the solid CVD raw material at a raw material supply port, even when a solid CVD raw material is used.例文帳に追加

半導体の製造等に用いられる化学気相成長（ＣＶＤ）装置にガス状のＣＶＤ原料を供給するための気化器、気化供給装置において、固体ＣＶＤ原料を用いた場合においても、原料供給口で固体ＣＶＤ原料が析出して付着することなく、所望の濃度及び流量で効率よく気化供給が可能な気化器、気化供給装置を提供する。 - 特許庁