between-lot variationとは 意味・読み方・使い方

According to this method, the tendency of sizes of level differences d of respective wafers included in one lot can be canceled, whereby the variation between wafers can be suppressed.例文帳に追加

このことによって、１つのロットに含まれる各ウェハの段差ｄの大小の傾向を相殺でき、ウェハ間のばらつきを抑制することが出来る。 - 特許庁

Thereafter, the variation of the light exposure and focal point of an exposure apparatus and the changing direction of the focal point between the step of preparing the data and the step of exposing the lot in the step are estimated (SA5), and the light exposure and the focal point of the exposure apparatus for a next lot are adjusted appropriately based on the estimated variation and direction (SA6).例文帳に追加

そして、前述のデータを作成する工程とそのロットの露光工程との間の、露光装置の露光量の変化量、焦点位置の変化量、および、焦点位置の変化方向を推定する（ＳＡ５）ことにより、次のロットの露光装置の露光量および焦点位置を適切に調整する（ＳＡ６）。 - 特許庁

To provide a cleaning method for plasma etching equipment that can control variation in width between interconnections among wafers in a lot and improve throughput in a cleaning step.例文帳に追加

ロット内のウェハ間において配線間幅のばらつきを抑制するとともに、クリーニング工程におけるスループットを向上させることができるプラズマエッチング装置のクリーニング方法を提供する。 - 特許庁

To provide polypropylene for an electric material with high level of electric insulating property, the variation range of which is suppressed to substantially zero between production lots or within a production lot.例文帳に追加

高いレベルの電気絶縁特性を、生産ロット間あるいはロット内での変動幅を実質的にゼロに抑えた電気材料用ポリプロピレンを提供すること。 - 特許庁

To provide the manufacturing method of a semiconductor device and the manufacturing device for the semiconductor device for suppressing the variation of level differences between respective wafers included in one lot more simply.例文帳に追加

１つのロットに含まれる各ウェハ間の段差のばらつきをより簡便に抑制するための、半導体装置の製造方法および半導体装置の製造装置を提供する。 - 特許庁

To provide polypropylene for an electric material with high level of electric insulating property, the variation range of which is suppressed to substantially zero between production lots or within a production lot.例文帳に追加

高いレベルの電気絶縁特性を、生産ロット間あるいはロット内での変動幅を実質的にゼロに抑えたポリプロピレンを提供すること。 - 特許庁

To provide a method of adjusting a secondary battery voltage for absorbing a variation in the internal resistance between the secondary batteries in the same lot, and for shortening time for setting the voltage to the target voltage of the secondary battery.例文帳に追加

同一ロット内の二次電池間の内部抵抗のばらつきを吸収するとともに、二次電池のターゲット電圧に設定する時間を短縮することが可能な二次電池の電圧調整方法を提供することを課題とする。 - 特許庁