charged particle forceとは 意味・読み方・使い方

By restricting the discharge voltage and restricting the dimensions of electromagnetic force generated upon discharge, the coexistence of huge particles with fixed or more particle sizes in charged particles released from an opening 21A of the anode electrode 21 can be evaded, and only the fine charged particles with fixed or less particle sizes are released.例文帳に追加

このように放電電圧を制限し、放電時に発生する電磁力の大きさを制限することで、アノード電極２１の開口２１Ａから放出される荷電粒子中に一定以上の粒径の巨大粒子の混在が回避され、一定以下の微細な荷電粒子のみが放出される。 - 特許庁

Use of a charged particle desorbing/drying technology and driving force and an electric field formed by the high energy charged particles allows direct alteration of adsorption force between water molecules and the dehumidifying structure, to desorb humidity on the absorption part.例文帳に追加

本発明は帯電粒子着脱乾燥技術を利用し、高エネルギー帯電粒子が形成する駆動力と電場を利用し、水分子と除湿構造間の吸着力を直接改変可能で、こうして湿気は吸着部品上に着脱される。 - 特許庁

To provide a high-resolution and high throughput charged particle beam device obtained by attenuating intrinsic vibrations of ion pumps excited by a reactive force during driving of a stage, and by preventing occurrence of a loop of a force and a loop of a current.例文帳に追加

ステージ駆動時の反力で励起されるイオンポンプの固有振動を短時間で減衰させ、力のループと電流のループの発生を防ぎ、高分解能かつ高スループットの荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁

To change a magnetic field distribution of a magnetic force line which adjusts tracks of charged particles by possessing various deflection functions, various convergence functions, and other functions, thereby to significantly reduce the number of types of electromagnets used in a ring of a charged particle accelerator to achieve reduction in the price and size of the accelerator.例文帳に追加

荷電粒子の軌道を調整する磁力線の磁場分布を変化させ、各種偏向機能、各種収束機能、他の機能などを持たせることにより、荷電粒子加速器のリングで使用される電磁石の種類数を大幅に低減させ、加速器の低価格化、小型化を達成する。 - 特許庁

When a part of the oil is passed through the fiber dense part 14 of the oil filter 10, the negatively charged fine impurities such as carbon particle are adsorbed and filtered by the electric attractive force of the positively charged PAE resin, with which the fiber dense part 14 is impregnated and which is hardened.例文帳に追加

一部のオイルはオイルフィルタ１０の繊維密部１４を流通し、カーボン粒子のようにマイナスの電荷を帯びた微細な不純物が繊維密部１４に含浸され硬化されているプラスの電荷を帯びたＰＡＥ樹脂の電気的吸着力により吸着濾過することができる。 - 特許庁

During plasma attenuation, bias to a substrate support member 112 is increased to a relative high power for reinforcing force to attract particle charged positive to the substrate 110 periodically in an afterglow period of the plasma.例文帳に追加

プラズマが減衰している期間の間、基板支持部材１１２に対するバイアスは、プラズマの残光期間中、正に帯電している粒子を基板１１０に引き付ける力を周期的に強めるため、比較的高い電力に増大される。 - 特許庁

The foreign substance removal device on a transfer mask for a charged particle beam is to attract for removal or repel for removal a foreign substance with electrostatic force by making a prober having a pointed tip end to which electric charges are applied approach the foreign substance.例文帳に追加

電荷を与えた先端が尖ったプローバを異物に接近させ、静電気力で異物を吸着除去又は反発除去すること。 - 特許庁

To realize a charged particle beam device with low cost and high precision, capable of removing stage-repulsion force leading to errors of drawing or inspection without enlarging the size of the device, and performing inspection with a high throughput.例文帳に追加

装置を大形化すことなく、描画誤差、或いは検査誤差に繋がるステージ反力を除去し、安価で高精度な描画、及びスループットの高い検査が可能となる荷電粒子線装置を実現する。 - 特許庁