correct expansionとは 意味・読み方・使い方

In a step 522, a reticle expansion/contraction variation amount during the exposure is calculated using results of before-exposure alignment measurement and after-exposure overlap measurement, and corrected, and a parameter of the reticle expansion/contraction correction model is modified so as to correct the reticle expansion/contraction variation amount.例文帳に追加

ステップ５２２で露光前アライメント計測と露光後重ね合わせ計測との結果を用いて露光中のレチクル伸縮変動量を算出し、これを補正するため、レチクル伸縮補正モデルのパラメータを修正する。 - 特許庁

An image expansion part 911 performs the expansion processing of black pixels of image data converted from an original electronic document file as images to correct errors generated in aligning.例文帳に追加

元の電子文書ファイルを画像化した画像データ（元文書画像データ）の黒画素に対して画像膨張部９１１により膨張処理をおこない、位置合わせの際の誤差を補正する。 - 特許庁

To correct the error of the magnification of a projection optical system and the error of magnification with respect to the expansion of a nonlinear wafer caused by a wafer process.例文帳に追加

投影光学系の倍率誤差や、ウェハープロセスに起因する非線形なウエハの伸縮に対する倍率誤差を補正する。 - 特許庁

To properly correct the start time of scanning and the scanning width of laser light beam, accompanying the expansion of a scanning lens due to a temperature variation.例文帳に追加

温度変化による走査レンズの膨張に伴うレーザ光の走査開始タイミングおよび走査幅の補正を良好に行う。 - 特許庁

It is not merely an extension, but it positively utilizes inward inflectional distortion to correct thermal expansion of the thin metal plate.例文帳に追加

単なる延伸ではなく内側に湾曲するような歪曲を積極的に金属薄板の熱膨張補正に利用する。 - 特許庁

The coefficient of thermal expansion of the plate 10 and the connected position of the frame 4 to the second spring 5b is appropriated to correct the positional displacement of the panel 4 and the second spring 5b due to thermal expansion by the amount of thermal expansion of the plate 10.例文帳に追加

プレート１０の熱膨張係数や、フレーム４および第２のスプリング５ｂとの接合位置を適正化することで、パネル４および第２のスプリング５ｂの熱膨張による位置ずれを、プレート１０の熱膨張量によって補正する。 - 特許庁

To correct transfer magnification easily and accurately when the magnification of a mask and a wafer is varied due to expansion/contraction of a wafer.例文帳に追加

ウエハの伸縮等によりマスクとウエハの倍率が変化した場合に、簡単にかつ精度よく転写倍率を補正できるようにする。 - 特許庁

To provide a caliper which can correct measurement errors caused by the thermal expansion of a main scale inexpensively and simply to perform a high-precision measurement.例文帳に追加

本尺の熱膨張による測定誤差を安価かつ簡易に補正することができ、高精度の測定が可能なノギスを提供する。 - 特許庁