excitation of a gasとは 意味・読み方・使い方

The self-excitation vibration nozzle 32 comprises a gas supply path for supplying the gas, a gas discharge port formed at the distal end of the gas supply path, and a connecting flow path whose one end and other end are connected to the left and right of the entrance of the gas discharge port.例文帳に追加

自励振動ノズル３２は、ガスを供給するガス供給路と、このガス供給路の先端に形成されたガス吐出口と、このガス吐出口の入口の左右にその一端と他端とが接続された連結流路とを有する。 - 特許庁

To provide a method for discriminating anomaly in gas composition by which the anomaly in gas composition of a laser gas can be discriminated by a simple method and the generation of damage in a discharge tube be also prevented, and to provide a discharge excitation gas laser oscillator.例文帳に追加

本発明は、簡易な方法でレーザガスのガス組成の異常を判断でき、放電管に損傷が生じることを防止することができるガス組成異常判断方法及び放電励起ガスレーザ発振器を提供する。 - 特許庁

To provide a gas discharge device having a phosphor layer which improves the deterioration of luminance and has a high molecular beam excitation efficiency.例文帳に追加

輝度劣化が改善されるとともに高い分子線励起効率を有する蛍光体層有するガス放電装置を提供する。 - 特許庁

Thereafter, a gas having no relation with processes nor etching is introduced into the chamber 4 by using an inert gas of N2, Ar, He, etc., excited by means of a power source 9 for excitation installed to a gas introducing pipeline 8.例文帳に追加

その後、ガス導入配管８に設置された励起用電源９により励起されたＮ_２、Ａｒ、Ｈｅなどの不活性ガスでプロセスおよびエッチングに関係のないガスをプロセスチャンバ４内に導入する。 - 特許庁

To provide an antenna excitation type gas discharge lamp small in size, having a simple structure, and capable of increasing luminous efficiency.例文帳に追加

小型かつ構造簡素にしてＶＵＶ光の発光効率が高くなるアンテナ励起型ガス放電灯を得る。 - 特許庁

In a shower plate 105 arranged in the processing chamber 102 of plasma processing equipment and discharging plasma excitation gas in order to generate plasma in the processing chamber 102, a porous gas circulator 114 having pores communicating in the direction of gas circulation is attached to a longitudinal hole 112 becoming the discharge passage of plasma excitation gas.例文帳に追加

プラズマ処理装置の処理室１０２に配置され、処理室１０２にプラズマを発生させるためにプラズマ励起用ガスを放出するシャワープレート１０５において、プラズマ励起用ガスの放出経路となる縦孔１１２に、ガス流通方向に連通した気孔を有する多孔質ガス流通体１１４を装着した。 - 特許庁

The film deposition apparatus 100 includes a reaction chamber 102 for performing the film deposition, a first gas feed line 112 and a second gas feed line 152 for feeding a first raw material A and a gas B to the reaction chamber 102, respectively, and an excitation part 106 for performing the plasma excitation of the gas to be fed to the reaction chamber 102.例文帳に追加

成膜装置１００は、成膜処理を行う反応室１０２と、第１の原料ＡおよびガスＢをそれぞれ反応室１０２に供給する第１のガス供給ライン１１２および第２のガス供給ライン１５２と、反応室１０２に供給されるガスをプラズマ励起する励起部１０６とを含む。 - 特許庁

To provide a phosphor material that exhibits strong emission of light in the near ultraviolet region by irradiation from an excitation source with a wavelength of 172 nm radiated by rare gas discharge as the excitation source of the phosphor.例文帳に追加

蛍光体の励起源として、希ガス放電により放射される波長１７２ｎｍの励起源の照射により、近紫外線領域に強い発光を示す蛍光体材料を提供すること。 - 特許庁