gas scatteringとは 意味・読み方・使い方

DEVICE FOR DELIVERING SUPPLIED GAS AND SCATTERING MATERIAL THAT CAN BE ATTACHED AND REMOVED例文帳に追加

供給されたガスを送給するための装置及び着脱可能な散乱部材 - 特許庁

Chemical species contained in the mixture gas radiates the Raman scattering light peculiar to the chemical species, and the intensity of this Raman scattering light is in proportion to the concentration of the chemical species and the pressure of the mixture gas.例文帳に追加

すると、混合気体に含まれる化学種は、化学種固有のラマン散乱光を放射するが、このラマン散乱光の強度は化学種の濃度及び混合気体の圧力に比例する。 - 特許庁

A scattering part B is composed of a plurality of nozzles 12 for scattering the liquid dielectric toward the upstream side of the gas current and a channel narrowing member 13 which is positioned on the upstream side of the nozzles 12 and narrows a gas channel.例文帳に追加

散布部Ｂを、気体の流れ方向の上流側に向けて液体誘電体を散布する複数のノズル１２と、これらノズル１２の上流側に位置して気体の流路を狭める狭路部材１３とから構成する。 - 特許庁

Further, by discharging a purge gas on an irradiated place of the gas clusters C, reattachment of a scattering object caused by cleaning to the wafer W is prevented.例文帳に追加

さらに、パージガスをガスクラスターＣの照射箇所に吐出することで、洗浄により生じた飛散物のウエハＷへの再付着を防止する。 - 特許庁

To suppress influences of flying-up and scattering of a raw material by stabilizing the density of a raw material gas in a carrier gas.例文帳に追加

キャリアガス中の原料ガスの濃度を安定化させ、原料の巻き上げや飛散による影響を抑制する。 - 特許庁

Since cooling gas does not flow to a wafer-side, the particles are prevented from scattering and from adhering to the wafer by cooling gas.例文帳に追加

冷却ガスがウェハ側に流れないため冷却ガスによってパーティクルが飛び散りウェハに付着するような問題が生じない。 - 特許庁

Whereby the atmospheric gas is not directly applied to the ceramic chip component, and the replacement of the atmospheric gas and the prevention of scattering can be achieved.例文帳に追加

これにより雰囲気ガスが、セラミックチップ部品に直接当たらず、雰囲気ガスの置換と飛散防止が達成される。 - 特許庁

To provide a gas-liquid separator with improved gas-liquid separation efficiency while reducing disturbance of a liquid surface in a container, and reducing droplets scattering from liquid.例文帳に追加

容器内の液面の乱れが減少して、液体から飛散する液滴が減少し、気液分離効率が向上した気液分離器を得る。 - 特許庁