s or rowsとは 意味・読み方・使い方

To provides method and device for exposure capable of exposing a pattern, having a fine hole diameter and patterns of rows of contact holes or mixed independent contact holes with the rows of contact holes, with a high degree of resolution (or the degree of resolution equal to L-and-S pattern employing a phase shift mask for the rows of contact holes) without exchanging any mask.例文帳に追加

微細なホール径を持ち、コンタクトホール列のパターン、あるいは孤立コンタクトホールとコンタクトホール列とが混在するパターンを、マスクを交換せずに、高解像度（即ち、コンタクトホール列については位相シフトマスクを用いたＬ＆Ｓパターンと同等の解像度）で露光可能な露光方法及び装置を提供する。 - 特許庁

Links L different in pitch length from links S of a reference pitch length are plurally used at a ratio of 1/10 or less of all link rows arranged in a chain moving direction.例文帳に追加

チェーン進行方向に並ぶリンク総列の１／１０以下の割合で、基準ピッチ長のリンクＳに対してピッチ長が異なるリンクＬが複数使用されている。 - 特許庁