silicon temperature sensorとは 意味・読み方・使い方

A pH sensor 30, a temperature sensor 40, a flow rate sensor 50 are integrated on a base board 1 formed of a silicon substrate provided with a hypochlorous acid ion sensor detecting a hypochlorous acid ion.例文帳に追加

ｐＨセンサ３０、温度センサ４０、流量センサ５０が、次亜塩素酸イオンを検出する次亜塩素酸イオンセンサ２０が形成されたシリコン基板よりなる基板１に集積化されている。 - 特許庁

To draw out the electrodes of a gas sensor formed on a silicon substrate and used at a high temperature to the outside while assuring an airtightness.例文帳に追加

シリコン基板に形成され高温度で使用されるガスセンサの電極を、気密性を確保しながら外部に引き出す。 - 特許庁

To obtain a thermal type infrared sensor with a high temperature resolution by increasing the number of thermocouples for increasing output without increasing a silicon substrate size.例文帳に追加

シリコン基板サイズを大きくすることなく、熱電対の数を増やして高出力化し、温度分解能の高い熱型赤外線センサを得る。 - 特許庁

A cascade temperature sensor 57 to which three thermo-couples are inserted is laid in the heat insulation tube 36, and a temperature measuring piece composed of silicon is fixed to the hot junctions of the respective thermo-couples respectively.例文帳に追加

３本の熱電対が挿入されたカスケード温度センサ５７を保温チューブ３６内に敷設し、各熱電対の熱接点にシリコンからなる測温片をそれぞれ固着する。 - 特許庁

To provide a temperature detector and a thermal infrared-ray detector capable of enhancing sensor sensitivity compoundingly applied with a silicon fine micro-work technique.例文帳に追加

シリコン微細加工技術を応用した複合的にセンサ感度を向上させることができる温度検出装置および熱型赤外線検出装置を得る。 - 特許庁

Since the linear expansion coefficient of the alumina board 22 is close to that of a measurement chip (silicon wafer) 11, the sensor board 21 is hard to distort under the effect of temperature.例文帳に追加

また、アルミナ基板２２の線膨張計数は、測定チップ（シリコンウエハ）１１の線膨張係数に近いため、温度の影響によるセンサ基板２１の歪みが生じにくい。 - 特許庁

To reduce complexity in a typical Wheatstone bridge sensor, using a single square silicon (SSS) sensor, to reduce an on-chip voltage by enhancing pressure sensitivity to reduce average electric power use, and to reduce a temperature gradient between a pressure measured value and a temperature measured value.例文帳に追加

単一方形シリコン（ＳＳＳ）センサを使用し、典型的なホイートストンブリッジセンサの複雑さを低減すること、圧力感度を高めてオンチップ電圧を減少し、平均電力使用を低減すること、および圧力測定値と温度測定値との間の温度勾配を低減することができる。 - 特許庁

The sensor includes a thermal infrared detector 3 having an infrared absorption part 33 and a temperature sensing part 30 for detecting a temperature change of the infrared absorption part 33, formed on one surface side of a silicon substrate (support substrate) 1a, and supported by the silicon substrate 1a, and a hollow part 11 is formed just under a part of the thermal infrared detector 3 on the silicon substrate 1a.例文帳に追加

赤外線吸収部３３および当該赤外線吸収部３３の温度変化を検出する感温部３０を有しシリコン基板（支持基板）１ａの一表面側に形成されてシリコン基板１ａに支持された熱型赤外線検出部３を備え、シリコン基板１ａにおいて熱型赤外線検出部３の一部の直下に空洞部１１が形成されている。 - 特許庁