意味 | 例文 (19件) |
VACUUM ULTRAVIOLET LIGHT SOURCEの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 19件
VACUUM ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE例文帳に追加
真空紫外光源 - 特許庁
The light source(extreme ultraviolet (EUV) light source 201) irradiates any of the EUV light, the deep ultraviolet (DUV) light or the vacuum ultraviolet (VUV) light.例文帳に追加
光源(EUV光源201)は、EUV光、DUV光又はVUV光のいずれかの光を照射する。 - 特許庁
To enable the selection of a light source of the ultraviolet region other than vacuum ultraviolet rays as a light source by exhibiting excellent ultraviolet emission when excited by a wavelength from the vacuum ultraviolet rays to the near-ultraviolet region.例文帳に追加
真空紫外線から近紫外線領域の波長で励起した際に優れた紫外線発光を示し、光源として真空紫外線以外の紫外線領域の光源を選択することを可能とする。 - 特許庁
The vacuum ultraviolet rays-excited fluorophor is used for a light emission device using vacuum ultraviolet rays such as of a gas discharge lamp and a PDP as an excitation source.例文帳に追加
真空紫外線励起蛍光体は、希ガス放電ランプやPDPなどの真空紫外線を励起源とする発光装置に用いられる。 - 特許庁
Exhaust gas is irradiated with an ultraviolet light containing a vacuum ultraviolet region from the first light source to decompose the hazardous organic substances in the exhaust gas.例文帳に追加
第1光源は、真空紫外領域を含む紫外光を排ガスに照射し、排ガス中の有害有機物を分解する。 - 特許庁
The vacuum ultraviolet light generation device which employs a four-wave mixing method constituted of a cell 10, a visible light source 20, an ultraviolet light source 30, a first lens 40, a second lens 50, and a third lens 60.例文帳に追加
本発明の4波混合法を用いる真空紫外光発生装置は、セル10と可視光光源20と紫外光光源30と第1レンズ40と第2レンズ50と第3レンズ60とからなる。 - 特許庁
In the vacuum ultraviolet light source, the first dielectric tube 10 and the second dielectric tube 12 are arranged so that their central axes match.例文帳に追加
第1誘電体管10と第2誘電体管12とは、その互いの中心軸23を一致させて配置されている。 - 特許庁
A photo-catalyst 26 and a second light source 24 are provided in the photo-catalytic reaction vessel 14 and the photo-catalyst 26 is irradiated with an ultraviolet light containing no vacuum ultraviolet region from the second light source 24, and this photo-catalyst 26 is brought into contact with the above exhaust gas to accelerate decomposition of the hazardous organic substances.例文帳に追加
光触媒反応容器14には光触媒26と第2光源24が設けられ、この第2光源24から真空紫外領域を含まない紫外光が光触媒26に照射され、この光触媒26が前記排ガスに接触して、有害有機物の分解を促進する。 - 特許庁
The contamination prevention device comprises a light source generating vacuum ultraviolet light having a wavelength of 166 nm or shorter, and an optical system (mirrors 104a, 104b, and the like) through which an EUV mask 108 housed in an EUV exposure device 101 is irradiated with vacuum ultraviolet light from the light source.例文帳に追加
本発明の一態様にかかる汚染防止装置は、波長166nm以下の真空紫外光を発生する光源と、光源からの真空紫外光のビームをEUV露光装置101内に収容されたEUVマスク108に対して照射させる光学系(ミラー104a、104b等)と、を備えるものである。 - 特許庁
To perform exposure transfer in a wavelength region from vacuum ultraviolet to infrared without depending on the wavelength of an exposure light source.例文帳に追加
露光光源の波長に依存することなく、真空紫外から赤外までの波長域で露光転写を行なうことができるマスクレス露光装置を提供する。 - 特許庁
Electrons emitted by field emission from a cold cathode electron emission source in vacuum are made to collide against the ultraviolet phosphor thin film 4 at a high speed, thereby the film 4 is excited by the electrons to emit UV light.例文帳に追加
紫外蛍光薄膜4は、真空中で冷陰極電子放出源から電界放出させた電子を高速で衝突させることにより、電子により励起されUV光を放出する。 - 特許庁
To provide an oxide phosphor exhibiting higher quantum efficiency when irradiated by a vacuum ultraviolet ray, its producing method, its designing rule and a light source having higher energy efficiency using the phosphor.例文帳に追加
真空紫外線照射時により高い量子効率を示す酸化物蛍光体、その製造方法、その設計規則及び該蛍光体を用いたエネルギー効率のより高い光源を提供する。 - 特許庁
To enhance the emission efficiency of green light emission by vacuum ultraviolet rays using that of not higher than 200 nm wave length as an excitation source.例文帳に追加
波長200nm以下の真空紫外線を励起源として緑色発光する真空紫外線励起蛍光体において、真空紫外線による緑色発光の発光効率を高める。 - 特許庁
To provide phosphor particles having high emission efficiency and their manufacturing method, particularly phosphor particles suitably used in PDP using vacuum ultraviolet rays as the excitation light source, and their manufacturing method.例文帳に追加
発光効率の高い蛍光体粒子及びその製造方法を提供すること、特に真空紫外を励起光源とするPDPに適した蛍光体粒子及びその製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
Then, it is sucked and fixed on the upper face 102 of the lower fame 100 of the substrate W by evacuating by the vacuum sucking device 120, and the alignment with the mask film M is confirmed, so that exposure is performed by irradiating with ultraviolet rays from an exposure light source.例文帳に追加
その後、真空吸着装置120で真空引きして基板W下枠100の上面102に吸着固定し、マスクフィルムMとのアライメントを確認し、露光光源から紫外線を照射して露光する。 - 特許庁
To provide a reflection type polarizing modulation element capable of using a circularly polarized light or a linearly polarized light and modulating these polarized states of the light without using a radiation light source even in a vacuum ultraviolet region where no transmission type polarizing element can be used.例文帳に追加
透過型偏光素子が利用できない真空紫外領域においても円偏光もしくは直線偏光の利用ならびにそれら偏光状態の変調が放射光源を用いずとも可能とする反射型偏光変調素子を提供すること。 - 特許庁
To provide an extreme ultraviolet light source apparatus in which the reflectivity of an EUV collector mirror is hard to degrade when the particles of low transmission coefficient against EUV light stick even if a high speed ion released from plasma collides with a structure within a vacuum chamber.例文帳に追加
プラズマから放出される高速イオンが、真空チャンバ内の構造物に衝突しても、EUV光に対する透過率の低い粒子の付着により、EUVコレクタミラーの反射率が低下し難い極端紫外光源装置を提供する。 - 特許庁
Further, the device 1007 includes: a first collector for detecting the number of first charged particles out of charged particles where a flying distance from the vacuum ultraviolet light source 600 is zero or more; and a second collector for detecting the number of second charged particles out of charged particles at a distance longer than the flying distance of the first charged particles.例文帳に追加
また、装置1007は、真空紫外光源600からの飛行距離が0以上の距離である荷電粒子の第1の荷電粒子数を検出する第1のコレクタと、上記距離よりも長い距離の荷電粒子の第2の荷電粒子数を検出する第2のコレクタとを備える。 - 特許庁
An exposure system projects a mask pattern onto a photosensitive substrate using a fluorine excimer laser as a light source, where the beam of the excimer laser whose wavelengths are in a wavelength range of vacuum ultraviolet rays are used as an exposure light, and an optical axis aligning means in which visible light or infrared beams emitted from the fluorine excimer laser at the same time are used is provided.例文帳に追加
フッ素エキシマレーザを光源とし、マスクのパターンを投影光学系を介して感光基板に照射する露光装置において、前記フッ素エキシマレーザ光の真空紫外域の波長を露光光とし、前記フッ素エキシマレーザ光が同時に発光する可視光または赤外光を用いた光軸合わせ手段を設ける。 - 特許庁
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