「electron beam current」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

ELECTRON BEAM DETECTOR AND ELECTRON BEAM CURRENT MEASURING METHOD例文帳に追加

電子ビーム検出器および電子ビーム電流計測方法 - 特許庁

METHOD OF MEASURING ELECTRON BEAM CURRENT, METHOD AND APPARATUS OF ELECTRON BEAM DRAWING例文帳に追加

電子ビーム電流計測方法、電子ビーム描画方法および装置 - 特許庁

DEVICE FOR MEASURING BEAM CURRENT FOR ELECTRON BEAM IRRADIATOR例文帳に追加

電子線照射装置用ビーム電流計測装置 - 特許庁

To provide an electron beam generator that can generate a stable electron beam as the current accompanying the production of larger current electron gun, in an electron beam irradiator.例文帳に追加

電子線照射装置の電子銃の大電流化に伴い、安定した電子ビームを発生することができる電子線発生装置を提供する。 - 特許庁

ELECTRON BEAM ABSORBED CURRENT ANALYZING METHOD AND ELECTRON BEAM ABSORBED CURRENT ANALYZER例文帳に追加

電子ビーム吸収電流解析方法及び電子ビーム吸収電流解析器 - 特許庁

DIRECT CURRENT HIGH-VOLTAGE POWER SOURCE DEVICE FOR ELECTRON BEAM IRRADIATING EQUIPMENT例文帳に追加

電子線照射装置用の直流高圧電源装置 - 特許庁

The current value of an electron beam is measured.例文帳に追加

電子ビームの電流値を測定する。 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING BEAM CURRENT OF ELECTRON-BEAM PLOTTING APPARATUS例文帳に追加

電子ビーム描画装置のビーム電流測定方法及び装置 - 特許庁

MULTIPLE ELECTRON BEAM SYSTEM, AND MULTIPLE ELECTRON BEAM CURRENT MEASURING AND DISPLAYING METHOD USED THEREWITH例文帳に追加

マルチ電子ビーム装置およびそれに用いられるマルチ電子ビーム電流の計測・表示方法 - 特許庁

To provide an electron beam radiation device capable of lowering a current value for generating an electron beam.例文帳に追加

電子線発生の電流値を低くすることができる電子線放出装置を提供する。 - 特許庁

The sample current includes a current induced by the radiation of an electron beam.例文帳に追加

試料電流は、電子線照射により誘起された電流を含む。 - 特許庁

CURRENT MEASURING METHOD OF ELECTRON BEAM IN VARIABLE AREA ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM AND VARIABLE AREA ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM例文帳に追加

可変面積型電子ビーム描画装置における電子ビームの電流測定方法および可変面積型電子ビーム描画装置 - 特許庁

An electron beam current is measured, and the intensity of the photon beam is adjusted based on the measured electron beam current.例文帳に追加

電子ビーム電流を測定し、測定した電子ビーム電流に基づいて光子ビームの強度を調整する。 - 特許庁

This enables the electron beam irradiation equipment 1 to measure the current generated by the electron beam EB that has been returned to the side of the electron beam irradiation window 24, by scattering and the like among the electron beams emitted from the electron beam irradiation window 24.例文帳に追加

これにより、電子線照射装置１では、電子線出射窓２４から出射した電子線のうち、散乱等で電子線出射窓２４側に戻ってきた電子線ＥＢによって生じる電流を測定することができる。 - 特許庁

To provide an electron gun capable of obtaining a large electron beam current at a low accelerating voltage.例文帳に追加

低い加速電圧で大きな電子線電流が得られる電子銃を提供する。 - 特許庁

In a TEM, a thin specimen is illuminated with an electron beam of uniform current density. 例文帳に追加

TEMでは、薄い試料が均一な電流密度の電子ビームで照らされる。 - 科学技術論文動詞集

FILAMENT CURRENT VALUE SETTING METHOD AND ELECTRON BEAM GENERATOR USING SAME例文帳に追加

フィラメント電流値設定方法及びこれを用いた電子線発生装置 - 特許庁

To lessen noise generated in a sample current in an electron beam system.例文帳に追加

電子線装置において、試料電流に発生する雑音を小さくする。 - 特許庁

This is an electron beam exposing device to radiate the electron beams to a specimen, and has an electron beam generating part to generate the electron beam and has a current detecting part to detect the current of the electron beam with a mark part which is smaller than the area of the cross section of the electron beam in the specimen, by the electron beam radiated to the mark part.例文帳に追加

試料に電子ビームを照射する電子ビーム露光装置であって、電子ビームを発生する電子ビーム発生部と、試料における電子ビームの断面の面積より小さいマーク部を有し、マーク部に電子ビームが照射されることにより、電子ビームの電流を検出する電流検出部とを備える。 - 特許庁

In the reflection high-energy electron diffraction apparatus 10, the electron beam 28 having an emission current value at a nanoampere level is emitted from the electron gun 15 toward the thin film.例文帳に追加

反射高速電子回析装置１０では、ｎＡのレベルのエミッション電流値の電子線２８を電子銃１５から薄膜に向かって発射する。 - 特許庁

To provide an electron gun that has a stable performance as the current of the electron gun of an electron beam irradiation device is higher and higher.例文帳に追加

電子線照射装置の電子銃の大電流化に伴い安定した性能の電子銃を提供する。 - 特許庁

To provide an electron gun forming electron beams uniformly over a wide region and of high current density in a fixed beam diameter or variable beam diameters, an electron beam irradiating device applying the electron gun, corresponding to wide-region beam scanning, and corresponding to irradiation time throughputs, or an electron beam irradiating device with uniform beams on a treated object and with enhanced electron beam efficiency of high current density.例文帳に追加

広領域にわたって均一で、高電流密度の電子ビームをビーム径固定若しくは可変に形成する電子銃、その電子銃を適用し、広領域のビームスキャンに対応し，照射時間スループットに対応した電子線照射装置、或いは被処理物上ビームが均一で、高電流密度の電子線効率を高めた電子線照射装置を提供する。 - 特許庁

To provide an electron beam exposure device for exposing a wafer with high precision in plotting by controlling a current of the electron beam with high accuracy.例文帳に追加

電子ビームの電流を高精度に制御することにより、高い描画精度でウェハを露光する電子ビーム露光装置を提供する。 - 特許庁

To provide an electron beam source capable of emitting a large diameter electron beam with homogeneous current density, with a simple structure.例文帳に追加

均一な電流密度を有する大口径の電子ビームを放出することができる簡単な構造の電子ビーム源を提供する。 - 特許庁

Thus, the exposure conditions, such as an electron beam current quantity, are relaxed to improve the throughput in electron beam proximity exposure.例文帳に追加

これにより電子ビーム電流量等の露光条件が緩和され、電子ビーム近接露光におけるスループットを向上する。 - 特許庁

An electron source is positioned on the surface of the wafer for an oxygen ion beam to be irradiated and outside a line of the ion beam, so that an electron beam is irradiated thereon by the same amount as an ion beam current value or less, with electron energy set at 50 eV or more.例文帳に追加

酸素イオンビームが照射されるウエハ面側に有ってイオンビームライン外に電子源を設置し、イオンビーム電流値と同量、それ以下の電子ビームを照射し、電子エネルギーが５０ｅＶ以上である。 - 特許庁

To provide an electron beam irradiation treatment device which can output a stable and constant electron beam over a long period from an electron beam tube by setting up a means for detecting the difference between a tube current and an electric current flowing from an electron beam emission component to an earth.例文帳に追加

管電流と電子線出射部からアースに流れる電流との差を検出する手段を設けることにより、電子線管から長期間にわたり安定した一定の電子線を出力させることのできる電子線照射処理装置を提供することにある。 - 特許庁

The current density section control grating is so constituted, as to generate an electron beam having nonuniform current density section from the electron gun.例文帳に追加

電流密度断面制御格子は、不均一な電流密度断面をもつ電子ビームが電子銃から発生するように構成される。 - 特許庁

The electron beam exposure device 10 for exposing the wafer with an electron beam includes an electron gun 110 for generating an electron beam, a wafer stage 148 for holding the wafer 146 exposed by the electron beam, and a beam instrument module 20 provided at the wafer stage 148 for detecting the current of the electron beam and storing it as digital data.例文帳に追加

電子ビームによりウェハを露光する電子ビーム露光装置１０は、電子ビームを発生する電子銃１１０と、電子ビームによって露光されるウェハ１４６を保持するウェハステージ１４８と、ウェハステージ１４８に設けられ、電子ビームの電流を検出してデジタルデータとして格納するビーム計測モジュール２０とを備える。 - 特許庁

To provide an electron gun for a cathode-ray tube capable of reducing a spot diameter of an electron beam when the electron beam is in a high current area, and restraining moire when the electron beam is in a low current area, and to provide a color cathode-ray tube equipped with the same.例文帳に追加

電子ビームが高電流域の場合には電子ビームのスポット径を縮小し、かつ電子ビームが低電流域の場合にはモアレを抑制し得る陰極線管用電子銃およびそれを備えたカラー陰極線管を提供する。 - 特許庁

To provide an electron beam device for suppressing fluctuation of orbit of electron beam even if a voltage applied to a first lead-out electrode is controlled for stable emission current amount of the electron beam.例文帳に追加

電子線の放出電流量を安定化するために、第１引出し電極に印加する電圧を制御しても、電子線の軌道の変動を抑えることができる電子線装置を提供する。 - 特許庁

As to the electron beam irradiation equipment 1, current readout electrodes 5 are placed in a window unit 4 so that they cannot overlap an electron beam emission window 24, as seen from the emission axis direction of an electron beam EB.例文帳に追加

電子線照射装置１では、窓ユニット４において、電子線ＥＢの出射軸方向から見て、電子線出射窓２４と重ならないように電流読出電極５が設けられている。 - 特許庁

To accurately control the current amount of an electron beam and extend the service life of an electron beam generation device by preventing discharge in an electron beam exposure device.例文帳に追加

電子ビーム露光装置における、放電を防止し、電子ビームの電流量を精度よく制御し、且つ、電子ビーム生成装置の長寿命化を図る。 - 特許庁

An electron beam is applied onto the specimen to be inspected while it is scanned, a current value generated in the specimen corresponds to the irradiation position of the electron beam at the time when the electron beam is applied, stored as a current waveform, and an incorrect position is detected by comparing the current waveforms of the two inspection specimens.例文帳に追加

被検査試料に対して電子ビームを走査させながら照射し、電子ビームが照射された際に試料に生じた電流値をそのときの電子ビーム照射位置と対応付けて電流波形として記憶し、二つの被検査試料に対する電流波形を比較することにより、不良位置を検出する。 - 特許庁

In this electron beam generating device 1 which emits the electron beam from the filament by thermionic emission, filament current control means 4, 5 to control a filment current flowing in the filament 3 are provided, and the beam current is controlled to the constant value by detecting the beam current of the electron beam and feeding back the detected value to the filament current control means.例文帳に追加

熱電子放出によりフィラメントから電子ビームを放出する電子ビーム発生装置１において、フィラメント３を流れるフィラメント電流を制御するフィラメント電流制御手段４，５を備え、電子ビームのビーム電流を検出し、その検出値をフィラメント電流制御手段にフィードバックすることによってビーム電流を一定値に制御する。 - 特許庁

To provide an electron beam device capable of maintaining a constant angle current density of an emitter.例文帳に追加

エミッタの角電流密度を常に一定に保つことができる電子線装置を提供すること。 - 特許庁

Wait time until a current measurement value stabilizes after electron beam irradiation is stored for reutilizing.例文帳に追加

電子ビーム照射後に電流測定値が安定するまでの待ち時間を記憶して再利用する。 - 特許庁

To reduce power consumption by reducing a reactive current of an electron beam source in an unselected state.例文帳に追加

非選択状態にある電子源の無効電流を低減することかでき、低消費電力化をはかる。 - 特許庁

To provide an electron beam device capable of suppressing discharge by a lower current value and in a short time.例文帳に追加

より低い電流値且つ短時間で放電を抑制することのできる電子線装置を提供する - 特許庁

Consequently, if the position of the electron beam 2 is so adjusted by an aligner 5 for beam position adjustment as to maximize the current detected by the ampere meter 4, it is possible to align the center position of the hollow aperture 1 to the beam position of the electron beam 2.例文帳に追加

従って、電流計２により検出される電流が最大になるようにビーム位置調整用アライナ５で電子線２の位置を調整すれば、ホローアパーチャ１の中心と電子線２のビーム位置を合わせることができる。 - 特許庁

To accurately measure an emission current in an electron beam device using a field emission type electron gun.例文帳に追加

電界放射型電子銃を用いた電子線装置において、エミッション電流の測定を正確に行えるようにする。 - 特許庁

To provide an electron beam exposure apparatus which reliably achieves high resolution, while realizing high throughput using large-current electron beams.例文帳に追加

大電流の電子線を用いて高スループット化を実現しながら、さらに高解像度化を確実に実現できる電子線露光装置を提供する - 特許庁

To realize an electron beam device provided with a field emission type electron gun, which can be used under optimum conditions within any region of irradiation current.例文帳に追加

どのような照射電流の領域でも無理なく最適に使用できる電界放射型電子銃を備えた電子ビーム装置を実現する。 - 特許庁

The size of the emission beam of the electron emission source is determined in accordance with the position of the electron emission source and the measured current (406).例文帳に追加

電子放出源の位置と測定された電流とに基づいて電子放出源の放出ビームのサイズを決定する(406)。 - 特許庁

To provide an electron emission element which can achieve both an increase of an electron emission current and focusing of a beam diameter simultaneously.例文帳に追加

電子放出電流の増大と、ビーム径の集束とを同時に実現する電子放出素子を提供する。 - 特許庁