「mass flow controller」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

質量流量制御器 - 特許庁

INTEGRATED MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

集積タイプのマスフローコントローラ - 特許庁

MASS FLOW RATE CONTROLLER例文帳に追加

質量流量制御装置 - 特許庁

MONITOR SYSTEM FOR MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

マスフローコントローラ用モニターシステム - 特許庁

INTEGRATION TYPE MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

集積タイプのマスフローコントローラ - 特許庁

MASS FLOWMETER AND MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

質量流量計及びマスフローコントローラ - 特許庁

THERMAL MASS FLOW SENSOR AND MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

熱式質量流量センサ及びマスフローコントローラ - 特許庁

BODY STRUCTURE FOR MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

マスフローコントローラ用ボディ構造 - 特許庁

CORIOLIS MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

コリオリ質量流量コントローラ - 特許庁

MOUNTING STRUCTURE OF MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

マスフローコントローラの取付構造 - 特許庁

FLUID MASS FLOW RATE CONTROLLER例文帳に追加

流体質量流量コントローラ - 特許庁

MASS FLOW CONTROLLER, MASS FLOW CONTROLLER SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND GAS FLOW RATE ADJUSTMENT METHOD例文帳に追加

マスフローコントローラ、マスフローコントローラシステム、基板処理装置およびガス流量調整方法 - 特許庁

FLOW SENSOR FOR MASS FLOW CONTROLLER, AND METHOD OF MANUFACTURING FLOW SENSOR例文帳に追加

マスフローコントローラ用フローセンサおよびフローセンサの製造方法 - 特許庁

MASS FLOW RATE MEASURING METHOD AND MASS FLOW RATE CONTROLLER例文帳に追加

質量流量測定方法および質量流量制御装置 - 特許庁

HIGH PURITY CORIOLIS MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

高純度のコリオリ質量流量コントローラ - 特許庁

FLOW RATE CONTROL COMPENSATION METHOD FOR MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

質量流量制御装置の流量制御補正方法 - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR CALIBRATING MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

マスフローコントローラの校正方法及びその装置 - 特許庁

ELECTRIC VALVE, MASS FLOW CONTROLLER AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS例文帳に追加

電動バルブ、マスフローコントローラおよび基板処理装置 - 特許庁

MASS FLOW CONTROLLER EQUIPPED WITH SENSOR FOR PRIMARY SIDE PRESSURE例文帳に追加

一次側圧力のセンサを具えたマスフローコントローラ - 特許庁

METAL DIAPHRAGM VALVE AND MASS-FLOW CONTROLLER USING THIS VALVE例文帳に追加

メタルダイアフラム弁及びそれを用いたマスフローコントローラ - 特許庁

MASS FLOW CONTROLLER AND ITS REGULATION METHOD例文帳に追加

質量流量制御装置及びこの調整方法 - 特許庁

MASS FLOW RATE CONTROLLER AND GAS SUPPLY UNIT例文帳に追加

質量流量制御装置及びガス供給ユニット - 特許庁

To detect faults in a mass flow controller without providing a gas flow meter in piping where the mass flow controller is located.例文帳に追加

マスフローコントローラが設置された配管にガス流量計を設けなくてもマスフローコントローラの異常を検出することができるようにする。 - 特許庁

FLUID SUPPLY MECHANISM USING INTEGRATED-TYPE MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構 - 特許庁

To provide a semiconductor manufacturing device capable of inspecting a mass flow controller with the mass flow controller connected.例文帳に追加

マスフローコントローラを接続したままで、マスフローコントローラの検査を行なうことが可能な半導体製造装置を提供すること。 - 特許庁

FLOWMETER USING MOUSE, AND METHOD FOR CALIBRATING MASS FLOW CONTROLLER例文帳に追加

マウスを用いた流量計及びマスフローコントローラの校正方法 - 特許庁

SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS MOUNTED WITH MASS-FLOW-RATE CONTROLLER HAVING FLOW-RATE TESTING FUNCTION例文帳に追加

流量検定機能付質量流量制御装置を搭載した半導体製造装置 - 特許庁

To provide a mass flow controller which can perform flow control with a wide dynamic range.例文帳に追加

広いダイナミックレンジの流量制御を行うことができるマスフローコントローラを提供する。 - 特許庁

OXYGEN CONCENTRATION DEVICE FOR MEDICAL TREATMENT EQUIPPED WITH THERMAL MASS FLOW RATE CONTROLLER例文帳に追加

熱式質量流量コントローラを装備した医療用酸素濃縮器 - 特許庁

The pulse valve 2, the mass flow controller 3, and the back pressure controller 4 are connected to a controller 5, and their operations are controlled by this controller 5.例文帳に追加

パルスバルブ２、マスフローコントローラ３および背圧制御装置４は、コントローラ５に接続され、該コントローラ５により動作制御される。 - 特許庁

A mass flow controller includes a thermal mass flow sensor in combination with a pressure sensor to provide a mass flow controller that is relatively insensitive to fluctuations in input pressure.例文帳に追加

質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。 - 特許庁

MASS FLOW CONTROLLER SYSTEM, PLASMA PROCESSING APPARATUS, FLOW RATE CONTROL METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

マスフローコントローラシステム、プラズマ処理装置、流量制御方法、及び半導体装置の製造方法 - 特許庁

In the bypass loop, a flow sensor like a digital mass flow controller is placed.例文帳に追加

バイパス・ループ内にはデジタル質量流量コントローラのような流量検出器が配置される。 - 特許庁

To avoid a signal showing the controlled variable of a mass flow controller including an overshoot signal even when performing stepwise opening operation to the mass flow controller.例文帳に追加

マスフローコントローラに対してステップ状の開操作を行っても、マスフローコントローラの制御量を示す信号にオーバーシュート信号が含まれないないこと。 - 特許庁

The liquid feed tube 34 is provided with a vaporizer 22 and an MFC (mass flow controller) 24.例文帳に追加

液供給管３４には気化器２２とＭＦＣ２４とが配設される。 - 特許庁

MASS FLOW RATE CONTROLLER, ASSAY METHOD THEREFOR, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT例文帳に追加

質量流量制御装置、その検定方法及び半導体製造装置 - 特許庁

To provide a mass flow controller whose temperature control is easy and whose reliability is high.例文帳に追加

温度制御が容易で信頼性の高いマスフローコントローラを提供する。 - 特許庁

To provide a mass flow controller which exhibits PI performance by use of the mechanical structure of a conventional mass flow controller without providing a primary pressure sensor.例文帳に追加

一次側圧力センサを設けることなく、従来のマスフローコントローラの機械構成を用いてＰＩ性能を発揮するマスフローコントローラを提供する。 - 特許庁

A mass flow controller has a flow sensor 4a arranged in a channel 6a, and the valve 5a for controlling the flow rate of fluid.例文帳に追加

マスフローコントローラは、流路６ａに配置されたフローセンサ４ａと、流体の流量を制御するバルブ５ａとを有する。 - 特許庁

A reference mass flow controller 70 is arranged in a by-pass loop for receiving a gas flow from one controller among a plurality of mass flow controllers 12 - 18 similarly associated with a plurality of gases.例文帳に追加

基準マス・フロー・コントローラ７０は、同様に複数の供給ガスに関連付けられた複数のマス・フロー・コントローラ１２〜１８の１つからガス・フローを受け取るためにバイパス・ループに配設される。 - 特許庁

MASS FLOW CONTROLLER, FLOW RATE CONTROL METHOD, LIQUID- PHASE MATERIAL EVAPORATION AND SUPPLY DEVICE AND THIN FILM FORMATION APPARATUS例文帳に追加

マスフローコントローラ、流量制御方法、液相材料気化供給装置および薄膜形成装置 - 特許庁

A mass flow controller 2 is provided at the gas introduction piping 20 and regulates the flow rate of the process gas.例文帳に追加

マスフローコントローラ２は、ガス導入配管２０に設けられており、プロセスガスの流量を調整する。 - 特許庁

To provide a mass-flow controller with excellent responsiveness, compatibility and reproducibility, etc., in a low flow area.例文帳に追加

低流量域における応答性、互換性、再現性などに優れたマスフローコントローラを提供する。 - 特許庁

The gas flows passing through the selected mass flow controllers 12 -18 also pass through the reference mass flow controller 70 as the gas flows to a vent.例文帳に追加

選択されたマス・フロー・コントローラ１２〜１８を通るガス・フローも通気口へのガス・フローとして基準マス・フロー・コントローラ７０を通る。 - 特許庁

An arc welding apparatus 1 is provided with a gas passage which has a mass flow controller 31, and supplies gas to a welding torch 7 from a gas cylinder 30 via the mass flow controller 31.例文帳に追加

マスフローコントローラ３１を有し、ガスシリンダ３０からマスフローコントローラ３１を経由して溶接トーチ７へと供給するためのガス通路を備えるアーク溶接装置１である。 - 特許庁