「mass flow controller」に関連した英語例文の一覧と使い方(2ページ目) - Weblio英語例文検索

The mass flow controller 3 is equipped with a flow meter 3a and a variable flow valve 3b, and the back pressure controller 4 is equipped with a pressure gauge 4a1 and a pressure control valve 4b.例文帳に追加

マスフローコントローラ３は、流量計３ａおよび可変流量バルブ３ｂを備え、背圧制御装置４は、圧力計４ａ１および圧力制御バルブ４ｂを備える。 - 特許庁

To provide a method for providing accurate mass flow controller flow-rate data for a non-manufacturing adjustment gas.例文帳に追加

非製造調整ガスについての正確な質量流量コントローラ流量データを提供する方法を提供すること。 - 特許庁

By ejecting the filled gas, the flow rate insufficient singly with the mass flow controller 31 can be supplemented.例文帳に追加

充填されたガスが噴出されることにより、マスフローコントローラ３１単体で不足するガス流量を補うことができる。 - 特許庁

The raw material gas passed through a MFC (mass flow controller) from the supply line flows to an exhaust line and does not flow to an in-reactor supply line.例文帳に追加

供給ラインからＭＦＣを通過した原料ガスは排気ラインに流れ、炉内供給ラインには流れない。 - 特許庁

A mass-flow meter 4 is arranged in a supply system of the constituent gas, and according to a signal equivalent to a measurement error by this mass-flow meter 4, measurement sensitiveness of a mass flow controller 2 for the gas constituent is corrected.例文帳に追加

成分ガスの供給系にマスフローメータ４を設置するとともに、このマスフローメータ４による測定の誤差に相当する信号により成分ガス用のマスフローコントローラ２の測定感度を補正するようにしたものである。 - 特許庁

Feedback control of dry gas mass flow rate measurement control including measurement of the dry gas mass flow rate Qpv of a mass flow rate controller 2, humidified gas pressure measurement control, and humidified gas measurement control, is executed.例文帳に追加

質量流量コントローラ２の乾燥ガス質量流量Ｑｐｖの計測を含めた乾燥ガス質量流量計測制御、加湿ガス圧力計測御御、加湿ガス温度計測制御のフィードバック制御を実行する。 - 特許庁

To provide a mass flow controller which can precisely control a flow rate with respect to a plurality of types of flow rate zones, for example to the flow rate zones of about 100 ccm and 10 ccm by a single controller.例文帳に追加

１台で複数種類の流量ゾーン、例えば１００ｃｃｍ程度と１０ｃｃｍ程度の流量ゾーンに対して精度良く流量制御を行なうことができるマスフローコントローラを提供する。 - 特許庁

To provide a Coriolis mass flow controller which has improved a measuring method for tube displacement.例文帳に追加

チューブ変位の測定方法を改善したコリオリ質量流量計測装置を提供する。 - 特許庁

To provide a mass flow controller that substantially eliminates sensitivity to pressure variations.例文帳に追加

圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。 - 特許庁

A gas solenoid valve 33 is provided in the gas passage between the mass flow controller 31 and the welding torch 7.例文帳に追加

ガス電磁弁３３をマスフローコントローラ３１と溶接トーチ７の間のガス通路に設ける。 - 特許庁

Consequently the mass flow controller (MFM 2') 102' can be inspected with it connected.例文帳に追加

したがって、マスフローコントローラ（ＭＦＭ２’）１０２’を接続したままで検査を行なうことが可能となる。 - 特許庁

The means for mass exchange of the cooling medium includes a mass flow controller for the cooling medium outgoing from the internal vessel, a controller for the instantaneous pressure within the internal vessel, and a delay circuit to introduce a given time delay to the operation of the mass flow controller.例文帳に追加

この冷媒の質量交換用の手段は、内部容器から出る冷媒用の質量流量制御装置と、内部容器内の瞬時圧力の制御装置と、質量流量制御装置の動作に所定時間遅れをもたらす遅延回路とを含む。 - 特許庁

One of a plurality of purge additive transport lines is connected between an ampoule and a liquid mass flow controller, the second one is connected between the liquid mass flow controller and an evaporator, and the third one is connected to the evaporator.例文帳に追加

複数の該パージ添加剤輸送ラインの1つはアンプルと液体マスフローコントローラ間に接続し、他の1つは該液体マスフローコントローラと蒸発器間に接続し、3つ目は該蒸発器に接続している。 - 特許庁

The control unit 6 receives flow rate data indicating the flow rate of the process gas from the mass flow controller 2 and determines the presence or absence of faults at the mass flow controller 2 based on the flow rate data and an extent of fluctuation of the values detected by the pressure gauge 4 when a high-frequency is inputted to an electrode.例文帳に追加

また制御部６は、マスフローコントローラ２からプロセスガスの流量を示す流量データを受信し、流量データと、電極に高周波が入力されたときの圧力計４の検出値の変動量に基づいて、マスフローコントローラ２の異常の有無を判断する。 - 特許庁

Optimal humidity is obtained by measuring the temperature and the flow rate of oxygen gas and employing a microprocessor and a mass flow controller.例文帳に追加

温度と供給酸素ガス流量を計測して、マイクロプロセッサーとマスフローコントローラーを採用することにより、最適加湿を得る。 - 特許庁

To provide a mass flow controller capable of controlling a stable flow rate without being affected by pressure fluctuation in a primary side.例文帳に追加

一次側の圧力変動に影響されず、安定した流量制御を行なうことができるマスフローコントローラを提供すること。 - 特許庁

To provide a flow controller capable of controlling the mass flow with higher accuracy within a flow control range wider than conventional ranges.例文帳に追加

従来よりもさらに広い流量制御範囲において、さらに高い精度で質量流量の制御を行うことのできる流量制御装置を提供する。 - 特許庁

To provide a flow rate controlling valve allowed to be integrated into a mass flow controller without requiring complicated adjusting work even when individual characteristics are different and capable of controlling the open/close of a gas passage and the mass flow controller using the valve.例文帳に追加

個々の特性が異なっていても煩雑な調節作業を必要とせずにマスフローコントローラに組み込むことができると共にガス流路の開閉制御を可能とする流量制御バルブとこれを用いたマスフローコントローラを提供する。 - 特許庁

The flow sensor detects one or more gas flow measurements from the mass flow controller, then the data from these one or more measurements are used to provide information on correctness and/or accuracy of the mass flow controller.例文帳に追加

流量検出器は質量流量コントローラから１つまたは複数の気体流量測定値を検出し、このような１つまたは複数の測定値からのデータは質量流量コントローラの正確さおよび／または精度に関する情報を提供するために利用される。 - 特許庁

To provide a mass flow controller system combining miniaturization of the apparatus and corrosion resistance against corrosive gas.例文帳に追加

装置の小型化と腐食性ガスに対する耐腐食性を兼ね備えたマスフローコントローラシステムを提供する。 - 特許庁

A system and method for controlling the mass flow controller to have a constant control loop gain under a variety of different types of fluids and operating conditions, and for configuring the mass flow controller for operating with fluid and/or operating conditions different from that used during the production of the mass flow controller.例文帳に追加

さまざまな異なるタイプの流体および動作条件の下で一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを制御し、質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成するシステムおよび方法。 - 特許庁

To provide a mass flow controller for solving various problems caused by an external output flow rate value in a fully closed state.例文帳に追加

全閉状態における外部出力流量値に起因する種々の問題を解決することができるマスフローコントローラを提供する - 特許庁

A reaction gas 6 is introduced into the reaction chamber 1 through a gas inlet 8, while the flow rate of the gas 6 is controlled by means of a mass flow controller 7.例文帳に追加

反応性ガス６はマスフローコントローラ７によって流量制御され、ガス導入口８より反応室１内へ導入される。 - 特許庁

Unlike an existing proximity sensor, the gas gauge proximity sensor of the present invention replaces the use of a mass flow controller with the choked flow orifice.例文帳に追加

現在の近接センサとは異なり、本発明のガスゲージ近接センサは、マスフローコントローラの代わりにチョークドフローオリフィスを使用している。 - 特許庁

A gas supply system to supply gas into a reaction chamber 1 is provided with a pulse valve 2, a mass flow controller 3, and a back pressure controller 4.例文帳に追加

反応室１内にガスを供給するガス供給系に、パルスバルブ２、マスフローコントローラ３および背圧制御装置４を設ける。 - 特許庁

To easily and accurately measure any real gas other than nitrogen by using a pressure type flow rate controller calibrated based on nitrogen gas, and be easily replaced with a thermal type flow rate controller(mass flow controller).例文帳に追加

窒素ガスに基づいて校正をした圧力式流量制御装置を用いて窒素以外の実ガスを簡単且つ正確に測定できるようにすると共に、熱式流量制御装置（マスフローコントローラ）とも容易に取り替えできるようにする。 - 特許庁

To provide a mass flow controller which is simple in configuration and nevertheless can perform flow control while confirming whether the flow rate is appropriately controlled.例文帳に追加

は簡単な構成でありながら、流量の制御が適正に行われているかどうかを確認しながら流量制御を行うことができるマスフローコントローラを提供する。 - 特許庁

(2) The test device of the fuel cell comprises in order of gas flow direction a mass flow-rate controller 2, a humidifier 3, a volume type flowmeter 7, and an arithmetic device 8 to obtain a moisture content by reducing the flow-rate value of the mass flow-rate controller 2 from the flow-rate value of the volume type flowmeter 7.例文帳に追加

（２）本発明の燃料電池の試験装置は、ガス流れ方向に順に、質量流量コントローラー２、加湿器３、体積式流量計７と、体積式流量計７の流量値から質量流量コントローラー２の流量値を減算して水分量を求める演算装置８と、を有する。 - 特許庁

To provide a method for monitoring or calibrating a gas flow rate passing through a mass flow controller, and a device thereof in a semiconductor fabrication process.例文帳に追加

半導体製造プロセスにおいてマス・フロー・コントローラを通るガス流量を監視または較正するための方法および装置を提供する。 - 特許庁

To provide a flowmeter and a mass flow controller capable of preventing the generation of particles caused by the contact of a float with an inner wall surface of a flow channel.例文帳に追加

フロートの流路内壁面への接触によるパーティクルの発生を防止することができる流量計およびマスフローコントローラを提供する。 - 特許庁

To enable a mass flow controller which copes with two or more kinds of gas to be actually used and two or more flow rate ranges, to be changed in the specifications, after product shipment.例文帳に追加

製品出荷後に複数種類の実使用ガスと複数の流量レンジに対応したマスフローコントローラに仕様変更を可能とすること。 - 特許庁

By providing a mass flow controller 34 in the flow passage 30 on the downstream side of the second opening/closing valve 31, the injection amount can be accurately measured.例文帳に追加

第２開閉弁３１の下流側の流路３０に質量流量計３４を設けることにより噴射量を正確に測定できる。 - 特許庁

To confirm operation of a flow control part such as a mass flow controller (MFC) controlling the flow of the liquid source without separating the flow control part from a liquid source feed passage in a film processing device using vaporized liquid source.例文帳に追加

液体ソースを気化して成膜処理を行う装置において、液体ソースの流量制御部例えばマスフローコントローラ（ＭＦＣ）の動作確認を液体ソースの供給路から切り離さずに行うこと。 - 特許庁

The electronic controller employs the measured pressure to compensate the measured inlet flow rate and to thereby produce a compensated measure of the outlet flow rate, which may be used to operate a mass flow controller control valve.例文帳に追加

電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 - 特許庁

The electronic controller employs the measured pressure to compensate the measured inlet flow rate and to thereby produce a compensated measure of the outlet flow rate, which is used to operate a mass flow controller outlet valve.例文帳に追加

電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 - 特許庁

The dividing system 10 divides a single gas flow into a plurality of secondary flow paths Q1, Q2 by a prescribed ratio, and includes: (pressure type) mass flow controllers 14, 16 respectively arranged in the secondary flow paths Q1, Q2; and a common controller 12 connected to the (pressure type) mass flow controllers 14, 16.例文帳に追加

分流システム１０は、単一のガス流を複数の二次流路Ｑ１，Ｑ２に所定の比率で分流させるもので、二次流路Ｑ１，Ｑ２にそれぞれ（圧力式）マスフローコントローラ１４，１６と、これらの（圧力式）マスフローコントローラ１４，１６に接続された共通のコントローラ１２とを具えている。 - 特許庁

The controller uses readings of the temperature difference between the two temperature sensors at one or more mass flow rates in order to estimate the temperature difference between the two temperature sensors at an infinite mass flow rate.例文帳に追加

コントローラは、無限質量流量における２つの温度センサ間の温度差を推定するために、１つ又は複数の質量流量における２つの温度センサの温度差の読み取り値を使用する。 - 特許庁

The one or more non-manufacturing adjustment gas correction algorithm parameters may be stored in the mass flow controller memory and subsequently used in at least one future mass flow controller operation involving the non-manufacturing adjustment gas.例文帳に追加

１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータは、質量流量コントローラメモリに保存されてもよく、その後に非製造調整ガスを伴う少なくとも１つの将来の質量流量コントローラ動作において使用されてもよい。 - 特許庁

To provide a mass flow rate controller capable of miniaturizing the entire device and substantially reducing an occupancy area especially.例文帳に追加

装置全体を小型化して、特に占有面積を大幅に削減することが可能な質量流量制御装置を提供する。 - 特許庁

The provision of a bypass or exhaust maintains the pressure of the gas received from the mass flow controller at a substantially constant level.例文帳に追加

バイパス又は排出口の設置は、マスフローコントローラーから受け入れるガスの圧力を実質的に一定の水準に維持する。 - 特許庁

According to the embodiment, a mass flow controller 100 includes a gas passage composing member 110, a flow rate adjustment part 130, a displacement magnitude storage part 144 and a setting circuit 145.例文帳に追加

実施形態によれば、マスフローコントローラ１００は、ガス流路構成部材１１０と、流量調整部１３０と、変位量記憶部１４４と、設定回路１４５と、を備える。 - 特許庁

The CPU 502 controls the mass flow controller 204 in such a way that the measured values measured by the gas flowmeters are equal to a set value to always maintain a stable gas flow rate.例文帳に追加

ガス流量計で測定された測定値が設定値を等しくなるようＣＰＵ５０２からマスフローコントローラー２０４を制御して、常に安定なガス流量を維持する。 - 特許庁

To provide a fluid mass flow rate controller which never causes the clogging at a flow rate detection part, has high heat resistance and can control even a large flow rate with high accuracy.例文帳に追加

検出部分に目詰まりが生ずることがなく、耐熱性が高く、流量の多い場合においても精度良く流量制御を行うことの可能な流体質量流量コントローラを提案すること。 - 特許庁

To provide a flow sensor for mass flow controller capable of eliminating the generation of a measuring error generated by influence of thermal agitation and inexpensively reducing dispersion, and a method of manufacturing the flow sensor.例文帳に追加

熱擾乱の影響によって生じる測定誤差の発生を無くすと共に、安価にてばらつきを少なくすることができるマスフローコントローラ用フローセンサおよびフローセンサの製造方法を提供する。 - 特許庁

When an injection amount of the mixed gas is increased, a control section 50 transmits a control signal to a mass flow controller 33 to increase a flow rate of a combustible gas to a target flow rate after the increase, and then transmits a control signal to mass flow controllers 23a, 23b to gradually increase a flow rate of a susceptible gas toward a target flow rate after the increase.例文帳に追加

制御部５０は、混合ガスの噴出量を増加するときには、マスフローコントローラ３３に制御信号を送信して可燃性ガスの流量を増加後の目標流量にまで増加させた後に、マスフローコントローラ２３ａ、２３ｂに制御信号を送信して支燃性ガスの流量を増加後の目標流量に向けて徐々に増加させる。 - 特許庁