「wtb」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

Further, measuring devices in use are changed according to the position information on the table WTB.例文帳に追加

さらに、テーブルＷＴＢの位置情報に応じて、使用する計測装置を切り換える。 - 特許庁

The controller uses two Z heads ZsR and ZsL located on the reflection surfaces 39Y_1 and 39Y_2 which are provided at ±X end of a table WTB, and it measures the height and inclination of the table WTB.例文帳に追加

制御装置は、テーブルＷＴＢの±Ｘ端部に設置された反射面３９Ｙ_1，３９Ｙ_2上に位置する２つのＺヘッドＺｓＲ，ＺｓＬを用いて、テーブルＷＴＢの高さと傾斜を計測する。 - 特許庁

Further, the table WTB is driven based upon the position information on the table WTB obtained using the encoder system and correction information on a measurement error due to a tilt of the table included in the position information.例文帳に追加

さらに、エンコーダシステムを用いて得られるテーブルＷＴＢの位置情報と、位置情報に含まれるテーブルの傾斜に起因する計測誤差の補正情報と、に基づいて、テーブルＷＴＢを駆動する。 - 特許庁

In an exposure device which employs immersion exposure, an immersion region ALq formed of a liquid supplied to between a wafer table WTB and a projection optical system PL may possibly pass over heads 60A to 60D mounted on the wafer table WTB as the wafer table WTB holding a wafer W moves.例文帳に追加

液浸露光方式の露光装置では、ウエハＷを保持するウエハテーブルＷＴＢが移動することによって、ウエハテーブルＷＴＢと投影光学系ＰＬとの間に供給される液体によって形成される液浸領域ＡＬｑが、ウエハテーブルＷＴＢに搭載されたヘッド６０Ａ〜６０Ｄ上を通過することがある。 - 特許庁

A plurality of sensor heads 74_1-74_5 and 76_1-76_5 of a surface position measuring system measure the positional information of a wafer table WTB in the Z-axis direction by applying light to measuring areas 39Y_1 and 39Y_2 of the wafer table WTB from the upper side.例文帳に追加

面位置計測システムの複数のセンサヘッド７４_1〜７４_5、７６_1〜７６_5は、ウエハテーブルＷＴＢの計測対象領域３９Ｙ_1，３９Ｙ_2に対して上方から光を照射してウエハテーブルＷＴＢのＺ軸方向の位置情報を計測する。 - 特許庁

The sensor heads are set on the wafer table WTB according to an operation range of the measuring areas.例文帳に追加

そして、複数のセンサヘッドの配置は、ウエハテーブルＷＴＢ上の、計測対象領域の動作範囲に応じて設定されている。 - 特許庁

The position information is corrected using the correction information, and the table WTB is driven with high precision based upon the corrected position information.例文帳に追加

従って、補正情報を用いて位置情報を補正し、補正された位置情報に基づいて高精度にテーブルＷＴＢを駆動することが可能になる。 - 特許庁

The Z head to be used is changed over from ZsR and ZsL to ZsR' and ZsL (or ZsR and ZsL') according to the XY position of the table WTB.例文帳に追加

テーブルＷＴＢのＸＹ位置に従って、使用するＺヘッドをＺｓＲ，ＺｓＬからＺｓＲ’，ＺｓＬ（あるいはＺｓＲ，ＺｓＬ’）に切り換える。 - 特許庁

Position information on the wafer table WTB is measured on the basis of measured values of heads where no remaining liquid is detected among the plurality of heads.例文帳に追加

そして、複数のヘッドのうち、液体の残留が検出されなかったヘッドの計測値に基づいて、ウエハテーブルＷＴＢの位置情報を計測する。 - 特許庁

A stage device has a first stage which holds an object W by a holder WTB and moves, and a second stage which can move in a moving direction of the first stage.例文帳に追加

ホルダーＷＴＢにより対象物Ｗを保持して移動する第１ステージと、第１ステージの移動方向に移動可能な第２ステージとを有する。 - 特許庁

When a best focus position of an optical system PL is measured during the control, the control unit continues position (Z, θy) control over a table WTB without switching Z heads used for the position (Z, θy) control over the table WTB, and acquires measured values of Z heads 74_i and 76_j in order.例文帳に追加

この制御中に、光学系ＰＬのベストフォーカス位置の計測を行う場合には、制御装置は、テーブルＷＴＢの位置（Ｚ、θｙ）制御に用いるＺヘッドを切り換えることなく、テーブルＷＴＢの位置（Ｚ、θｙ）制御を続行するとともに、Ｚヘッド７４_i、７６_jの計測値を順次取り込む。 - 特許庁

Measurement light beams Lx1 and Ly2 are made incident on a grating provided on an upper surface of the table WTB through one side face thereof from light sources 16Xa and 16Ya constituting an encoder system, and optical detectors 16Xb and 16Yb receive diffracted light beams Lx2 and Ly2 originating from those measurement light beams to measure position information on the table WTB.例文帳に追加

エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａから、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂを用いて受光して、テーブルＷＴＢの位置情報を計測する。 - 特許庁

A stage WTB driven in a first direction by a first drive signal and driven in a second direction intersecting with the first direction by a second drive signal is controlled.例文帳に追加

第１駆動信号により第１方向に駆動されるとともに、第２駆動信号により第１方向と交差する第２方向に駆動されるステージＷＴＢを制御する。 - 特許庁

Then, by receiving interference light of a first polarized component returned from the grating and a second polarized component reflected by the PBS, positional information of the wafer table WTB is measured.例文帳に追加

そして、グレーティングから戻ってきた第１の偏光成分と、ＰＢＳで反射された第２の偏光成分との干渉光を受光することにより、ウエハテーブルＷＴＢの位置情報を計測する。 - 特許庁

Therefore, even when the measuring area on the wafer table WTB are located at any position within the operating range, the surface measuring system can measure the positional information of the wafer table in the Z-axis direction.例文帳に追加

従って、ウエハテーブルＷＴＢ上の計測対象領域が動作範囲内の如何なる位置にあっても、面位置計測システムでは、ウエハテーブルのＺ軸方向の位置情報を計測することが可能となる。 - 特許庁

The controller uses two Z heads ZsR and ZsL located on the reflection surfaces 39Y_1 and 39Y_2 which are provided at ±X end of the upper surface of a wafer table WTB, and it measures the height and inclination of the wafer table.例文帳に追加

制御装置は、ウエハテーブルＷＴＢ上面の±Ｘ端部に設置された反射面３９Ｙ_1，３９Ｙ_2上に位置する２つのＺヘッドＺｓＲ，ＺｓＬを用いて、ウエハテーブルの高さと傾斜を計測する。 - 特許庁

A control unit performs position control in a Z-axial direction orthogonal to an XY plane of a table WTB and a direction (a θy direction) oblique to the XY plane based upon measured values of a plurality of Z heads 72a to 72d.例文帳に追加

制御装置は、複数のＺヘッド７２ａ〜７２ｄの計測値に基づいて、テーブルＷＴＢのＸＹ平面に直交するＺ軸方向及びＸＹ平面に対する傾斜方向（θｙ方向）の位置制御を実行する。 - 特許庁

In the collision prevention means, physical hazard objects 190, 170, 180 and 200 are provided labyrinthically along a path in which substrate tables WTa and WTb are moved from a working zone 20 to a working zone 30 or vice versa so that only correct path can be passed through.例文帳に追加

この衝突防止手段は、基板テーブルＷＴａ、ＷＴｂが作業区域２０から３０へ、またはその逆に動く経路に沿って物理的障害物、１９０、１７０、１８０、２００を迷路状に設けて適正な経路以外は通行できなくする。 - 特許庁

Laser beams (Ly1, Ly2, or the like) emitted by encoder bodies (16Ya, 16Yb, or the like) enter a wafer table WTB via a PBS 18 from the outside, reach a grating 24 at a point IAa located directly under an exposure area IA, and are diffracted by the grating.例文帳に追加

エンコーダ本体（１６Ｙａ，１６Ｙｂ等）から射出されるレーザ光（Ｌｙ１，Ｌｙ２等）は、ウエハテーブルＷＴＢにＰＢＳ１８を介して外部から入射し、露光領域ＩＡの直下に位置する点ＩＡａにて、グレーティング２４に到達し、該グレーティングで回折される。 - 特許庁

This collision preventing preventing means provides the substrate tables WTa, WTb to the work areas 30 from 20 or provides, on the contrary, physical obstacles 190, 170, 180 just like a maze along the moving route, disabling the moving on the route other than the adequate routes.例文帳に追加

この衝突防止手段は、基板テーブルＷＴａ、ＷＴｂが作業区域２０から３０へ、またはその逆に動く経路に沿って物理的障害物、１９０、１７０、１８０、２００を迷路状に設けて適正な経路以外は通行できなくする。 - 特許庁

The first stage has a moving part 70 which can move the object W in a direction substantially perpendicular to the surface of the object W through an opening 71 formed in the holder WTB, and the second stage has a driving mechanism 88 for driving the moving part 70.例文帳に追加

第１ステージは、ホルダーＷＴＢに形成された開口部７１を介して対象物Ｗを対象物Ｗの表面とほぼ直交する方向に移動可能な移動部７０を有し、第２ステージは、移動部７０を駆動させる駆動機構８８を有している。 - 特許庁

The stage device (WTB) comprises: a piston 115 and a cylinder 116 that are connected to a channel leading to a holding surface 40, and have variable volume; and a coil made of a shape memory alloy 118 for changing the volume in the cylinder 116, by moving either the piston 115 or the cylinder 116.例文帳に追加

ステージ装置（ＷＴＢ）は、保持面（４０）に通じる流路に接続され、可変する容積を有するピストン（１１５）とシリンダ（１１６）と、ピストン（１１５）とシリンダ（１１６）とのいずれか一方を動かしてシリンダ（１１６）内の容積を変える形状記憶合金（１１８）でできたコイルと、を備える。 - 特許庁

Correction data for correcting a measurement error of the encoder system are generated using an interferometer system, a measurement result of the encoder system is corrected using the correction data, and the table WTB is driven based upon the corrected measurement result, so the highly precise driving control over the table is performed.例文帳に追加

干渉計システムを用いてエンコーダシステムの計測誤差を補正する補正データを作成し、その補正データを用いてエンコーダシステムの計測結果を補正し、補正された計測結果に基づいてテーブルＷＴＢを駆動することができるので、高精度なテーブルの駆動制御が可能となる。 - 特許庁

Further, the operation state of the encoder system is diagnosed and reliability of the measured position information is verified to perform switching from the encoder system to an interferometer system according to results thereof, thereby performing driving control over the table WTB based upon position information measured using the interferometer system.例文帳に追加

さらに、エンコーダシステムの作動状態を診断し、また計測された位置情報の信頼性を検証し、それらの結果に応じて、エンコーダシステムから干渉計システムへ切り換え、干渉計システムを用いて計測される位置情報に基づいてテーブルＷＴＢを駆動制御する。 - 特許庁

When the table WTB is positioned in a second region including the detection center ALa of an alignment system ALG, a measurement light beam Ly2_2 is made incident on the grating from a light source 16Ya_2, and an optical detector 16Yb_2 received a diffracted light beam Ly2_2 to measure position information.例文帳に追加

テーブルＷＴＢがアライメント系ＡＬＧの検出中心を含む第２領域内に位置する際には、光源１６Ｙａ_２から計測光Ｌｙ２_２をグレーティングに入射させ、回折光Ｌｙ２_２を光検出器１６Ｙｂ_２を用いて受光して位置情報を計測する。 - 特許庁

The plurality of sensor heads for measuring the position of a stage WST moving in a predetermined plane, for example, Y heads 64 and 65 for measuring a Y position of the stage WST and Z heads 74 and 76 for measuring a surface position of an upper surface of the table WTB are disposed opposite the upper surface of the stage WST.例文帳に追加

所定平面内を移動するステージＷＳＴの位置を計測するために、ステージＷＳＴ上面に対向して複数のセンサヘッド、例えばステージＷＳＴのＹ位置を計測するＹヘッド６４，６５、テーブルＷＴＢ上面の面位置を計測するＺヘッド７４，７６、が配置されている。 - 特許庁