高真空場の英語

真空アーク蒸発源と磁気フィルタとを組み合わせた真空アーク蒸発装置において、磁気フィルタの磁場強度を高めてプラズマの輸送効率を高める場合にでも、ガス導入を行わなくても真空アーク蒸発源においてアーク放電の維持を可能にする。例文帳に追加

To maintain arc discharge in a vacuum arc evaporation source without introducing gas even in the case where the magnetic field intensity of a magnetic filter is raised to increase plasma transportation efficiency in a vacuum arc evaporation system constituted by combining the vacuum arc evaporation source and the magnetic filter. - 特許庁

真空チャンバー内に反応性ガスを供給すると共に高周波電源からインピーダンス整合器を介して真空チャンバー内に高周波電力を間欠的に繰り返し供給することにより、真空チャンバー内にプラズマを発生させる場合において、発生するプラズマの電子密度を安定させる。例文帳に追加

To stabilize the electron density of a plasma which is generated in a vacuum chamber by supplying reactive gas into the vacuum chamber and supplying a high frequency power into the vacuum chamber from a high fre quency power supply intermittently via an impedance matching device. - 特許庁

特に，以前に申請した可変ノズル．イジェクター真空ポンプもツインイジェクター化する事により真空使用量が少ない場合，高圧流体の使用量も少なく経済的な運用が可能になりツインイジェクター化で得られる大量の高真空はそのまま有効である。例文帳に追加

Especially, when amount of vacuum to be used is small by making a variable nozzle and the ejector vacuum pump into a twin ejector, the amount of high-pressure fluid to be used is reduced to allow an economical operation and a large amount of high vacuum obtained by making it into the twin ejector is effective as it is. - 特許庁

パッケージ内部を容易に高真空状態にできると共に、赤外線センサ等の受光センサを収容する場合には、パッケージ内部の高真空化と同時に集光レンズのフォーカス調整も行える構造の真空パッケージを提供する。例文帳に追加

To provide a vacuum package having such a structure as a high vacuum state can be brought about in the package easily and the focus of a condensing lens can be adjusted simultaneously when a light receiving sensor, e.g. an infrared sensor, is contained. - 特許庁

また電場発生手段は、磁場発生手段によって真空チャンバ内に生成される磁気中性線と直角を含む傾斜角方向に高周波電場を加えるように真空チャンバ内に配置される。例文帳に追加

The electric field generating means is arranged in the vacuum chamber so that the high frequency electric field may be applied in the inclined direction including right angles to the magnetic neutral conductor generated in the vacuum chamber by the magnetic field generating means. - 特許庁

複数の高周波電力を同時に印加して真空処理する場合のマッチング調整の操作性向上、マッチング条件の再現性の向上、マッチングの調整時間の短縮を可能とする真空処理方法、及び、真空処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a method for vacuum treatment, which can improve operability for matching adjustment, and reproducibility of the matching condition, and shorten adjusting time for matching, when performing vacuum treatment while applying several high-frequency powers at the same time, and provide an apparatus for vacuum treatment. - 特許庁

排気手段１１を所定の減圧能力に保持した状態で、真空容器１０内を排気し、所定の排気時間経過後の真空容器１０内の圧力が基準圧力値よりも高い場合に、真空容器１０内の蒸着物の除去を行う。例文帳に追加

When the inside of a vacuum vessel 10 is exhausted while an exhaust means 11 is held at a predetermined pressure-reducing capacity, and the pressure in the vacuum vessel 10 is higher than a standard pressure value after the passage of a predetermined exhaust time, vapor deposition substances in the vacuum chamber 10 are removed. - 特許庁

もしくは真空度を上げて減圧雰囲気に引き伸ばして薄くなったガラス壁が耐えられなくて破損する場合にはピペット先端にFIBデポ膜で硬い丈夫な凹凸のない滑らかな先端を作製し、これを用いて高い真空度でパーティクルを真空吸引する。例文帳に追加

Alternatively, when a glass wall expanded and thinned in a depressurized atmosphere by an increase in vacuum is not durable and broken, a smooth robust tip having no unevenness is formed of an FIB deposition film on the pipet tip, and this is used to vacuum-suck the particle. - 特許庁