スパッタ蒸着膜の英語

ＳｉＧｅ半導体薄膜を、スパッタ蒸着方法により作製する方法であって、ターゲット上に発生するプラズマの周辺に、高周波コイルを設置し、電流を流すことで、良質のプラズマを発生させて、スパッタ蒸着後の半導体特性が優れている薄膜を作製することからなるＳｉＧｅ半導体薄膜の作製方法、及びＳｉＧｅ薄膜。例文帳に追加

With regard to a method of producing an SiGe semiconductor thin film by sputter deposition, a high frequency coil is installed around plasma generated on a target, and a current is made to flow to generate high-quality plasma, thereby producing a thin film having excellent semiconductor characteristics after sputter deposition. - 特許庁

更にまた保護膜は例えば非金属の無機材料からなり、非金属の無機材料からなる膜は、スパッタ、蒸着、塗布または浸漬により形成することができる。例文帳に追加

Further, the protective film comprises, e.g., a non-metal inorganic material, and the film comprising the non-metal inorganic material can be formed, e.g., by sputtering, depositing, coating, or dipping. - 特許庁

プラズマエッチング耐性を有する被膜加工としては例えばアルマイト加工（アルミナイズ）であり、溶射法やスパッタ蒸着法によるＡｌコーティングとしている。例文帳に追加

As coating work having the plasma etching resistance, there is alumite work (aluminizing) for instance and Al coating is by a thermal spray method or a sputter vapor deposition method. - 特許庁

本願発明は、デポアップ型スパッタ蒸着において、基板を汚染することなく、また、オフセット成膜も可能である簡便な基板の固定器具を提供するものである。例文帳に追加

To provide a simple substrate fixing tool capable of performing offset film deposition without polluting a substrate in the deposit-up type sputtering vapor deposition. - 特許庁

薄い板状の誘電体シートを焼成してセラミック基板を作成し、その必要な面に、メッキ、スパッタ、蒸着等によって金属膜を形成する。例文帳に追加

A thin plate-like dielectric sheet is calcinated to create a ceramic substrate and a metal film is formed on its required surface by plating, sputtering, vapor deposition and the like. - 特許庁

この状態で、チタン酸化物を基材３の表面にスパッタ蒸着することで、基材３の上に水酸基を含むチタニアを主成分とする薄膜構造体を得る。例文帳に追加

In this state, titanium oxide is vapor-deposited on the surface of the substrate 3 by sputtering, by which a thin film structural body essentially consisting of titania contg. a hydroxyl group is obtd. on the substrate 3. - 特許庁

表面被覆層が超微粒組織およびすぐれた密着性を有する超硬合金スパッタ蒸着皮膜で構成された表面被覆超硬合金製ドリル例文帳に追加

SURFACE-COATED CEMENTED CARBIDE DRILL WITH SURFACE COATING LAYER COMPOSED OF SUPER-FINE GRAIN ORGANIZATION AND CEMENTED CARBIDE SPUTTER DEPOSITION FILM HAVING EXCELLENT ADHESION PROPERTY - 特許庁

表面被覆層が超微粒組織およびすぐれた密着性を有する超硬合金スパッタ蒸着皮膜で構成された表面被覆超硬合金製ドリルを提供する。例文帳に追加

To provide a surface-coated cemented carbide drill with a surface coating layer composed of a super-fine grain organization and a cemented carbide sputter deposition film having an excellent adhesion property. - 特許庁