プロセス配管の英語

チャンバ３と、原料ガス８をガス供給部１１に導入するプロセス配管５と、プロセス配管５の少なくとも一部を加熱するテープヒータ２１とを備える。例文帳に追加

The CVD system includes a chamber 3, process piping 5 for introducing a raw material gas 8 into a gas supply part 11, and a tape heater 21 for heating at least a portion of the process piping 5. - 特許庁

配管の減肉状態になったことを報知することでプロセス配管の破損を予防することができる流量計を提供する。例文帳に追加

To provide a flowmeter for informing a user of a state where a thickness of piping is reduced, and preventing the process piping from being damaged. - 特許庁

配管の内部を流れるプロセスガスを所定の温度に均一に加熱制御でき、しかもメンテナンスが容易であるばかりでなく、配管系を容易に変更できるようにしたプロセスガス搬送用配管及び成膜装置を提供する。例文帳に追加

To provide a process gas transfer piping capable of uniformly controlling the heating of process gas flowing through the inner part of piping to a prescribed temperature and also capable of easily changing a piping system as well as facilitating maintenance, and a film deposition system. - 特許庁

ＭＯＣＶＤ装置において、排気配管を取り外すことなく、排気配管の生成物をプロセスの影響のない領域まで移動させ、排気配管の有効な断面積を常に一定に保持する配管清掃機構を提供する。例文帳に追加

To provide a pipe-cleaning mechanism for an MOCVD apparatus to keep an effective cross-sectional area of exhaust piping constant at all times, by transferring a product produced in the exhaust piping to an area which is not affected by a process, without the need for removing the exhaust piping. - 特許庁

その後、ガス導入配管８に設置された励起用電源９により励起されたＮ_２、Ａｒ、Ｈｅなどの不活性ガスでプロセスおよびエッチングに関係のないガスをプロセスチャンバ４内に導入する。例文帳に追加

Thereafter, a gas having no relation with processes nor etching is introduced into the chamber 4 by using an inert gas of N2, Ar, He, etc., excited by means of a power source 9 for excitation installed to a gas introducing pipeline 8. - 特許庁

マスフローコントローラ２は、ガス導入配管２０に設けられており、プロセスガスの流量を調整する。例文帳に追加

A mass flow controller 2 is provided at the gas introduction piping 20 and regulates the flow rate of the process gas. - 特許庁

供給系の配管閉塞が生じることなく、プロセスガスの安定供給が可能な薄膜製造装置を提供する。例文帳に追加

To provide a thin-film manufacturing device capable of stably supplying a process gas without causing piping choking of a supply system. - 特許庁

給気配管を閉塞した状態で排気配管の開放状態を調節することにより、容器本体内部を定圧保持する定圧保持プロセスと、容器本体内部を減圧する減圧プロセスと、の１回以上の繰り返しを行う緊急プログラムを備える。例文帳に追加

The autoclave is provided with such an emergency program that both of the constant pressure keeping process for keeping the inside of the vessel body under constant pressure and the decompression process for decompressing the inside of the vessel body are repeated once or more while keeping the air intake pipeline in a closed state and the air discharge pipeline in an opened state. - 特許庁