荷電不純物の英語

本発明は、荷電粒子照射量のばらつきによる炭素不純物欠陥量のばらつきを防止できる半導体素子の製造方法を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a manufacturing method of a semiconductor element capable of preventing variations in an amount of carbon impurity defects due to variations in an amount of charged particle irradiation. - 特許庁

上記目的を達成するために、荷電粒子線による試料測定、或いは検査の後であって、次の半導体製造工程前に、試料上の不純物除去処理を行う装置を提供する。例文帳に追加

A device for removing the impure substances on a sample, after sample measurement or inspection by using charged particle beam, and before the following semiconductor manufacturing process, is provided. - 特許庁

本発明の目的は、電子顕微鏡の試料室等において付着する不純物を除去し、その後の製造プロセスへの悪影響を抑制し得る試料測定方法、及び荷電粒子線装置の提供にある。例文帳に追加

To provide a sample measuring method for removing impure substances adhered to a sample chamber of an electron microscope or the like, capable of restraining adverse effects to subsequent manufacturing processes, and to provide a charged particle apparatus. - 特許庁

本発明は、試料上に不純物を付着させることなく、試料を取り扱うことが可能な荷電粒子線装置を提供することを目的とするものである。例文帳に追加

To provide a charged particle beam device that can treat a sample without adherence of impurities onto the sample. - 特許庁

本発明は、試料上に不純物を付着させることなく、試料を取り扱うことが可能な荷電粒子線装置を提供することを目的とするものである。例文帳に追加

To provide a charged particle beam apparatus that is capable of handling samples without adhering impurities onto the samples. - 特許庁

さらに、所望の不純物導入量となるように、プラズマドーピングのパラメータにフィードバックする際に、荷電粒子の特性を測定しておき、その測定結果とガスの特性の測定結果を組合せて演算した結果をプラズマドーピングのパラメータにフィードバックすることを特徴とする。例文帳に追加

Further, when feedback is performed to the parameter of the plasma doping, in order to obtain desired amount of dopant introduction, property of charged particles is previously measured, and the measurement results of the charged particles and the gas property are combined and calculated. - 特許庁

洗浄液が有機酸を含むｐＨ４以下の酸性溶液であるため微粒子は基板表面と同じマイナスに荷電されるとともに有機酸の錯化効果により液中の金属不純物イオンはマイナスの錯イオンとなる。例文帳に追加

Since the cleaning solution is an acidic solution containing organic acid and has a pH value of 4 or less, the fine particles 13 are charged negatively similar to the surface of the substrate 11, and at the same time, the metallic impurity ions in the solution become negative complex ions due to the complexing effect of the organic acid. - 特許庁

環境負荷が問題となる元素を原料からの不可避不純物程度しか含まず、その使用目的に応じて調整されたマグネタイト相を主成分としたキャリア芯材を提供し、トナーの荷電制御が容易で安定した高画質が得ることができ、かつ高速現像を可能にする電子写真現像剤用キャリア電子写真現像剤を提供する。例文帳に追加

To provide a carrier core material which contains an element having a question with respect to environmental load by only the order of inevitable impurities from raw material and primarily comprises a magnetite phase adjusted according to the use purpose, and also to provide a carrier electrophotographic developer for electrophotographic developer, which easily makes charge control of toner, provides a stable high image quality, and permits high-speed development. - 特許庁