ALIGN MARKとは 意味・読み方・使い方

To align relative positions of a focus detecting area mark on a finder screen and a focus detection area in a focus detecting optical system with each other.例文帳に追加

ファインダ画面上の焦点検出エリアマークと焦点検出光学系における焦点検出エリアの相対位置を一致させる。 - 特許庁

To align while absorbing the local distortion of an inspecting workpiece, even when a pattern which serves as a positioning mark is not present.例文帳に追加

位置決めマークとなり得るようなパターンが存在しない場合でも、検査ワークの局所的な歪みを吸収しつつ位置合わせを行う。 - 特許庁

A sufficient contrast is secured between the alignment mark 1 and its surrounding environment, so that inspection and measurement facilities easily recognize the alignment mark 1 as a unique mark and then an error in alignment mark recognition is prevented to accurately align the wafer.例文帳に追加

アライメントマーク１とその周囲環境との間において十分なコントラストを確保できるため、検査・測定設備がアライメントマーク１をユニークマークとして容易に認識することができるので、アライメントマーク認識不良を防止してウェハのアライメントを正確に実施することができる。 - 特許庁

In the alignment mark Sm composed of a mask mark Mm given to a mask M having a specified pattern and of a work mark Wm given to a substrate W so as to align the mask and the substrate, the work mark is composed of a first reference mark Km_1 formed as penetrating the substrate and of a second reference mark Km_2 formed near the first reference mark and not penetrating the substrate.例文帳に追加

所定のパターンを備えるマスクＭに設けたマスクマークＭｍと、基板Ｗに設けたワークマークＷｍとにより前記マスクおよび前記基板の整合作業を行う整合マークＳｍにおいて、前記ワークマークは、その基板に貫通して形成した第一基準マークＫｍ_1と、この第一基準マークの近傍で前記基板に非貫通に形成した第二基準マークＫｍ_2とから構成される整合マークとした。 - 特許庁

To inexpensively form a mark showing the position of a probe to a cantilever with high precision, without laboring, and to accurately align the leading end position of the probe with the target measuring start position of a sample using the mark.例文帳に追加

探針の位置を示すマークを、手間をかけずに安価且つ高精度にカンチレバーに形成すると共に、該マークを利用して探針の先端位置を試料の狙った測定開始位置に対して正確に位置合わせすること。 - 特許庁

A mark for indicating mounting positions and directions of terminals of a plurality of circuit components on the circuit substrate is formed to align the direction of the circuit component indicated by the mark, so as to coincide with the solder dipping direction.例文帳に追加

回路基板上の複数の回路部品のマウント位置と回路部品の端子の方向とを表示するマークを設けて、マークによって表示される当該回路部品の当該方向を半田浸漬方向に合致するように揃える。 - 特許庁

To precisely align a relative position between an object to be transferred with a mark or pattern and a stamper without forming any alignment marks on the object to be transferred with a mark or pattern in an imprinting method and apparatus.例文帳に追加

インプリント方法及び装置において、被転写体にアライメントパターンを設けることなく、被転写体とスタンパとの相対位置を高精度に合わせることを可能にする。 - 特許庁

At this time, the aligning mark is detected with rough accuracy and only at the time of detecting large positional deviation over 20 nm, aligning mark is detected accurately to align the reticule and the wafer, based on the result.例文帳に追加

その際、位置合わせマークの検出を粗い精度で行い、20nmを超える大きな位置ずれが検出されたときにのみ、位置合わせマークの検出を高精度で行って、その結果に基づいてレチクルとウェハーの位置合わせを行う。 - 特許庁