HIGH-STEPPERとは 意味・読み方・使い方

To obtain an aberration measuring pattern of a stepper lens capable of measuring aberration characteristic evaluation in a short time at a high sensitivity by using an optical length measuring instrument of the lens.例文帳に追加

ステッパレンズの収差特性評価を光学測長機を用いて，高感度に短時間で測定することを可能としたステッパレンズの収差測定用パターンを提供すること。 - 特許庁

A double-faced polished cemented carbide is prepared as a base material and a high sensitivity photosensitive material is applied on the surface of the base material with a spinner and subjected to reduced exposure with a stepper using the mask without defocusing.例文帳に追加

母材料として両面研磨した超硬合金を用意し、その表面上に高感度感光性材料をスピンナーにて塗布し、そのマスクを用いてステッパーでデフォーカスなしで縮小露光する。 - 特許庁

To provide a method for electron beam lithography, which realizes high throughput and which can correspond to a variations in static warps and dynamic warps in a lower-layer exposure system, especially in a stepper projection printing system.例文帳に追加

下層露光装置、特に光縮小露光装置の静的歪み及び動的歪みの変化に対応した、高スループットな電子線描画方法を提供する。 - 特許庁

To properly contain a gas for preventing oxidation, by making the member of a mask stage of a stepper light in weight and of high rigidity for preventing generation of a gap between the substrate and the mask stage.例文帳に追加

露光装置用マスクステージの部材を軽量で高剛性のものとすることで、自重たわみによる基板とマスクステージの間の隙間が生ずることがなくなるようにして、良好に酸化防止用の気体を収容することが可能とする。 - 特許庁

This method can reduce the warp of the semiconductor wafer by the high fusing point metal, so this can reduce the faults in the subsequent patterning process for forming wiring, especially, in the exposure pattern by a stepper.例文帳に追加

本願の代表的な発明によれば、高融点金属膜による半導体ウエハの反りを低減できるので、以降の配線を形成するためのパターニング工程、特にステッパーによる露光工程においてフォーカスの不良を低減することができる。 - 特許庁

To provide a method for producing high purity barium nitrate useful for a raw material for optical glass, an optical cable, or a stepper; in which the concentrations of an alkali metal, a transition metal, especially Sr, Ca, Cl, are several ppm or below, and the concentration of Fe is reduced to 100 ppb or below.例文帳に追加

アルカリ金属、遷移金属、特にＳｒ、Ｃａ、Ｃｌ等が数ｐｐｍ以下で、且つＦｅが１００ｐｐｂ以下まで低減された光ケーブル、ステッパー等の光学ガラスの原料として有用な高純度硝酸バリウムの製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for producing high purity barium carbonate useful for a raw material for optical glass, an optical cable, or a stepper, in which the concentrations of an alkali metal, a transition metal, especially Sr, Ca, Cl, are several ppm or below, and the concentration of Fe is reduced to 100 ppb or below.例文帳に追加

アルカリ金属、遷移金属、特にＳｒ、Ｃａ、Ｃｌ等が数ｐｐｍ以下で、且つＦｅが１００ｐｐｂ以下まで低減された光ケーブル、ステッパー等の光学ガラスの原料として有用な高純度炭酸バリウムの製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method of producing a large diameter CaF_2 single crystal which is suitable for an optical system for regular optical instruments or photolithography and further, which can be used in an optical system of a stepper for the semiconductor lithography, in which high optical performance is required.例文帳に追加

通常の光学機器や光リソグラフィー用の光学系に適し、さらには高度な光学性能が要求される半導体リソグラフィー用ステッパーの光学系に使用可能な大口径のCaF_2単結晶の製造方法を提供すること。 - 特許庁