accelerated ionとは 意味・読み方・使い方

The ion accelerated at 150 kV and the impurities accelerated at 30 kV which are not ion go out of the second accelerator 8 and enter into a wafer treatment chamber 11, to be implanted into a wafer W put on a mounting platform 12.例文帳に追加

１５０ｋＶで加速されたイオンと３０ｋＶで加速されたイオンでない不純物とが第２加速器８から出て行き、ウエハ処理室１１に入り、載置台１２に載置されたウエハＷに打ち込まれる。 - 特許庁

Ions are mainly generated in the outside of the anode, and accelerated from an ion draw-out port toward the inside of the anode.例文帳に追加

イオンは主として陽極外部で生成し、イオン引き出し口から陽極内部に向かって加速する。 - 特許庁

A gas cluster ion beam irradiation part 20 ionizes and accelerated the gas cluster generated, and gas cluster ion beams G are irradiated on the surface of a substrate W.例文帳に追加

ガスクラスターイオンビーム照射部２０は、生成したガスクラスターをイオン化して加速し、ガスクラスターイオンビームＧを基板Ｗの表面に照射する。 - 特許庁

To provide a target for a laser plasma ion source capable of accelerating heavy ions to discharge the heavy ions at a further accelerated speed, and to provide a laser plasma ion generating apparatus.例文帳に追加

重イオンを加速して更に高速に放出することができるレーザプラズマイオン源用ターゲットおよびレーザプラズマイオン発生装置を提供する。 - 特許庁

Ion beams include impurity ions to be implanted, and are accelerated with energy which is not higher than acceleration energy 5 keV.例文帳に追加

注入すべき不純物のイオンを含み、加速エネルギ５ｋｅＶ以下のエネルギで加速されたイオンビームを得る。 - 特許庁

This silicon nitride film is formed by irradiating silicon single crystal (100) surface with N2+ ion accelerated to 500 eV in a vacuum.例文帳に追加

真空中で、５００ｅＶに加速したＮ_2 ^+ イオンをシリコン単結晶（１００）表面に照射して形成する。 - 特許庁

The programmable heavy-ion sensing device for accelerated DRAM soft error detection is provided.例文帳に追加

本発明の態様は、高速化されたＤＲＡＭソフト・エラー検出のためのプログラム可能な重イオン感知デバイスに関する。 - 特許庁

The ion beam extraction electrode 20 has a screen grid 21 having a plurality of screen ion extraction holes 7a, an acceleration grid 8 having an accelerated ion extraction hole 8a, and a deceleration grid 9 having a decelerated ion extraction hole 9a.例文帳に追加

イオンビーム抽出電極２０は、複数のスクリーンイオン抽出孔７ａを有するスクリーングリッド２１と、加速イオン抽出孔８ａを有する加速グリッド８と、減速イオン抽出孔９ａを有する減速グリッド９とを有している。 - 特許庁