gas distribution controlとは 意味・読み方・使い方

To reduce the number of components in a control means for distribution of gas.例文帳に追加

ガス流通制御手段の部品点数を減らす。 - 特許庁

In one embodiment, by using a calibration circuit for gas control, in particular, verification and/or calibration of the gas flow utilizedin back-side cooling, distribution for processing gas, distribution for purge gas, distribution for cleaning agent, distribution for carrier gas, and distribution for repair gas are performed.例文帳に追加

一実施形態において、ガス制御のための較正回路を用いて、特に、裏側冷却、処理ガス分配、パージガス分配、クリーニング剤分配、キャリアガス分配及び修復ガス分配に利用されるガスフローを検証及び／又は較正する。 - 特許庁

Various metering devices for electric power, gas and water supplies are connected to a control section 8 of a distribution panel 1.例文帳に追加

分電盤１の制御部８に電力、ガス、水道その他の各種計測装置を接続する。 - 特許庁

This exhaust emission control device exhausts exhaust gas from a predetermined cylinder through a single exhaust pipe 14 and leads the exhaust gas into the catalyst 24 through a distribution chamber 26 separate from a distribution chamber for exhaust gas from the other cylinders.例文帳に追加

排ガス浄化装置は、所定の気筒からの排ガスを単独の排気管１４を通じて排気し、その他の気筒からの排ガスとは別の分配室２６を介して触媒２４に導入させる。 - 特許庁

The control device 5 makes the gas excited without making the gas discharge by controlling voltage between the driving electrodes of the electron source 2 so as to make peak energy of an energy distribution of the electrons larger than excitation energy of the gas and to make the peak energy of the energy distribution of the gas smaller than ionization energy of the gas.例文帳に追加

制御装置５は、電子のエネルギ分布のピークエネルギが、ガスの励起エネルギよりも大きくガスのイオン化エネルギよりも小さくなるように電子源２の駆動電極間の電圧を制御することでガスを放電させずにガスを励起させる。 - 特許庁

To provide a heat treatment apparatus that can improve the flow velocity distribution of a gas supplied into a chamber and can control the disturbed temperature distribution of a substrate.例文帳に追加

チャンバー内へ供給されるガスの流速分布を改善し、基板の温度分布の乱れを抑制できる熱処理装置を提供する。 - 特許庁

The gas is supplied from at least two positions of a slit nozzle, in the width direction of a gas chamber 3 and the distribution of the gas supplying quantity to each position is varied to control the channeling.例文帳に追加

スリットノズルのガス室の幅方向の少なくとも２個所からガスを供給し、それぞれの個所へのガス供給量の配分を変化させて偏流を制御する。 - 特許庁