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meefとは 意味・読み方・使い方
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「meef」を含む例文一覧
該当件数 : 22件
To provide a photomask with which a line width error in transferring caused by an MEEF (Mask Effective Error Factor) is reduced.例文帳に追加
MEEF(Mask Effective Error Factor)に起因する転写の際の線幅誤差を低減できるフォトマスクを提供する。 - 特許庁
An MEEF value is calculated as an evaluation parameter reflecting the shrinkage of the line end from the measurement results (ST16).例文帳に追加
その測定結果からラインエンドの縮み量を反映した評価パラメータとしてMEEF値を算出する(ST16)。 - 特許庁
To provide a resist composition capable of further improving a mask error enhancement factor (MEEF) of a pattern obtained from the composition.例文帳に追加
得られるパターンのマスクエラーエンハンスメントファクター(MEEF)をより改善することができるレジスト組成物を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a photoresist composition, which is a chemical amplification-type resist having excellent sensitivity and excellently maintaining a mask-error factor (MEEF).例文帳に追加
感度に優れると共に、MEEFを良好に維持することが可能な化学増幅型レジストであるフォトレジスト組成物の提供 - 特許庁
Then a rank of the dimensional variance specification in the line end is determined according to the MEEF value in a step ST17.例文帳に追加
そして、ステップST17において、当該MEEF値に応じてラインエンドの寸法ばらつき仕様のランクを設定する。 - 特許庁
To provide a photoresist composition which can form a pattern having excellent MEEF (Mask Error Enhancement Factor) and profile.例文帳に追加
優れたMEEF及び形状を有するパターンを形成することができるフォトレジスト組成物を提供。 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive resin composition not only having sufficient basic characteristics such as sensitivity and resolution but having sufficient MEEF (mask error enhancement factor) performance.例文帳に追加
感度、解像性といった基本特性だけではなく、MEEF性能をも十分に満足する感放射線性樹脂組成物の提供。 - 特許庁
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「meef」を含む例文一覧
該当件数 : 22件
To provide a positive resist composition which ensures good LWR and MEEF and a pattering method using the positive resist composition.例文帳に追加
LWRとMEEFとが良好である、ポジ型レジスト組成物及び該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive resin composition which is excellent in sensitivity, resolution and exposure margin and also satisfies MEEF performance, and to provide a low-molecular compound suitably used in the radiation-sensitive resin composition.例文帳に追加
本発明の課題は、感度、解像性、露光マージンに優れることに加え、MEEF性能も満足する感放射線性樹脂組成物およびその感放射線性樹脂組成物に好適に用いられる低分子化合物を提供する。 - 特許庁
To provide a radiation sensitive resin composition having excellent resolution performance and forming a chemically amplifying type resist having a small MEEF and a small LWR, and also to provide a polymer used therefor.例文帳に追加
解像性能に優れ、かつ、MEEFが小さくLWRの小さい化学増幅型レジストを形成可能な感放射線性樹脂組成物およびそれに用いる重合体を提供することである。 - 特許庁
Image data of a section having MEEF equal to or greater than a prescribed value is created on the basis of the region data including at least some pattern defined by the design pattern data.例文帳に追加
設計パターンデータに定義される少なくとも一部のパターンを包含する領域データから、MEEFが所定値以上の箇所の画像データを作成する。 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive resin composition that has high resolution performance and has a good balance between DOF (Depth Of Focus) and MEEF (Mask Error Enhancement Factor) in forming a fine pattern of 90 nm or less, and is suitably used also for a liquid immersion exposure process.例文帳に追加
90nm以下の微細パターン形成において、解像性能に優れるだけでなく、DOFとMEEFのバランスに優れ、液浸露光プロセスにも好適に利用されうる感放射線性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁
To provide a radiation sensitive resin composition as a chemically amplified resist that is excellent in depth of focus, LWR (Line Width Roughness), and MEEF (Mask Error Enhancement Factor), and excellent also in preventing the occurrence of a defect in development.例文帳に追加
焦点深度、LWR、MEEFに優れるとともに、現像欠陥にも優れた化学増幅型レジストである感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive resin composition which has a large depth of focus and ensures small LWR and MEEF, excellent pattern collapse resistance and excellent development defect control property.例文帳に追加
焦点深度が広く、LWR及びMEEFが小さく、パターン倒れ特性に優れ、かつ、現像欠陥性能にも優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a positive type photosensitive composition improved in a LWR, an exposure latitude and an MEEF, and fit to a liquid immersion process, of 45 nm of line width, and to provide a pattern forming method which use the composition.例文帳に追加
LWR、露光ラチチュード、MEEFが改良され、線幅45nm以下の液浸プロセスに適合したポジ型感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。 - 特許庁
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