smif podとは 意味・読み方・使い方

To provide a pod opening/closing device for an SMIF capable of opening/closing a semiconductor wafer pod comprising a different lock means using the same device.例文帳に追加

異なるロック手段を有する半導体ウェーハポッドの開閉を同一装置で行うことができる、ＳＭＩＦ用のポッド開閉装置を提供する。 - 特許庁

An opening/closing device 100 of an SMIF pod comprises a stage 110 on which a plurality of SMIF pods of different size can be loaded, and an opening/closing mechanism capable of opening/closing all locks of a plurality of SMIF pods comprising different lock means, allowing all SMIF pods to be opened/closed by the same device.例文帳に追加

異なる大きさを有する複数のＳＭＩＦポッドを積載可能な台１１０と、異なるロック手段を有する複数のＳＭＩＦポッドの全てのロックを開閉可能な開閉機構とを備えることにより同一の装置で複数のＳＭＩＦポッドの全ての開閉が可能であるＳＭＩＦポッドの開閉装置１００とする。 - 特許庁

To provide a substrate transfer container of a vacuum sealing type, which is compatible with a SMIF pod and can open by using a common opening/closing apparatus.例文帳に追加

ＳＭＩＦポッドと互換性を有し共通の開閉装置を用いて開くことが可能な真空封止型の基板搬送コンテナを提供する。 - 特許庁

To provide a conveying device of a mini-environment system efficiently conveying a sample to a scanning electron microscope for critical dimension measuring, even when an SMIF-pod (standard mechanical interface-pod) housing only one piece of photomask is used.例文帳に追加

１枚のフォトマスクしか収納することはできないスミフポッドを使用する場合でも、効率的に、試料を微小寸法測定走査電子顕微鏡に搬送することができるミニエンバイラメント方式の搬送装置を提供する。 - 特許庁

The opener 20 fetches a wafer cassette 203 from a SMIF pod 200, and the loader 30 transfers the wafer cassette fetched out by the opener 20 trough the use of movements containing turning of an arm mechanism or the like.例文帳に追加

オープナ２０はＳＭＩＦポッド２００からウェハカセット２０３を取り出し、ローダ３０はオープナ２０で取り出されたウェハカセットをアーム機構等の旋回を含む運動を用いて移動させる。 - 特許庁