sputtering outとは 意味・読み方・使い方

To provide a sputtering target for the formation of the protective film of an optical recording medium wherein the target has high strength and is free from cracks even when high power sputtering is carried out.例文帳に追加

高強度を有し、高出力スパッタリングを行っても割れ発生がない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁

The substrate cleaning step, the carbon particle sputtering step and the diamond-like carbon layer depositing step can be carried out continuously in one and the same magnetron sputtering apparatus.例文帳に追加

基板洗浄工程、炭素粒子スパッタ工程及びダイヤモンドライクカーボン層形成工程は、同一のマグネトロンスパッタ装置において連続して実行できる。 - 特許庁

The film 3 is formed through a sputtering method carried out in a sputtering atmosphere of argon gas into which a small amount of nitrogen gas is kept being introduced using a pure titanium target.例文帳に追加

この成膜は、純チタンをターゲットとしたスパッタリング法により、スパッタリング雰囲気にアルゴンガスとともに少量の窒素ガスを導入しながら行う。 - 特許庁

As the film deposition in this method is carried out by sputtering, the film deposition rate is higher than that of a vapor deposition method.例文帳に追加

しかも、成膜はスパッタによるものであるため蒸着法に比べると成膜レートが早い。 - 特許庁

If the depot attaches inside the gap 64, the ions scraped out from the gap 64 through ion sputtering.例文帳に追加

隙間６４内部にデポが付着していれば、イオンスパッタにより隙間６４の外へ掻き出される。 - 特許庁

The currents of the electromagnet coils 13 and 14 are each kept at set values always while a sputtering operation is carried out.例文帳に追加

各電磁石コイル１３，１４の電流は、スパッタが行われている間、設定された値を常に保つ。 - 特許庁

The second aluminum nitride layer is vapor deposited by carrying out sputtering at about 5-10 millitorr chamber pressure.例文帳に追加

第２の窒化アルミニウム層は、約５〜１０ミリトールのチャンバ圧力でスパッタリングすることにより蒸着される。 - 特許庁

Pre-sputtering is carried out, and unstable silicon atoms are removed by bonding them to activated oxygen (step S12).例文帳に追加

プレスパッタを行い、不安定なシリコン原子を活性化された酸素と結合させ除去する（ステップＳ１２）。 - 特許庁