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beam interferometerの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 139件
DIFFERENTIAL INTERFEROMETER PRODUCING DESIRED BEAM PATTERN例文帳に追加
所望のビームパターンを生成する微分干渉計 - 特許庁
This interferometer consists of a 2-arm Sagnac type interferometer, which uses three beam splitters.例文帳に追加
この干渉計は、2アームSagnac型干渉計で、2つのビームスプリッターを用いる。 - 特許庁
This interferometer consists of a 1-arm Sagnac type interferometer, which uses two beam splitters.例文帳に追加
この干渉計は、1アームSagnac型干渉計で、2つのビームスプリッターを用いる。 - 特許庁
To minimize a beam shift between a measurement beam and a reference beam in an interferometer.例文帳に追加
干渉計において、測定ビームと基準ビームとの間に生じるビームずれを最小化する。 - 特許庁
COMPACT BEAM RETRACE OPTICAL SYSTEM FOR REMOVING WALKOFF OF BEAM IN INTERFEROMETER例文帳に追加
干渉計においてビームのウォークオフを取り除くためのコンパクトなビームリトレース光学系 - 特許庁
A monitor laser beam source 31 gives monitor beam having 3rd wavelength to the interferometer.例文帳に追加
監視用レーザ光源31は第3の波長を有する監視光を干渉計を与える。 - 特許庁
BEAM SPLITTER STRUCTURE GROUP AND INTERFEROMETER WITH IT例文帳に追加
ビームスプリッタ構造群及びビームスプリッタ構造群を備えた干渉計 - 特許庁
WAVE FRONT MEASURING INTERFEROMETER UNIT, AND LIGHT BEAM MEASURING INSTRUMENT AND METHOD例文帳に追加
波面測定用干渉計装置、光ビーム測定装置および方法 - 特許庁
To provide an interferometer requiring no beam splitter, using a simple optical system.例文帳に追加
ビームスプリッタが不要な干渉計を単純な光学系で実現する。 - 特許庁
The optical interferometer 105 comprises a monolithic optical element 201 having a polarized beam splitter (PBS) 204 and at least one reflecting surface 211 substantially parallel to the PBS 204.例文帳に追加
モノリシック光学素子(201,801)を含む光学干渉計(105)。 - 特許庁
A self-referencing interferometer includes an optical system for splitting an alignment beam to create a reference beam and a transformed beam.例文帳に追加
自己参照干渉計は、アライメントビームを分割して参照ビームおよび変性ビームを生成する光学システムを含む。 - 特許庁
The beam production mechanism contains a beam splitter which partitions beam into a reference beam and a measuring beam, a reference mirror for providing a plane mirror interferometer, and a reflection surface which radiates at least one reference beam used for a differential plane mirror interferometer.例文帳に追加
ビーム生成機構は、ビームを基準ビームと測定ビームに分割するビームスプリッタ、平面鏡干渉計を提供する基準鏡、および、示差平面鏡干渉計に使用する少なくとも1つの基準ビームを放射する反射表面を有する。 - 特許庁
This interferometer has a reciprocal output and a non-reciprocal output and the source beam is obtained as a non-reciprocal output beam by the Sagnac interferometer.例文帳に追加
この干渉計は、相反的出力及び非相反的出力を有しており、源ビームは、サニャック干渉計にて、非相反的出力ビームとして得られる。 - 特許庁
To provide a heterodyne laser interferometer which can minimize displacement in reference beam and measuring beam due to rotation of stage.例文帳に追加
干渉計においてステージの回転による基準ビームと測定ビームのずれを最小限に抑える。 - 特許庁
The angular displacement of the object is measured by an interferometer, by splitting a laser beam into a reference beam and a measuring beam.例文帳に追加
レーザビームを参照ビーム及び測定ビームに分割することによって、物体の角変位が干渉計によって測定される。 - 特許庁
The two-beam interference effect is optionally provided by a free-time Mach Zehnder interferometer, an incorporated Mach-Zehnder interferometer, a Michelson interferometer, or combinations of them.例文帳に追加
2ビーム干渉効果は、オプションで、自由時間マッハツェンダ干渉計、組み込みマッハツェンダ干渉計、マイケルソン干渉計、またはそれらの組み合わせによって提供される。 - 特許庁
POLARIZED LIGHT BEAM SPLITTER APPARATUS, INTERFEROMETER MODULE, LITHOGRAPHIC APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
偏光ビームスプリッタ装置、干渉計モジュール、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁
This interferometer system is provided with a beam production mechanism, a beam reflecting mirror, and a sensing device for detecting interference pattern of overlapped reflection beam.例文帳に追加
干渉計装置は、ビーム生成機構、ビーム反射鏡、および重複する反射ビームの干渉パターンを検出する検出デバイスを有する。 - 特許庁
A beam 348 adjusted by a compensator is provided as output from the compensator 340 and the adjusted beam is received by an interferometer 342.例文帳に追加
補正部により調整されたビーム348は補正部340から出力され、干渉計342に受光される。 - 特許庁
To provide a small-sized, high-precision interferometer system which can reduce the occurrence of measurement errors caused by the size increase of an interferometer optical system that includes a beam splitter and a planar shape error of the beam splitting surface of the beam splitter.例文帳に追加
ビームスプリッターを含む干渉計光学系の大型化およびビームスプリッターの分離面の面形状誤差に起因する測定誤差の発生を抑えることのできる小型で高精度な干渉計装置。 - 特許庁
A laser beam Lout from a laser light source 10 is made to separately travel through two optical paths OP1 and OP2 in a two-beam interferometer.例文帳に追加
レーザ光源10からのレーザ光Loutを、2光束干渉計内で2つの光路OP1,OP2に分離して進行させる。 - 特許庁
To provide a reference beam interferometer where influence of an environmental parameter on variation of wavelength of a light beam is further minimized.例文帳に追加
光ビームの波長の変化に対する環境パラメータの影響がさらに最小化される参照ビーム干渉計を提供する。 - 特許庁
Further, a beam interruption means 120 interrupting an optional part of the divided first beam or second beam is provided between the beam dividing means 100 and the interferometer 2.例文帳に追加
そして、分割された第1のビームまたは第2のビームのうち任意の部分を遮断するビーム遮断手段120をビーム分割手段100と干渉計2との間に備える。 - 特許庁
The heterodyne interferometer has a parallel flat plate grass disposed between a laser source 1 and a first polarized beam splitter.例文帳に追加
レーザ光源1と第1偏光ビームスプリッタの間に平行平面板ガラスを配置した。 - 特許庁
A laser beam source 12, an interferometer part 14 and a reflection mirror 20 are provided on a main body base 10.例文帳に追加
本体ベース10上にレーザ光源12、干渉計部14、反射ミラー20を設ける。 - 特許庁
INTERFEROMETER BY OPTICAL SYSTEM OF OPTICAL FIBER, AND BEAM COUPLING UNIT AND MANIPULATOR SYSTEM THEREFOR例文帳に追加
光ファイバ光学系による干渉計、及びそのためのビーム結合ユニット及び操作器システム。 - 特許庁
At least one laser interferometer 24 is directed its measuring beam 23 into the transfer elements 9, 20.例文帳に追加
少なくとも一つのレーザー干渉計(24)は、測定ビーム(23)を移動要素(9、20)に向ける。 - 特許庁
In the reference beam interferometer for determining a position of a movable stage, an evacuated pipe is inserted into the longer one of two interferometer legs.例文帳に追加
本発明は可動ステージの位置を決定するための参照ビーム干渉計に関し、真空にされた管が2つの干渉計レッグの長い方に挿入される。 - 特許庁
A laser beam Lout from a laser light source 10 is split into two light paths OP1 and OP2 in an interferometer, having a constitution according to Mach-Zehnder interferometer.例文帳に追加
レーザ光源10からのレーザ光Loutを、マッハ・ツェンダ干渉計に準ずる構成の干渉計において、2つの光路OP1,OP2に分離する。 - 特許庁
The measurement unit includes a combined optical unit (COU) to transfer an encoder measurement beam (EMB) as well as an interferometer measurement beam (IMB).例文帳に追加
測定ユニットは、エンコーダ測定ビーム(EMB)ならびに干渉計測定ビーム(IMB)を転送する複合光学ユニット(COU)を含む。 - 特許庁
This interferometer is provided with a straightness interferometer 12 for separating spectrally a laser beam L from a laser oscillator 11, a beam splitter 21a for the first reflecting mirror 21 arranged inside an optical path for laser beams L1, L2 from the straightness interferometer 12, a reflector 13 and the second reflecting mirror 22.例文帳に追加
レーザ発振器11からのレーザ光Lを分光する真直度干渉計12と、真直度干渉計12からのレーザ光L1 、L2 の光路内に配設する第1の反射ミラー21用のビームスプリッタ21a、反射器13、第2の反射ミラー22とを設ける。 - 特許庁
A Sagnac interferometer is composed of a polarization maintaining optical fiber 5 connected to the polarization beam splitter 2.例文帳に追加
偏光ビームスプリッター2に接続された偏波保存光ファイバー5で、サニャック干渉計が構成されている。 - 特許庁
Since the interferometer is so configured that the reference beam f_1 and the measuring beam f_2 pass through the paths of the same length in the interferometer 45, they are influenced equally by the thermal expansion of the polarizing beam splitter that results from temperature changes, their influence can be cancelled.例文帳に追加
基準ビームf_1、測定ビームf_2は、干渉計45内において同じ長さの経路を通るように構成されており、温度変化に伴う偏光ビームスプリッタの熱膨張の影響を等しく受けるので、その影響を相殺できる。 - 特許庁
The laser beam projected through modulation of intensity and frequency is further changed into a heterodyne interference beam 34 by using a heterodyne interferometer.例文帳に追加
また、強度および周波数が変調されて出射されたレーザ光を、さらに、ヘテロダイン干渉計を用いて、ヘテロダイン干渉光34に変える。 - 特許庁
The interferometer 342 recombines the rotated first and second beams to produce a recombined beam 350.例文帳に追加
干渉計342は、回転させた第1のビームと第2のビームを再合成して再合成ビーム350を形成する。 - 特許庁
A delay interferometer includes a half beam splitter 203 and pentagonal prisms 206, 207 arranged on a substrate 201.例文帳に追加
遅延干渉計は、基板201の上に配置されたハーフビームスプリッタ203と5角柱プリズム206,207と、を含む。 - 特許庁
In addition to an upper-step and lower-step electron-beam biprisms in the conventional two-step electron-beam biprism interferometer, an electron beam deflector is used anew, or an electron-beam deflection function is also given to the upper-step or the lower-step electron-beam biprisms.例文帳に追加
従来の2段電子線バイプリズム干渉計における上段と下段の電子線バイプリズムに加えて、新たに、電子線偏向器を使用することにより、もしくは上段または下段の電子線バイプリズムに電子線偏向機能を合わせ持たせた。 - 特許庁
Otherwise, the PDF is derived based on a difference between dependency of 'a phase difference of the two-beam interferometer' of the measuring parameter in the polarization state 1 and dependency of 'the phase difference of the two-beam interferometer' of the measuring parameter in the polarization state 2.例文帳に追加
あるいは、前記偏波状態1の測定パラメータの「2光束干渉計の位相差」依存性と、前記偏波状態2の測定パラメータの「2光束干渉計の位相差」依存性との差に基づきPDFを導出する。 - 特許庁
The interferometer 200 returns parallel beams that are subject to walk-off caused by reflector misalignment for an additional pass through the interferometer optical system and thereby eliminates beam walk-off.例文帳に追加
干渉計(200)は、反射器の位置ずれによって生じるウォークオフを受ける平行なヒ゛ームを、干渉計光学系を通る追加の通過のために戻し、それによりヒ゛ームのウォークオフを排除する。 - 特許庁
To provide an interferometer apparatus for easily performing alignment work of incident light beam while being simple in constitution.例文帳に追加
簡単な構成でありながら、入射する光ビームのアライメント作業を容易に行なえる干渉計装置を提供する。 - 特許庁
The interferometer 342 splits the adjusted beam 348 into a first beam and a second beam and rotates the first and second beams so that the beams has a polarization angle of 180 degree with each other.例文帳に追加
干渉計342は、調整されたビーム348を第1のビームと第2のビームとに分離し、一方のビームに対して他方のビームが180度となるよう第1のビームと第2のビームとを回転させる。 - 特許庁
The refractive index distribution measurement system is provided, including a two-beam interferometer and a signal processing apparatus 90 for acquiring refractive index distribution of a subject from interference fringe images acquired by the interferometer.例文帳に追加
2光束干渉計と、干渉計が取得した干渉縞像から被検物の屈折率分布を取得する信号処理装置90と、を有する屈折率分布測定システムを提供する。 - 特許庁
This phase shift interferometer is equipped with a lighting optical system 200, a non-interference light beam generation means 300, and a phase shift interference fringe acquisition part 400.例文帳に追加
照明光学系200と、無干渉光束生成手段300と、位相シフト干渉縞取得部400と、を備える。 - 特許庁
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