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diffraction grating interferometerの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 27件
DIFFRACTION DIRECTION MEASURING METHOD OF DIFFRACTION GRATING OF SHEARING INTERFEROMETER FOR EUV例文帳に追加
EUV用シアリング干渉計の回折格子の回折方向測定方法 - 特許庁
DIFFRACTION GRATING FOR X-RAY INTERFEROMETER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF例文帳に追加
X線干渉計用の回折格子及びその製造方法 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD FOR X-RAY PHASE TYPE DIFFRACTION GRATING AND AMPLITUDE TYPE DIFFRACTION GRATING USED FOR X-RAY TALBOT INTERFEROMETER例文帳に追加
X線タルボ干渉計に用いられる位相型回折格子と振幅型回折格子の製造方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING PHASE TYPE DIFFRACTION GRATING FOR X-RAY TALBOT INTERFEROMETER例文帳に追加
X線タルボ干渉計用位相型回折格子の製造方法 - 特許庁
The oblique incidence interferometer 1 includes a laser light source 2; a first diffraction grating 3; and a second diffraction grating 4.例文帳に追加
斜入射干渉計1は、レーザ光源2と、第1回折格子3と、第2回折格子4とを備える。 - 特許庁
To provide a diffraction grating for an X-ray Talbot interferometer which can be manufactured with ease and high accuracy as the diffraction grating having high aspect ratio of a groove, a method for manufacturing the diffraction grating for the X-ray Talbot interferometer, and the X-ray Talbot interferometer.例文帳に追加
溝のアスペクト比の高い回折格子を容易かつ高精度で製造することができるX線タルボ干渉計用回折格子及びその製造方法、並びにX線タルボ干渉計を提供する。 - 特許庁
DIFFRACTION GRATING FOR X-RAY TALBOT INTERFEROMETER, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND X-RAY TALBOT INTERFEROMETER例文帳に追加
X線タルボ干渉計用回折格子及びその製造方法、並びにX線タルボ干渉計 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a phase type diffraction grating and/or an amplitude type diffraction grating constituting an X-ray Talbot interferometer.例文帳に追加
X線タルボ干渉計を構成する位相型回折格子及び/又は振幅型回折格子の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a phase type diffraction grating and an amplitude type diffraction grating constituting an X-ray Talbot interferometer.例文帳に追加
X線タルボ干渉計を構成する位相型回折格子及び振幅型回折格子の製造方法を提供する。 - 特許庁
TRANSMISSION TYPE DIFFRACTION GRATING FOR X-RAY, X-RAY TALBOT INTERFEROMETER AND X-RAY IMAGING APPARATUS例文帳に追加
X線用透過型回折格子、X線タルボ干渉計およびX線撮像装置 - 特許庁
To provide manufacturing methods for an X-ray phase type diffraction grating and an X-ray amplitude type diffraction grating used for an X-ray Talbot interferometer.例文帳に追加
X線タルボ干渉計に用いられるX線位相型回折格子及びX線振幅型回折格子の製造方法を提案する。 - 特許庁
To provide a manufacturing method for stably supplying a phase diffraction grating constituting an X-ray Talbot interferometer and an amplitude diffraction grating.例文帳に追加
X線タルボ干渉計を構成する位相型回折格子及び振幅型回折格子を安定的に供給可能な製造方法を提供する。 - 特許庁
To improve transparency to x-rays in between gratings regarding a diffraction grating for an x-ray interferometer.例文帳に追加
X線干渉計用の回折格子について、格子間でのX線に対する透明性を向上させる。 - 特許庁
SINGLE CRYSTAL DIAMOND CUTTING TOOL, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING DIFFRACTION GRATING FOR X-RAY TALBOT INTERFEROMETER例文帳に追加
単結晶ダイヤモンド切削刃具及びその製造方法、並びにX線タルボ干渉計用回折格子の製造方法 - 特許庁
Lights are applied to the entire surface of mono-axis diffraction grating 10 or bi-axis diffraction grating, and the respective wavefront information of plus first-order diffracted light and minus first-order diffracted light is evaluated by a shape measuring interferometer such as Fizeau type interferometer 11 or the like.例文帳に追加
1軸回折格子10または2軸回折格子の全面に光を照射し、+1次回折光と−1次回折光のそれぞれの波面情報をフィゾー型干渉計11などの形状計測用干渉計で評価する。 - 特許庁
In the interferometer, a diffraction grating 21, a condenser lens 22, a transparent plate 23, a field lens 24, and an imaging element 25 are arranged in this order.例文帳に追加
干渉計は、回折格子21、コンデンサーレンズ22、透明板23、フィールドレンズ24および撮像素子25をこの順に配置させている。 - 特許庁
To provide a low-loss Mach-Zehnder interferometer which can reduce temperature dependence of wavelength characteristics, and to provide an arrayed waveguide diffraction grating and a method for manufacturing the Mach-Zehnder interferometer.例文帳に追加
波長特性の温度依存性を低減することができる、低損失のマッハ・ツェンダ干渉計、アレイ導波路回折格子及びマッハ・ツェンダ干渉計の製造方法を提供すること。 - 特許庁
The diffraction grating is relatively inclined to the shape measuring interferometer so that the plus first-order diffracted light or minus first-order diffracted light from the diffraction grating and reference light from a reference optical flat 12 provided inside the Fizeau type interferometer 12 may be overlapped.例文帳に追加
回折格子からの+1次回折光または−1次回折光と、フィゾー型干渉計12の内部に搭載されている参照用オプティカルフラット12からの参照光が重なり合うように、形状計測用干渉計に対して回折格子を相対的に傾ける。 - 特許庁
By the Fabry-Perot interferometer 5 and the concave diffraction grating 7, emission angles on a Y-Z plane and an X-Z plane are made different for each wavelength.例文帳に追加
ファブリペロー干渉計5と凹面回折格子7とで光をY−Z面とX−Z面とにおける射出角を波長毎に異ならせる。 - 特許庁
To provide a method capable of easily and highly accurately manufacturing a phase type diffraction grating for an x-ray Talbot interferometer without requiring an exposure mask.例文帳に追加
露光マスクを必要とせず、X線タルボ干渉計用位相型回折格子を容易かつ高精度で製造することができる方法を提供する。 - 特許庁
To provide a wave aberration measuring machine using a diffraction grating shearing interferometer for a mirror (reflection) type optical system, which can prevent the analysis of zero-order light or high-order overlapped diffracted light from becoming difficult caused by double diffraction interference.例文帳に追加
ミラー(反射)型光学系に対する回折格子シアリング干渉計を用いた波面収差計測機において、2重の回折干渉を行うので0次光や高次の回折光が重なってしまい解析が困難になってしまうことを防止する。 - 特許庁
The Talbot interferometer guides light that is emitted by a light source 1 and passes through an inspection-object optical system L to a sensor part M that includes a diffraction grating 3 and an image pickup device 4 to measure a wave front of the inspection-object optical system.例文帳に追加
トールボット干渉計は、光源1から発せられて被検光学系Lを通った光を、回折格子3および撮像素子4を含むセンサ部Mに導き、被検光学系の波面を計測する。 - 特許庁
In the shearing interferometer using diffraction gratings, two or more kinds of diffraction gratings which have the same operating wavelength and different pitches, and at least one kind of diffraction grating which has an operating wavelength differing from the same operating wavelength, are made up on their common substrate or support body.例文帳に追加
回折格子を用いたシアリング干渉計測装置において、使用波長が同じでピッチの異なる回折格子を二種類以上と、前記使用波長と異なる第二の使用波長用の回折格子を少なくとも一種類を同一の基板、または、同一の支持体上に構成したことを特徴とする。 - 特許庁
A diffraction grating 20 for an X-ray Talbot interferometer has a plurality of X-ray absorption parts 20b formed on a substrate 22 by cutting a metal film 20bx in a wavy shape at prescribed intervals in one direction.例文帳に追加
基板22上に金属膜20bxを切削して形成したX線吸収部20bが、一方向に沿って所定間隔で畝状に複数形成されているX線タルボ干渉計用回折格子20である。 - 特許庁
The insertion loss between channels can be uniformized in the wavelength multiplexer/demultiplexer in which transmission spectrum is planarized by combining a Mach-Zehnder interferometer and an array waveguide diffraction grating.例文帳に追加
本発明の一実施形態によれば、マッハツェンダ干渉計とアレイ導波路回折格子とを組み合わせて、透過スペクトルを平坦化した波長合分波器において、チャネル間の挿入損失を均一化することができる。 - 特許庁
To reduce the effect of gas fluctuation and improve measurement accuracy, by eliminating both of positioning error of measurement with an interferometer and an error due to principles of Abbe by position detection sensor using diffraction grating.例文帳に追加
干渉計による計測位置決め誤差と、回折格子を用いる位置検出センサーによるアッベの原理に基づく誤差の両者を排除し、気体ゆらぎの影響低減と計測精度の向上を図るステージ位置計測および位置決め装置である。 - 特許庁
The combination spectrograph is constituted to make respective wavelength dispersing directions of a parallel interferometer A of high wavelength dispersion and a diffraction grating B of low wavelength dispersion orthogonal each other, and a two-dimensional array type optical detecting part 50 is provided to detect light dispersed two-dimensionally by the spectrograph, so as to constitute the optical measuring instrument.例文帳に追加
高波長分散の平行干渉計(A)と低波長分散の回折格子(B)をそれぞれの波長分散方向が直交するように組合せ分光装置を構成し、分光装置で、2次元的に広がった光を2次元アレイ型光検出部(50)を設け、光計測装置を構成する。 - 特許庁
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