ケーラー照明の英語

顕微鏡対物レンズの辺縁部にレーザ光を導入し物体を照明するケーラー式照明系において、前記レーザ光による照明方向を顕微鏡対物レンズ５６の軸心を中心に回転可能としたことを特徴とする回転式輪帯全反射照明機構。例文帳に追加

In a Koehler type illumination system in which an object is illuminated by introducing laser light to the peripheral part of an objective lens of a microscope, the rotational zone total reflection illumination mechanism is characterized in that the direction of illumination with the laser light is rotatable around the axis of the objective lens 56 of the microscope. - 特許庁

これによりロッドインテグレータ３の射出端に生じる輝度ムラの無い均一な平面状光源を試料の観察面に結像しクリティカル照明が実現され、ケーラー照明に比べて焦点深度の浅い状態での観察ができる。例文帳に追加

Thus, the image of a uniform plane light source free from irregular luminance occurring at the emitting end of the rod integrator 3 is formed on the observation surface of the sample so as to achieve critical illumination, thereby performing observation in such a state where the depth of focus is shallow in comparison with Koehler illumination. - 特許庁

集光レンズアレイを用いたケーラー照明系において簡単な構成で顕微鏡対物レンズの交換等に対応して光源の像位置を各顕微鏡対物レンズの後側焦点位置に調整する調整機能を有する顕微鏡用落射照明光学系。例文帳に追加

To provide a vertical illumination optical system for a microscope having an adjusting function to adjust the image position of a light source to the rear focal position of each microscopic objective lens in response to replacement of the microscopic objective lens with a simple constitution, in a Koehler illumination system using a condenser lens array. - 特許庁

光源ユニット１の光源像位置がコンデンサーレンズ７の前方焦点近傍に位置するようにコンデンサーレンズ７を配置することによりケーラー照明光を形成し、コンデンサーレンズ７の後側焦点面近傍に配置された被検物体８の被検面Ｓを照明している。例文帳に追加

A Koehler illumination light is formed, by arranging a condenser lens 7, so that a light source image position of a light source unit 1 is positioned in the vicinity of a front focus of the condenser lens 7 to illuminate an inspection object surface S of an inspection object 8, arranged in the vicinity of a rear side focal surface of the condenser lens 7. - 特許庁

スキャン露光によるＸ線縮小投影露光において、複数の円筒面をもつ反射型インテグレータ５で平行光を反射し、更に凹面反射鏡で反射してマスクの円弧状の領域をケーラー照明する。例文帳に追加

In the X-ray contracted projection/exposure by scanning exposure, parallel rays are reflected with a reflex integrator 5 having a plurality of cylindrical surfaces, and the parallel rays are further reflected with a concave reflecting mirror to perform Kohler illumination on an arcuate area in a mask. - 特許庁

コンデンサ部が交換される場合であっても、交換後の新たな開口絞りと光源との位置関係が良好なケーラー照明の条件を保持することができる顕微鏡照明装置を提供すること、更にその場合、新たなコンデンサレンズに応じて光源倍率を適正化することができる顕微鏡照明装置を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a microscope illuminator which maintains the conditions of Koehler illumination good in the fresh positional relation between an aperture-stop and a light source after exchange even when a condenser section is exchanged and to provide the microscope illuminator which optimizes a light source magnification according to the fresh condenser lens. - 特許庁

開口絞り部材６によって、ケーラー照明光の開き半角が制限されることにより、被検面Ｓで形成される回折光の広がりも狭いものとなるので、ピンホール絞り部材１０により、確実に１次以上の回折光を除去することができる。例文帳に追加

Since the extent of the diffracted light formed by the inspection object surface S becomes narrow, by restricting the opening half angle of the Koehler illumination light, the diffracted light of not less than the first order can be removed surely by a pinhole diaphragm member 10. - 特許庁