Adsorbed contaminantとは 意味・読み方・使い方

To improve measurement accuracy by making the analysis environment approximate to an actual clean room environment in a method of analyzing a molecular contaminant generated from a clean room component and adsorbed to a material to be treated.例文帳に追加

クリーンルーム構成材料から発生し被処理物に吸着した分子状汚染物質を分析する方法について、実際のクリーンルーム環境に近似させ、もって測定精度を向上させる。 - 特許庁

To remove adsorbed water in a charged droplet etching gun mounting chamber, concerning a sample surface contaminant removal method and a device using charged droplet etching.例文帳に追加

本発明は帯電液滴エッチングを用いた試料表面汚染物除去方法及び装置に関し、帯電液滴エッチング銃装着チャンバ内の吸着水を除去することを目的としている。 - 特許庁

To efficiently removing a contaminant adsorbed to a particulate, to realize promotion of effective utilization of the particulate and to reduce a management item when the particulate is treated.例文帳に追加

この発明の目的は、粒体に吸着された汚染物質を効率良く除去することができ、粒体の有効利用の促進を図ることができ、粒体を処分する際の管理項目を低減することにある。 - 特許庁

To provide a surface contamination degree evaluation method and a surface contamination degree evaluation device capable of evaluating a surface contamination degree even in a case where surface texture of analytes changes due to the nature of adsorbed contaminant.例文帳に追加

吸着した汚染物質の性質などによって被検体の表面性状が変化する場合においても、表面汚染度を評価することが可能な表面汚染度評価方法及び表面汚染度評価装置を提供する。 - 特許庁

To selectively and efficiently collect a compound easy to be adsorbed and deposited onto a semiconductor substrate out of contaminants of a very small amount in an atmospheric air in a clean room or the like, and to highly efficiently desorb the contaminant to evaluate precisely the collected contaminant easily in a short time.例文帳に追加

クリーンルームなどにおける大気中の極微量な汚染物質のうち、半導体基板に吸着・付着されやすい化合物を選択的に効率よく捕集できるとともに、捕集された汚染物質を簡易にかつ短時間で精度よく評価するために、その汚染物質を高率よく脱着可能な清浄度用捕集剤を提供する。 - 特許庁

This evaluation method of the contamination state of the local space in a substrate manufacturing process has characteristics, wherein in the substrate manufacturing process, a passive sampler is put into the local space passed by the substrate, and contaminants in the space are collected into an adsorbent in the passive sampler, and then the adsorbed contaminant is eliminated from the adsorbent, and the eliminated contaminant is analyzed.例文帳に追加

基板製造工程において、該基板が経由する局所的空間にパッシブサンプラーを入れ、当該空間内の汚染物質を該パッシブサンプラー内の吸着剤に捕集し、次に、該吸着剤から吸着された汚染物質を脱離させ、脱離した汚染物質を分析することを特徴とする基板製造工程における局所空間の汚染状態の評価方法。 - 特許庁

To provide a bakeout construction method which can enhance overall bakeout efficiency by facilitating temperature control in the bakeout construction method, and preventing a contaminant in diffused indoor air from being re-adsorbed onto a surface of a building material, except a diffusion surface.例文帳に追加

ベイクアウト工法における温度管理を容易にすると共に、放散させた室内空気の汚染物質が放散面以外の建材の表面に再吸着することを防止して、総体的なベイクアウト効率を向上させることの出来るベイクアウト工法を提供する。 - 特許庁

To effectively reduce the concentration of a light absorption substance in space in a light path and nonuniformity in the concentration by a small amount of consumption of gas or necessary time, and at the same time a contaminant that is adsorbed by an optical member that is arranged in the light path.例文帳に追加

光路上の空間内における吸光物質の濃度及び濃度不均一性を、少ないガス消費量又は所要時間で効果的に低減するとともに、光路上に配置される光学部材に吸着される汚染物質を効果的に低減する。 - 特許庁