energy distribution functionとは 意味・読み方・使い方

About a process by a particle seed such as ion having a strong anisotropic for an entering, an ion angle energy distribution function (IAEDF) which is respectively the function of an angle θ and an energy E, and an etching yield energy component which is the coefficient of an action with respect to the surface, are numerically integrated to generate the weighted etching yield ion angle distribution function (EYIADF) in advance.例文帳に追加

入射に関する異方性の強いイオンなどの粒子種によるプロセスに関して、それぞれ角度θおよびエネルギーＥの関数であるイオン角度エネルギー分布関数（ＩＡＥＤＦ）と、表面との作用の係数としてのエッチング・イールドのエネルギー成分とを数値積分して、エッチング・イールドの重み付けのついたイオン角度分布関数（ＥＹＩＡＤＦ）をあらかじめ作成する。 - 特許庁

To realize a uniform plasma processing (such as etching) within a wafer plane by increasing the uniformity of an incident ion energy distribution function within the wafer plane.例文帳に追加

ウエハ面内における入射イオンエネルギーの分布関数の均一性を高め、ウエハ面内で均一なプラズマ処理（エッチング等）を実現する。 - 特許庁

Optical energy can be obtained by modulating a spacial distribution in a wave function of at least one of an electron and a hole by contact of at least two of fine particles.例文帳に追加

少なくとも２つの微粒子の接触により電子および正孔の少なくとも一方の波動関数の空間分布を変調して光エネルギーを得る。 - 特許庁

A control point being an outline candidate point is set outside a shape object whose outline should be extracted, and an energy function(evaluation function) is set based on the color distribution information of an outline area determined by the control point.例文帳に追加

輪郭線を抽出すべき形状オブジェクトに対し、輪郭候補点である制御点をその外側に設定し、制御点で定まる輪郭領域の色分布情報に基づきエネルギ関数（評価関数）を設定する。 - 特許庁

The film deposition system is provided with a film deposition chamber 11, a plasma generation section which is disposed in the film deposition chamber 11 and has a first electrode 21 and a second electrode 22, and an energy distribution function variable section which is disposed inside the film deposition chamber 11, and causes the electron energy distribution function that the neutron particle moving inside the film deposition chamber 11 senses to change.例文帳に追加

成膜装置は、成膜室１１と、成膜室１１内に設けられた第１の電極２１と第２の電極２２とを有するプラズマ発生部と、成膜室１１の中に設けられ、成膜室１１内を運動する中性粒子が感ずる電子エネルギー分布関数を変化させるエネルギー分布関数可変部とを備えている。 - 特許庁

The convolution of an arrival probability distribution function obtained through simulations for a charged particle beam and the step function is numerically computed, and an energy profile obtained as a result or its inverse function is approximated by a polynominal, and the amount of blur is determined by the use of the approximate expression.例文帳に追加

シミュレーションにより得られた荷電粒子線の到達確率分布関数とステップファンクションのコンボリューションを数値計算し、その結果得られるエネルギープロファイル又はその逆関数を多項式で近似し、この近似式を用いてボケ量を決定する。 - 特許庁

When the reduced high beam is used as energy saving light during running in the daytime, it is disadvantageous that light distribution belonging to the high beam is not suitable for the lighting function during running in the daytime.例文帳に追加

減光したハイビームを、エネルギーを節約した日中走行ライトとして用いる場合、ハイビームに属する光分布は日中走行ライトの機能に適さないという欠点がある。 - 特許庁

An electric equipment set 108 for generator and a motor function is provided in the energy storage type differential hybrid device 104, and the motor or the generator function is operated to regulate the power distribution for the front wheels and the rear wheels, by operating the electric equipment set 108.例文帳に追加

エネルギー貯蔵式差動ハイブリッド装置１０４の中に発電機及びモーター機能の電機セット１０８を設け、電機セット１０８を操作することによって、モーター或いは発電機機能を作動させ、前端及び後端負荷の動力分配を制御する。 - 特許庁