gas drying unitとは 意味・読み方・使い方

To provide a drying device capable of reducing power consumption while improving reheating capacity and cooling capacity by exchanging heat between a gas from an evaporator outlet and a gas from a drying chamber outlet in an air trunk formed in a drying unit to circulate a gas.例文帳に追加

乾燥ユニット内に形成した気体を循環させる風路内において、蒸発器出口から出た気体と、乾燥室出口から出た気体とを熱交換させることによって、再熱能力及び冷却能力を向上させつつ、消費電力の低減を実現する乾燥装置を提供する。 - 特許庁

To prevent particles from being re-deposited onto a work in an unloading unit in a disk-shaped work cleaning/drying apparatus in which clean gas is supplied to the drying unit by successively providing a cleaning unit 10 to clean the disk-shaped work W, a drying unit 20 of the work after cleaning and the unloading unit 30 to take out and store the work after drying in this order.例文帳に追加

ディスク形ワークＷを洗浄する洗浄ユニット１０と、洗浄後のワークの乾燥ユニット２０と、乾燥後のワークを取り出して保管するアンローディングユニット３０とが、この順で連設され、乾燥ユニットに清浄気体を供給するものとなされているディスク形ワークの洗浄乾燥装置において、アンローディングユニットにおけるワークへのパーティクルの再付着を防止する。 - 特許庁

This vacuum drying device is composed of a vacuum tank keeping vacuum, a heater for heating and drying the base, a cooling unit for cooling the base, a control unit for adjusting a temperature in drying, a vacuum air discharging pump, a gas supply system and a pressure gauge for measuring the pressure of the vacuum tank.例文帳に追加

真空を保つ真空槽、基板を加熱乾燥するヒータ、基板を冷却する冷却ユニット、乾燥時の温度調整するコントロールユニット、真空排気ポンプ、ガス供給系、真空槽の圧力を計測する圧力計にて構成される。 - 特許庁

In the drying system S having a drying machine 1, and an air supply mechanism for supplying a drying gas D to the drying machine 1, the drying machine 1 is the continuous hot air drying machine, the air supply mechanism has the heat pump unit 2 applying a carbon dioxide as a refrigerant, and furthermore, the air supply mechanism has the temperature rising device 5 for further heating the drying gas D heated by the heat pump unit 2.例文帳に追加

乾燥機１と、この乾燥機１に乾燥気体Ｄを供給するための給気機構とを具えた乾燥システムＳにおいて、前記乾燥機１は連続式熱風乾燥機であり、また前記給気機構は二酸化炭素を冷媒としたヒートポンプユニット２を具えて成るものであり、更に前記給気機構には、ヒートポンプユニット２により昇温された乾燥気体Ｄを、更に昇温するための昇温装置５が具えられていることを特徴として成る。 - 特許庁

The device is also provided with the common dehumidifying unit and is provided with a gas circulating route selecting means for selecting the gas circulating routes into the drying section and the waste photographic processing liquid concentrating treatment section.例文帳に追加

又、共通の除湿ユニットを設け、乾燥部及び写真廃液濃縮処理部内への気体循環経路を選択する気体循環経路選択手段を設ける。 - 特許庁

While the wafer W is moved from the inside of the cleaning bath 22 into the inside of the chamber 23a of the drying unit 23, or after the wafer W is moved from the inside of the cleaning bath 22 into the inside of the chamber 23a of the drying unit 23, the drying gas is supplied into the chamber 23a.例文帳に追加

そして、ウエハＷを洗浄槽２２内から乾燥ユニット２３のチャンバー２３ａ内まで移動させる間に、またはウエハＷを洗浄槽２２内から乾燥ユニット２３のチャンバー２３ａ内まで移動させた後に、チャンバー２３ａ内に乾燥ガスを供給する。 - 特許庁

When a second mode in which a substrate G is scan-coated by a resist application unit from a right side G_R to a left side G_L is selected, gas stream control is performed by a vacuum-drying unit (VD)52 such that a gas jetting part 102 on the left is selectively actuated and a gas jetting part 104 on the right is stopped during vacuum-drying processing.例文帳に追加

レジスト塗布ユニットで当該基板Ｇに対して右辺Ｇ_Rから左辺Ｇ_Lに向かって塗布走査する第２モードが選択されたときは、減圧乾燥ユニット（ＶＤ）５２では、減圧乾燥処理中に左側のガス噴出部１０２を選択的に作動させて右側のガス噴出部１０４を止めておくような気流制御が行われる。 - 特許庁

In the organic substance treatment apparatus having an deodorization unit (catalytic deodorization unit 40) for deodorizing an exhaust gas containing odors generated from the treatment tank 1 for drying organic substances such as garbage by using a heating means (deodorizing heater 42) and a catalyst 43, the deodorization unit (catalytic deodorization unit 40) and a heating means for drying (drying heater 50) are arranged in the treatment tank 1.例文帳に追加

生ごみ等の有機物を乾燥処理する処理槽１から発生する臭気を含んだ排気を加熱手段（脱臭用ヒータ４２）と触媒４３を用いて脱臭する脱臭装置（触媒脱臭ユニット４０）を備えた有機物処理装置において、脱臭装置（触媒脱臭ユニット４０）を処理槽１内に配置すると共に、乾燥用加熱手段（乾燥用ヒータ５０）を処理槽１内に配置した。 - 特許庁