iso-denseとは 意味・読み方・使い方

Argon is added to prevent an undercut on a dense/iso contact.例文帳に追加

アルゴンが、密集／ｉｓｏ接触部分でのアンダーカットを防止するために添加される。 - 特許庁

To provide a new photoresist composition that can control an iso-dense bias value in an imaged structure.例文帳に追加

イメージ化された構造物の孤立‐密集偏向の制御をすることができる新規なフォトレジスト組成物を提供する。 - 特許庁

A preferable photoresist can provide a process substrate such as a microelectronics wafer having a desired iso-dense bias value.例文帳に追加

本発明の好ましいフォトレジストは、所望の孤立‐密集偏向値を有するマイクロエレクトロニクスウェーハをはじめとするプロセス基体を提供することができる。 - 特許庁

The adjustment of the spectrum intensity distribution is based on the data associated with iso-dense bias, and the spectrum intensity distribution is adjusted by widening the spectrum band width or by changing the shape of the spectrum intensity distribution.例文帳に追加

スペクトル強度分布の調整は、孤立−稠密バイアスに関連するデータに基づいており、スペクトル帯域幅を広くするか、或いはスペクトル強度分布の形状を変化させることからなっている。 - 特許庁

To provide a radiation-sensitive resin composition having excellent sensitivity and resolution and little dependence on pattern density (iso-dense bias) and capable of stably forming various fine patterns with high accuracy.例文帳に追加

感度および解像度に優れ、粗密依存性が小さく、多様な微細パターンを高精度にかつ安定して形成できる感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

In particular, the lithography device is provided for controlling the iso-dense bias of a pattern to be printed on a substrate by using radiant rays having a spectrum distribution containing two or more spectrum peaks.例文帳に追加

本発明によれば、特に、２以上のスペクトル・ピークを含んだスペクトル分布を有する放射線を使用することによって、基板に印刷されるパターンの粗密バイアスを制御することができるリソグラフィ装置が提供される。 - 特許庁

To provide a material for forming a protective film in which no void is formed, even if the aspect ratio of a hole is increased and moreover no difference in the film thickness is produced between a Dense part and an Iso part, when the material for forming a protective film is provided thereon.例文帳に追加

ホールのアスペクト比が大きくなってもボイドを形成することなく、しかもＤｅｎｓｅ部とＩｓｏ部の上に設けた場合にも、両者間に膜厚差を生じることのない保護膜形成材料を提供する。 - 特許庁