r-plとは 意味・読み方・使い方

An aligner includes the lighting system for lighting a mask (R) from below, a mask stage (RST) for holding the mask (R) below a projecting optical system (PL), and a substrate stage (WST) for holding the substrate (W) above the projection optical system (PL) and two-dimensionally moving the substrate (W).例文帳に追加

マスクＲを下方から照明する照明系１４と、マスクＲを投影光学系ＰＬの下方で水平に保持するマスクステージＲＳＴと、投影光学系ＰＬの上方で基板Ｗを水平に保持して２次元移動する基板ステージＷＳＴとを備える。 - 特許庁

At the time of an exposure of the pattern of a reticle R, the reticle R is illuminated with exposure light IL1 consisting of pulsed light of a wavelength of 193 nm from an ArF excimer laser beam source 1 and the pattern of the reticle R is transferred on a wafer W via a projection optical system PL.例文帳に追加

露光時にはＡｒＦエキシマレーザ光源１からの波長１９３ｎｍのパルス光よりなる露光光ＩＬ１でレチクルＲを照明し、レチクルＲのパターンを投影光学系ＰＬを介してウエハＷ上に転写する。 - 特許庁

The projection aligner includes an illumination lighting system ILS for illuminating the illumination light from an exposure light source 1 to a reticule R, and a projection light system PL for projecting the image of the pattern of the reticule R onto a wafer W.例文帳に追加

露光光源１からの照明光をレチクルＲに照射する照明光学系ＩＬＳと、レチクルＲのパターンの像をウエハＷ上に投影する投影光学系ＰＬとを有する。 - 特許庁

While the speed is in the R range, the valve 9 is shifted from the position shown in the figure to the left and to a backward travel position (R position), and the clutch R/C is engaged by line pressure PL, and the clutch F/C is released so that the automatic transmission can travel backward.例文帳に追加

Ｒレンジ時は弁９を図示位置から左行させて後退走行位置（Ｒ位置）にし、ライン圧Ｐ_L によりクラッチＲ／Ｃを締結させると共にクラッチＦ／Ｃを解放状態にして自動変速機を後退走行可能状態にする。 - 特許庁

In a projection exposure device for illuminating a reticle R with exposure lights, and for exposing a wafer W through the reticle R and a projection optical system PL with the exposure lights, liquid 7 through which the exposure lights are transmitted is supplied between the projection optical system PL and the wafer W by using a supply device 5 and a collecting device 6.例文帳に追加

露光光でレチクルＲを照明し、その露光光でレチクルＲ及び投影光学系ＰＬを介してウエハＷを露光する投影露光装置において、供給装置５及び回収装置６を用いて、投影光学系ＰＬとウエハＷとの間にその露光光を透過する液体７を供給する。 - 特許庁

Even after that, if the power consumption Pavg exceeds the upper limit Pu, the controller increases the throttling ratio by r% sequentially until the Pavg reaches an lower limit Pl.例文帳に追加

それでも平均消費電力Ｐavg が上限値Ｐu を超えている場合には下限値Ｐl に達するまでスロットリング比率をｒ％ずつ順次増加させていく。 - 特許庁

The method of adjusting the aligner has a projection optical system (PL) for forming the pattern image of a reticle (R) illuminated by pulse emission laser beams on a photosensitive substrate (W).例文帳に追加

パルス発光のレーザー光により照明されたレチクル（Ｒ）のパターン像を感光性基板（Ｗ）に形成する投影光学系（ＰＬ）を備えた露光装置の調整方法。 - 特許庁

The plurality of used reaction pipes each have a diameter D in a range of D≤0.3R, where R is a distance between a virtual center line PL and an inner peripheral wall face 3.例文帳に追加

仮想中心線ＰＬと内周壁面３との間の距離をＲとしたときに、複数の反応管としてその直径寸法ＤがＤ≦０．３Ｒの範囲に入るものを用いる。 - 特許庁