| 意味 | 例文 (999件) |
どうしましょうか?の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1207件
対向面の少なくとも一方を固体誘電体で被覆した３枚の電極によって形成された２つの放電空間を有する対向電極間に電界を印加することによってグロー放電プラズマを発生させて被処理体を処理する装置において、前記３枚の電極の中央の電極を固定し、両端の２枚の電極を可動にして、２つの放電空間の間隔を調整することを特徴とする放電プラズマ処理装置。例文帳に追加
In this device for generating glow discharge plasma by applying electric field between counter electrodes having two discharge spaces formed by three electrodes of which at least one of the counter surfaces is covered by solid dielectrics and processing an object, the center electrode of three of the electrodes is fixed while the other two of both ends are immobile, and the intervals of two of the discharge spaces are adjusted. - 特許庁
食刻対象層１２の上部にフォトレジストパターン１４を形成する段階と、プラズマ処理を行いフォトレジストパターン１４の側壁に食刻対象層１２の食刻速度を増加させるための食刻速度増加膜を一定の厚さで形成する段階と、食刻速度増加膜が形成されているフォトレジストパターンを食刻マスクとして用いて食刻対象層を食刻することによりコンタクト用のウィンドウを形成する段階とを備えることを特徴とする。例文帳に追加
A method for fabricating a semiconductor device comprises a step for forming a photoresist pattern 14 on a layer 12 to be etched, a step for forming an etching rate increasing film of the layer 12 on the side wall of the photoresist pattern 14, and a step for forming a contact window by etching the layer 12 using the photoresist pattern on which the etching rate increasing film is formed as an etching mask. - 特許庁
プラズマ処理装置の構成を、減圧自在な処理室１と、複数の開孔９を有するガス分散板３と、ガス分散板３の複数の開孔９を通して処理室１にプロセスガスを供給するガス供給路２と、処理室１で発生するガスを処理室１から排出するガス排出路７と、ガス分散板３と対向して設けられ、処理室１の内部にプロセスガスのプラズマ放電を発生させるコイル４とを含み、ガス分散板３の複数の開孔９とコイル４との相対位置が移動自在である構成とする。例文帳に追加
A relative position, between the plurality of holes 9 in the gas diffusion plate 3 and the coil 4, can be made movable. - 特許庁
プラズマを発生するためのガス導入部につながるプラズマ発生用アウターチャンバーの周囲にプラズマ発生用コイルが設けられ、更にこのプラズマ発生用アウターチャンバーの下方に処理チャンバーが配置されているプラズマ処理装置において、前記プラズマ発生用アウターチャンバーの内部に、前記プラズマ発生用アウターチャンバーの断面積より小さいインナーチャンバーを、前記プラズマ発生用アウターチャンバーと同軸状に設ける。例文帳に追加
In the plasma treatment device in which a plasma generating coil is provided around a plasma generating outer chamber connected to a gas introduction unit for generating plasma, and a treatment chamber is disposed below the plasma generating outer chamber, an inner chamber having the sectional area smaller than that of the plasma generating outer chamber is provided inside the plasma generating outer chamber in a coaxial manner with the plasma generating outer chamber. - 特許庁
反応性ガスが導入される密封可能なチャンバーと、前記チャンバー内に対向状に配置されたカソード電極およびアノード電極を有し前記カソード電極と前記アノード電極の間でプラズマ放電を発生する放電部と、前記カソード電極に電力を供給する電源と、前記電源と前記カソード電極とを電気的に接続する導電体と、前記導電体を冷却する空冷手段とを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。例文帳に追加
A plasma processing device has a sealable chamber in which reactive gas is introduced, a discharging unit that has a cathode electrode and an anode electrode disposed so as to face each other in the chamber and generates plasma discharge between the cathode electrode and the anode electrode, a power source for supplying power to the cathode electrode, a conductor for electrically connecting the power source and the cathode electrode, and an air cooling means for cooling the conductor. - 特許庁
第１の空間と第２の空間との間に設けられ、前記第１の空間から前記第２の空間にマイクロ波を導入する方向性結合器であって、前記第１の空間と前記第２の空間とをそれぞれ連通する第１及び第２の孔を備え、前記第１及び第２の孔の開口の面積が可変とされたことを特徴とするマイクロ波方向性結合器及びこれを備えたプラズマ発生装置、プラズマ処理装置を提供する。例文帳に追加
The present invention relates to a directional coupler which is provided between a first space and a second space and introduces a microwave from the first space to the second space, and comprises first and second holes for communicating the first space and the second space, respectively and in which areas of opening of the first and second holes are variable, plasma generation device comprising the same and plasma treatment device. - 特許庁
特に私の場合は民間の金融機関を所掌しているわけでございますから、金融庁といたしましても、復興に向けた（取組みを）金融がしっかり下支えするべく、震災特例を設けた金融機能強化法、これは私は金融立法としては異例なことだと思っておりますが、信用金庫、信用組合を含め、しばらく経っても不良債権が残っていれば、預金保険機構で請け負いましょうという枠組みの法律でございますから、そういった意味では、当然、自己資本もしっかり経営者の判断で積んでいただきたいということも言っておりますので、そういった意味では、私はまさに震災特例の金融機能強化法を国会の全会派のご協力をいただきまして作らせていただきましたし、また、「個人債務者の私的整理（に関する）ガイドライン」、それから産業復興機構、東日本大震災（事業者）再生支援機構、これは国会で大きく問題が起きた二重ローンの問題、これは実は事務局（職員）の多くは金融庁から行かせていただいておりまして、そういったことで金融庁としては全力を挙げて復旧復興に努めさせていただいているつもりでございますが、各種の復興支援策の積極的かつ効果的な活用を促すなど、引き続き、被災地の復興支援に全力で取り組んでまいりたいと思うと同時に、ぜひ強調したいのは、金融機関も今回非常によく協力していただけたと思っております。例文帳に追加
I have jurisdiction over private financial institutions, so the FSA has put into force the Act on Special Measures for Strengthening Financial Functions, which contains provisions for disaster-related special measures, so as to ensure that finance firmly supports recovery efforts. Unusually for a financial act, this act provides a framework under which Deposit Insurance Corporation takes over non-performing loans that are held by Shinkin banks and credit cooperatives after the passage of a certain period of time. Therefore, this act naturally calls on the managers of financial institutions to build up capital based on their own judgment. We enacted the Act on Special Measures for Strengthening Financial Functions, which contains provisions for disaster-related special measures, with the support of all political parties and groups, and also drew up the Guidelines of Workout for Restructuring Debt Owed by Individual Debtors. In addition, prefectural industrial reconstruction organizations and Rehabilitation Support Organization for Companies Damaged by the Great East Japan Earthquake were established in order to resolve the double loan problem, which has become a major issue in the Diet. Many members of the latter organization's secretariat come from the FSA. In that sense, I believe that the FSA is making every possible effort toward restoration and recovery. The FSA will continue to do its utmost to support the recovery of the disaster-stricken areas through such activities as encouraging the active and effective use of various recovery support measures. At the same time, I would like to stress that financial institutions have provided very vigorous cooperation. - 金融庁
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